ENDURA结构介绍-课件_第1页
ENDURA结构介绍-课件_第2页
ENDURA结构介绍-课件_第3页
ENDURA结构介绍-课件_第4页
ENDURA结构介绍-课件_第5页
已阅读5页，还剩49页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

ENDURA结构介绍供电系统其它部件的作用PumpFrame提供反映所需的真空度Cryopumpcompressor提供HE给Cryopump,保证冷泵正常工作Heatexchange提供DIWATER，冷却PVD腔体以及HeaterMAINFRAME上腔体构成传输过程真空系统RobotHPRobotHomingRoutineLoadlockDifferentialPumpingPortIndexerBrakePresentthecassettestagefromfallingincaseofpowerfailureORIENT/DEGASORIENT工作原理1.

OrienterBoard发出信号通知系统开始找平边过程。2.

SystemController将有关圆片的尺寸型号等信息传递给OrienterBoard。3.

软件校准CCDBoard，使得由激光管发出的光信号转换为数字信号。4

步进电机带动圆片旋转，达到正常的转速后，则CPU开始读取CCD中的信息（步进电机每转动四步读取一次）。5

信息储存在RAM中，直到完成3600的旋转。6

软件分析数据，确定圆片的中心。7

校正圆片在chuck上的数据，最终确定原片的平边。8

把圆片旋转到预定的角度上。9.系统控制器获得圆片的中心和WaferChuck的中心后，指导ROBOT取片。RFSYSTEMPVDchamber工作原理在靶才上通负的直流电压，Shield充当接地，电位差使AR原子电离成AR离子，被接负电压的靶才吸引而撞击靶才，生成金属原子沉积在Wafer表面，从而达到Sputtering的目的。GasLinesPneumaticOperationW/OInverterSlitvalvewill“open”butnot“close”Waferliftswillgoto“lift”butnotto“release”LLCdoorswill“open”butnot“close”Cassatteswillrotate“out”butnot“in”Shutte

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论