• 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准YS/T 26-2016
  • 1992-03-09 颁布
  • 1993-01-01 实施
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YS/T 26-1992硅片边缘轮廓检验方法_第1页
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H21Y5中华人民共和国有色金属行业标准YS/T26—92硅片边缘轮廊检验方法1992-03-09发布1993-01-01实施中国有色金属工业总公司发布

中华人民共和国有色金属行业标准硅片边缘轮廊检验方法YS/T26-92主题内容与适用范臣本标准规定了硅片边缘轮席的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廊。2方法提要将硅片沿径向划开形成部面，借助光学投影仪将其放大，聚焦使部面清晰地投影到显示屏上,与标淮模版相比较。硅片边缘部面投影轮廊处在标准模版允许区域内，则硅片边缘轮廊为合格：否则为不合格3测量仪器3.1光学投影仪：放大倍数为50×或100×，载物台在。和y方向上可移动.3.2硅片夹具：应能使硅片表面平行于光路，使硅片边缘轮席清晰地投影在显示屏上。3.3标准测微尺:长度为0.5～1.0mm,绝对误差小于5m。4抽样与制样“.1抽样方案及试样测量点的位置和数目由供需双方商定。4.22在确定的测量点处沿径向划开硅片，制取试样。5检验步辣5.1检验用的标准模版图形如图1,其特征点坐标和基本尺寸应符合图2和表1的规定。标准模版的制作方法按图1、图2、表1的规定。九计区楼普面图1标标准模版图形中国有色金属工业总

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