多晶硅残液废气处理教义

二期残液培训讲义星盛煜一、废气废液中成份及处理原理1.废液、废气组织成分废液主要是氯硅烷（二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅）废液中主要是氯硅烷（二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅）还有H2、N2、HCL。2.处理原理利用含氯硅烷废气废液的物理及化学特性，与水发生激烈的水解反应，生成SiO2，HCL气及H2并放出一定热量，HCL气又极易溶于水中成盐酸。3.水解反应式SiCL4＋3H2O＝SiO2·H2O＋4HCLSiHCL3＋3H2O＝SiO2·H2O＋3HCL＋H2↑SiH2CL2＋3H2O＝SiO2·H2O＋2HCL＋H2↑二、工艺流程阐述

1.喷淋水解：各车间来废气、废液分别进入废气（V1203AB、V1204AB)、废液（V1201AB）缓冲罐，用N2压送废气、废液进入废气淋洗首塔（T1204A-T1220A），废液淋洗塔（T1201A-T1203A)，经淋洗塔三层喷淋水顺流喷淋（共45m³/h），使首塔未水解的氯硅烷进一步水解生成SiO2和HCL溶于水，随喷淋水从末塔底排入喷淋池（V1205AB），H2、N2及极微量的HCL气淋洗末塔塔顶排风管进入安全液封罐（V1208A-T)由其排风管升至15米高空排入大气。

2.SiO2泡沫处理

废气、废液淋洗水解后产生SiO2泡沫及HCL溶液随喷淋水由塔底流入喷淋池，溢流至吸泥刮沫池（V1206AB）池上设置的吸泥刮板机（J1101AB），将浮在池中液面上的SiO2泡沫刮至沫子搅拌槽及池底的SiO2吸入三溜槽流入沫子搅拌槽（V1207AB），经搅拌均匀后经污泥泵（P1201AB、P1202AB）打至污泥浓缩池（V1211A-E），浓缩后用气动隔膜泵（P1216A~P1220A-C)打至箱式压滤机（T1211A-C~J1215A-C)过滤，渣成含水70%的SiO2并卸到皮带输送机（J1216A-E和J1217AB），送入10m³自动卸泥斗（V1214A-C)，定期用汽车拉至堆放场或外运。

3.HCL酸性液处理

为改善喷淋水的质量，本处理装置设HCL酸性液处理：HCL酸性液由吸泥刮沫池（V1206AB)底部流入中和池（V1208AB），搅拌后溢流入槽流至沉淀挂沫池（V1221AB）视状况可向溢流流槽中加适量的石灰乳中和（目的是减少SiO2泡沫），沉淀挂沫池液面上的SiO2泡沫及池底的沉淀物由设置在地上的吸泥刮板机（J1221AB),送入污泥浓缩池（V1211A-E），归入SiO2渣过滤系统一并处理。沉淀挂沫池中液体流入二个沉淀清水（V1212AB），池中设二道过滤网5~10目（滤去溶液中＞3mm的粒子）经过滤网后流入清水回用池（V1214）。4.喷淋水淋洗塔的喷淋水由喷淋水泵（P1211A-C~P1215A-C)抽取清水回用池（V1214）的水打至淋洗首末塔中上部三个不同高度进入塔内，进行喷淋。5.为使系统溶液中HCL浓度小于2%，则需每小时外排400m³，外排方式a喷淋池底部预埋管通过一期的废水池流入污水管网到废水站，可能量不够，还需用外派泵（P1203AB）打至管廊污水管送至污水站。三、装置调试启动步骤1.打扫整个系统的池内杂物。2.向清水回用池内注入（上水回用水、脱盐水等）。3.用喷淋水泵抽清水回用池内水打至淋洗塔，逐台塔泵进行。目的：1）、看泵带负荷运行是否正常；2）、检查输液管道、阀门是否有漏点，若有及时处理，泵及管道逐并逐条进行；3）、看塔内喷淋状况，直至整个系统池内水位达到正常位置。4.废气、废液系统的缓冲罐、管道安装完毕后，经系统安装检查与压力试验，吹扫试验及气密试验，确保整个系统无漏线，方可投入试生产。5.淋洗塔进废气废液前先打淋洗水进口阀，再打废气或废液进口阀，使淋洗塔开始正常工作。完谢谢四、设备操作规程

1.淋洗塔1.1淋洗塔启动1.1.1检查需启动的塔及安全液封罐设备及进出口管道是否完好、畅通。1.1.2开启N2气阀置换塔体的气体。1.1.3打开喷淋水阀，启动喷淋水泵。1.1.4启动吸泥刮板机和污泥搅拌装置及泵。1.1.5开启废气、废液进口阀，同时关闭N2阀，塔正常工作。

1.2淋洗塔正常运行

1.2.1定期检查气液进口阀门是否完好，是否开启在正常位置。1.2.2定期检查管道是否有浅漏点并及时处理。1.2.3根据运行时塔排出的气体状况及塔底排出SiO2泡沫的量，判断喷头工作状况，定期检查喷头阻塞状况，定期清理。1.2.4保持塔周围的环境清洁。

1.3淋洗塔停行1.3.1关闭废气、废液进口阀并开启N2阀。1.3.2停喷淋泵，关闭喷淋水进口阀。1.3.3如全线行车大修，则停吸泥刮板机和污泥搅拌机。2、吸泥刮板机

3、各类搅拌装置3.1启动3.1.1启动前检查变速箱油位是否正常，联轴器是否松动。3.2启动运行与停车3.2.1池槽内的液位达到池槽内2/3高度时才能启动搅拌。3.2.2启动时先点动正常再正常启动。3.2.3运行时经常注意检查搅拌轴转动是否稳定，油位的变化、电机及变速箱温度是否有异声，如有异常声音或有电机发热等状况出现时应停机检查。3.2.4停车只需按停止按钮。

4、各类离心水泵4.1启动、运行、维护4.1.1试运行前应先用手盘动联轴器或轴，检查转向是否正确，运转是否灵活，如盘不动或有异常声音，应及时检查，检查时先从外部用手检查联轴器是否水平，从轴承座上的油镜的中心线附近（太多应放掉一些，太少应加上一些），边检查边盘动，如果问题依然存在，就要拆泵检