激光刻膜机介绍课件

我司非晶硅薄膜产品线共含四台设备；其中激光划线机3台（1台1064nm红光；2台532nm绿光【两台一样】）；激光增透机1台；激光清边机1台。非晶硅薄膜产品线介绍3/16/20231华工非晶硅产品线介绍激光划线机（P1为1064nm刻TCO膜、P2为532nm刻非晶硅膜、P3为532nm刻Al铝层）激光增透机（P4为532nm）激光清边机（P5为1064nm）3/16/20232激光划线机设备机型介绍激光划线机图片仅供参考激光划线机介绍（P1、P2、P3）3/16/20233激光划线机组成●系统组成●红外激光器系统、（绿激光器系统）、声光调制系统及光学系统、分光机构、聚焦系统、控制及软件系统、除尘系统.视觉定位系统.二维高精度工作系统及定位系统和气动夹紧系统所组成。●可根据客户需求配备玻璃翻转机构。（实现自动化生产）3/16/20235系统的工作原理3/16/20236划线机激光器激光器1：(P1)激光波长：1064nm工作频率范围：1～100KHz平均功率：>20W@50kHz激光脉冲能量不稳定性：<2%(RMS)激光脉冲宽度：<40ns@50KHz激光模式：TEM00偏振方向：水平光斑圆度：>90%晶体：YVO4光束质量：M2<1.1出口光斑：0.9mm远场发散角：1.8mrad泵浦方式：光纤耦合端面泵浦3/16/20237划线所达到的指标●①刻线光滑清晰，刻划线膜层两侧不能粘连短路（检测方式为万用表Ω档）

●②线宽：0.04mm-0.08mm可调

●③三条线总宽0.4mm以内3/16/20239光学系统

（采用全封闭光路系统）●

1）分光系统：四路同时输出，光束间功率最大差别小于5％，且四条光束的间距可调，调节范围：5mm－18mm；●

2）全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统●3）配置2-8倍扩束系统，保证光束高质量3/16/202310●左图所示为四光路分光聚焦系统。二维平移台可使各自单光路系统在一定范围内移动，以调节单光路的水平位置；45度折返组件能将单束激光分成能量相当的四路激光。聚焦镜调节组件能方便用户调节激光在垂方向上的焦点位置。采用单光路高精度组合聚焦透镜通过调节聚焦筒调节聚焦焦距，使之达到划线效果最好。聚焦筒上标有刻度，方便调整。●焦距f=100mm●浮动Z轴光点焦平面可精细调节聚焦系统3/16/202311软件功能介绍划线软件（华工激光专利、是激光划线机重要技术支撑点）1）本软件界面友好，操作简单，易于掌握。刻划参数可由软件设定并保存。并实时显示运动轨迹3/16/202313二维高精度运动系统采用工作台作二维运动方式。二维运动系统采用大理石底座使运动的动刚度更好，有利于设备在高速运动平稳，选用进口直线电机和高精度导轨；重复定位精度：X轴和Y轴±3μm定位精度：X轴±2μmY轴±2μm平行度：2μm平面度：≤0.02刻线直线度：15μm/1400mCCD定位精度：1um工作行程：1100*1400mm直线电机：X轴（龙门上激光头运动）最大推力:1200N持续推力:586NY轴（设备底座上工作台运动）最大推力:1200N持续推力:586N3/16/202314玻璃基板固定夹具3/1