GB/T 33523.604-2022产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第604部分：非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性

ICS1704020

CCSJ0.4.

中华人民共和国国家标准

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

产品几何技术规范GPS

()

表面结构区域法

第604部分非接触相干扫描干涉式

:()

仪器的标称特性

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—

pp():

Part604Nominalcharacteristicsofnon-contactcoherencescannin

:(g

interferometrinstruments

y)

ISO25178-6042013IDT

(:,)

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

与区域表面结构测量方法相关的术语和定义

3.1……………………1

与XY轴扫描系统相关的术语和定义

3.2,……………5

与光学系统有关的术语和定义

3.3……………………7

与工件光学特性有关的术语和定义

3.4………………8

相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义

3.5………9

影响量的描述

4……………12

总则

4.1…………………12

影响量

4.2………………12

附录资料性相干扫描干涉显微镜的概述和组件

A()(CSI)…………14

附录资料性相干扫描干涉工作原理

B()………………17

附录资料性空间分辨力

C()……………24

附录资料性表面形貌测量重复性评估过程示例

D()…………………28

附录资料性与矩阵模型的关系

E()GPS……………29

参考文献

……………………30

Ⅰ

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是产品几何技术规范表面结构区域法的第部分

GB/T33523《(GPS)》604。GB/T33523

已经发布了以下部分

:

第部分表面结构的表示法

———1:;

第部分术语定义及表面结构参数

———2:、;

第部分规范操作集

———3:;

第部分表面结构测量方法的分类

———6:;

第部分实物测量标准

———70:;

第部分软件测量标准

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分接触触针式仪器的标称特性

———601:();

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性

———602:();

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性

———603:();

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性

———604:();

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性

———605:();

第部分非接触变焦式仪器的标称特性

———606:();

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准

———701:()。

本文件等同采用产品几何技术规范表面结构区域法第部

ISO25178-604:2013《(GPS)604

分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性

:()》。

本文件增加了规范性引用文件一章

“”。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC240)。

本文件起草单位清华大学天津大学厦门市计量检定测试院江苏锐精光电研究院有限公司中

:、、、、

机生产力促进中心有限公司中国计量大学北京时代之峰科技有限公司枣庄有规信息科技有限公司

、、、、

中机研标准技术研究院北京有限公司

()。

本文件主要起草人尉昊赟郭彤郑伟峰陈刚孔明郝建国张宗政朱悦

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

引言

随着国家产品质量提升计划的实施对产品设计制造测量和检验过程中使用的统一规范或原则

,、、

的需求越来越迫切原有产品几何技术规范中表面结构的表示方法及相关标准已不能满足产品制造过

。

程中的表面质量控制要求

。

产品几何技术规范表面结构区域法基于新一代产品几何规范体

GB/T33523《(GPS)》GPS

系通过数字化测量技术软件分析技术及计量评定等手段构建一套全新的三维表面结构测量与分析

,、,

的推荐性国家标准在提出表面结构表示法表面结构参数及规范操作集的基础上分析

。GB/T33523、,

了表面结构测量的方法给出了使用的测量技术及仪器的标称特性特别是在涵盖接触

,。,GB/T33523

式测量仪器的同时重点引入了在高精度测量应用中具有重要价值但缺乏标准支撑的多种非接触式测

,

量仪器还规范了实物测量和软件测量标准给出了软件文件标准和表面结构测量的计

。GB/T33523,

量特性实现了从二维轮廓测量到三维表面结构测量的跨越为产品几何规范体系

。GB/T33523,GPS

提供了计量测试支撑

。

拟由个部分构成

GB/T3352314。

第部分表面结构的表示法目的在于规定产品技术文件例如图纸规范合同和报告中

———1:。(、、)

利用图形符号表示区域表面结构的规则

。

第部分术语定义及表面结构参数目的在于规定用区域法评定表面结构的术语定义和

———2:、。、

参数

。

第部分规范操作集目的在于规定适用于区域法评定表面结构尺度限定表面的完整规

———3:。()

范操作集

。

第部分表面结构测量方法的分类目的在于规定主要用于表面结构测量方法的分类体系

———6:。,

定义三类方法描述三类方法之间的关系并对具体方法做简要说明

,,。

第部分实物测量标准目的在于规定用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实

———70:。

物测量标准的特性

。

第部分软件测量标准目的在于规定用于测量仪器软件校验的型和型软件测量标

———71:。S1S2

准标准具的术语定义

()。

第部分文件格式目的在于规定规定用于存储和交换形貌及轮廓数据的

———72:XMLx3p。XML

文件格式

x3p。

第部分接触触针式仪器的标称特性目的在于规定表面结构区域法接触触针式仪

———601:()。()

器的标称特性

。

第部分非接触共聚焦色差探针式仪器的标称特性目的在于规定使用基于白光轴向

———602:()。

色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分非接触相移干涉显微式仪器的标称特性目的在于规定相移干涉法轮廓

———603:()。(PSI)

和区域表面结构测量显微镜的计量特性

。

第部分非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性目的在于规定用于表面高度三维映

———604:()。

射的相干扫描干涉测量系统的计量特性

(CSI)。

第部分非接触点自动对焦探针式仪器的标称特性目的在于规定使用点自动对焦探

———605:()。

针测量表面结构的非接触式仪器的计量特性

。

第部分非接触变焦式仪器的标称特性目的在于规定使用变焦传感器测量表面

———606:()。(FV)

结构的非接触式仪器的设计与计量特性

。

第部分接触触针式仪器的校准与测量标准目的在于规定区域法表面结构接触触

———701:()。(

针式仪器用作测量标准的实物量具的特性残余误差的评定方法校准验收和周期检定的检

),,、

测方法

。

Ⅳ

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

产品几何技术规范GPS

()

表面结构区域法

第604部分非接触相干扫描干涉式

:()

仪器的标称特性

1范围

本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉