无尘室异物对策课件

Pae我程教育訓練教材少無塵室之異物對策Pae我程教育訓練教材少1PANEL程教育教材2/67異物對策異物不良左右CMO製造TF機能的良率原因之一異物*因此’針對工廠全體之所有異物施以對策進而達到製品品質穩定之目的使用材料丶使用設備、治工具類丶對人對策備品類丶文具類、消耗品和其他*若和般環境中之製造業比較’必須付岀數倍的投資額與維持費用所有異物對策之目的PANEL程教育教材2PANEL程教育教材異物對策異物成何種不良Aray工程發生大批paen不良斷路、短路2Panel工程發生大批之pattern不良電氣特性及表示畫面不良3)模組工程電氣特性不良BL異物不良。畫面不良的原因PANEL程教育教材3PANEL程教育教材異物對策異物是何種尺寸的東西在一般家庭中岀現那樣大的物質稱爲垃圾以um尺寸(size)爲單位的物質稱爲異物。異物尺寸從最大數μum到需用電子顯微鏡觀察碓認的0.01m之物質皆有現在的牛導體業已經從64M0.28μm更進一步256M0.2um的Pattern配線,必需要求同程度以下的異物對策人的頭髮百徑大約在50~70umTFT的配線大約在6um的程度PANEL程教育教材4PANEL程教育教材5/67異物對策工廠的異物管理米依ArrayPanelModule之不同,對異物大小sie)所訂定之管理辦法亦不同米Aray無麈室(全室)管理等級訂定100Panel管理等級訂定100~1000Module部份的管理等級訂定10000-10000PANEL程教育教材5PANEL程教育教材6/67異物對策異物從何處進入?與人的衣服丶鞋子和搬人物一趄從入口帶進细室*與材料、台車、消耗品丶客器等物質一趄帶進*從設備和工具·保修部品等帶進*從管理表和記錄用紙丶筆記文具等帶進從器貝備品丶棚架和台車帶進上物件被異物附著後,如未除去,不能進入無塵室中PANEL程教育教材6PANEL程教育教材7/67異物對策異物如何進入付著在物品上進般的異物都是付著在入物而進入的·萬一沒有被去除而搐入時’異物一定會進入無摩室*人員揣入鞋子和無摩服和食物丶手提袋.等’會帶入污染物*從環境破壞而人從門縫丶建築縫原丶天花板的間隙原..等·建築物的不良部份侵入PANEL程教育教材7PANEL程教育教材8/67異物對策異物如何產生*金屬丶塑膠、大部份的物品孪捺擦時’一定會有異物產生*加工時所使用的托盤及通箱’在取放製晶時,會因摩擦而產生異物。材料的角邊和材質會產生異物。在TFT基板表面加工的加工途中,材料的角邊和材質會因刽落而產生異物有摩的地方、部份等,全部會驶座PANEL程教育教材8PANEL程教育教材9/67異物對策實際上從哪裡產生的*裝置驅動的地方就是產生異物的地方齒輪丶輸帶丶輸機丶鍊子.等·會摩擦的地方爲發麈源。關於膠帶類的接著材的接著部份’在經過一定期誾後·接著劑會因乾燥而變成異物,另外膠帶旁會有細小的異物付著人體會有很多細小的異物產生。皮膚·毛髮、體毛,等異物會產生PANEL程教育教材9PANEL程教育教材l0/67異物對策有哪些種類的異物存在?麈埃類土類丶油類丶煙類丶塑膠類、其它*金蜃類奘冒類丶器貝備品類丶保管庫丶其它衹類包裝紙丶梱包用紙丶記錄用紙丶膠帶丶筆記文貝頭髮丶手垢丶衣服類丶皮膚丶其它般雖統稱爲異物’但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣PANEL程教育教材10无尘室异物对策课件11无尘室异物对策课件12无尘室异物对策课件13无尘室异物对策课件14无尘室异物对策课件15无尘室异物对策课件16无尘室异物对策课件17无尘室异物对策课件18无尘室异物对策课件19无尘室异物对策课件20无尘室异物对策课件21无尘室异物对策课件22无尘室异物对策课件23无尘室异物对策课件24无尘室异物对策课件25无尘室异物对策课件26无尘室异物对策课件27无尘室异物对策课件28无尘室异物对策课件29无尘室异物对策课件30无尘室异物对策课件31无尘室异物对策课件32无尘室异物对策课件33无尘室异物对策课件34无尘室异物对策课件35无尘室异物对策课件36无尘室异物对策课件37无尘室异物对策课件38无尘室异物对策课件39无尘室异物对策课件40无尘室异物对策课件41无尘室异物对策课件42无尘室异物对策课件43无尘室异物对策课件44无尘室异物对策课件45无尘室异物对策课件46无尘室异物对策课件47无尘室异物对策课件48无尘室异物对策课件49无尘室异物对策课件50无尘室异物对策课件51无尘室异物对策课件52无尘室异物对策课件53无尘室异物对策课件54无尘室异物对策课件55无尘室异物对策课件56无尘室异物对策课件57无尘室异物