Bonding工序工艺及设备

Bonding工序工艺及设备介绍李云飞CONFIDENTIAL目前一页\总数二十一页\编于十点目录工序简介12工序材料介绍设备介绍4工艺参数介绍34目前二页\总数二十一页\编于十点一Bonding工艺简介在制造等离子显示模块过程中，涉及到显示屏电极端子和柔性电路之间的互连，柔性电路板和刚性电路板之间的互连，以及柔性电路之间的互连。在这些连接中广泛采用了各向异性导电粘接剂，将其置于需要被连接的部件之间,然后对其加压加热就形成了部件之间的稳定可靠的机械、电气连接。此过程在国外杂志和产品说明书中都称之为邦定(Bonding)，根据其过程特点我们也可称之为热压焊或热压。目前三页\总数二十一页\编于十点Bonding过程示意图目前四页\总数二十一页\编于十点基板ACF压着剥掉基带对位、预压ﾋｰﾀｰﾂｰﾙﾋｰﾀｰﾂｰﾙ本压完成目的：通过屏和FPC/COF/TCP上Mark，将屏上电极与FPC/COF/TCP上电极对位，然后经过预压和本压，使屏与FPC/COF/TCP上相应电极由ACF连接导通。目前五页\总数二十一页\编于十点1.各向异性导电膜（ACF）在制造等离子显示模块过程中，涉及到柔性电路板和刚性电路板之间的互连，显示屏电极和柔性电路之间的互连，显示屏电极和集成电路的互连，以及柔性电路之间的互连。在这些连接中广泛采用了一种具有各向异性导电性能的粘接剂，将其置于需要被连接的部件之间，然后对其加压加热形成部件之间稳定可靠的机械、电气连接，此种粘接剂即被称为ACF。二Bonding工艺用材料目前六页\总数二十一页\编于十点ACF原理

ACF英文全称为AnisotropicConductiveFilm，中文名称为各项异性导电膜，其特点在于Z轴电气导通方向与XY绝缘平面的电阻特性具有明显的差异性。即Z轴的导通电阻值远小于XY平面的绝缘电阻值。主要功能：①Z轴方向导通；②XY平面绝缘；③基板与软接线(FPC/COF/TCP)的连接。

各项异性导电膜具有可以连续加工(Tape-on-Reel)及低材料损失的特性，因此成为目前较普遍使用的产品形式。目前七页\总数二十一页\编于十点导通原理：利用导电粒子连接软接线与基板两者之间的电极使之成为导通，同时又能避免相邻两电极间导通短路，从而达成只在Z轴方向导通之目的。玻璃基板电极温度、圧力、時間导通绝缘目前八页\总数二十一页\编于十点主要组分：

ACF包括树脂粘合剂、导电粒子两大部分。树脂粘合剂功能除了防湿气、接着、耐热及绝缘功能外主要为固定软接线与基板间电极相对位置，并提供一压迫力量以维持电极与导电粒子间的接触面积。目前九页\总数二十一页\编于十点导电粒子：

ACF的导电特性主要取决于导电粒子的充填率。其导电率会随着导电粒子充填率的增加而提高，但同时也会提升导电粒子互相接触造成短路的几率。导电粒子的粒径均匀度和分布均匀性亦会对导电特性有所影响。导电粒子必须具有良好的粒径均匀度和真圆度，以确保电极与导电粒子间的接触面积一致，维持相同的导通电阻，并同时避免部分电极未接触到导电粒子而导致开路情形发生。常见粒径范围在3～8μm之间，太大的导电粒子会降低每个电极接触的粒子数，同时也容易造成相邻电极导电粒子接触而短路的情形；太小的导电粒子容易行成粒子聚集的问题，造成粒子分布密度不平均。目前十页\总数二十一页\编于十点FlexiblePrintCircuit

FPC软性印制电路是以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的一种具有高度可靠性，绝佳的可挠性印刷电路。

特点：1.可自由弯曲、折叠、卷绕，可在三维空间随意移动及伸缩。

2.散热性能好，可利用FPC缩小体积。

3.实现轻量化、小型化、薄型化，从而达到元件装置和导线连接一体化。2.FPC、COF、TCP目前十一页\总数二十一页\编于十点ChipOnFpc

COF是使用WIREBONDING方式把IC实装在FPC(FlexiblePrintedCircuit)的方式。在PACKAGESIZE和厚度方面有着很大的优点，并且可以实现高密度化。TapeCarrierPackage

TCP是装配LSI等高集成半导体芯片，和实装技术中无线电结合方式的一种。

TCP技术是为了在一张机板上高密度地搭载很多集成电路素子，和缩短素子之间的配线长度的，在多芯片包装中广泛使用的技术。目前十二页\总数二十一页\编于十点3、感压纸目前十三页\总数二十一页\编于十点三工序工艺参数ACF压着压力温度时间FPC/COF/TCP预压压力温度时间FPC/COF/TCP本压压力温度时间目前十四页\总数二十一页\编于十点四设备介绍本TCP/FPCBonding系统为高速、高精度Bonding系统,是将TCP盘供料的TABIC予以Punching后，以ACF为介质将TABIC和PDPPanel予以Bonding后进行精密检测的设备，由ACF贴敷、预压、本压、贴敷检查工序组成的全自动成线设备。1设备简介

TCP热压机

Cleaning&Primer涂敷单元1set

ADD多重ACF贴敷单元1set

ADD预压单元1set

TCP冲切单元1set

ADD本压单元1set

翻转单元1set

SUS多重ACF贴敷单元1set

SUS预压单元1set

SUSFPC供料单元1set

SUS本压单元1set

PatternAlignment单元

(检查机)1set

StageTable单元8set

上部送出单元

(X,Y,Z)10set

MainFrame/Plate单元8set

Cover单元9set

气压单元1套

控制单元

1套

视觉系统1套2设备基本构成：见右图目前十五页\总数二十一页\编于十点3设备layout图

目前十六页\总数二十一页\编于十点⑴AC