标准解读
《GB/T 31563-2015 金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法》是一项国家标准，旨在规范使用扫描电子显微镜（SEM）对金属覆盖层厚度进行测量的方法。该标准适用于多种类型的金属涂层、镀层或薄膜的厚度测定，尤其当其他常规方法难以达到所需精度时更为适用。
根据此标准，首先需要准备样品，这包括选择合适的截面制备技术以确保截面平滑且无变形，从而准确反映涂层的真实结构。接着，在扫描电镜下观察样品，并通过图像分析软件确定待测层与基体之间的界面位置。标准中详细描述了如何选取适当的放大倍数以及如何识别不同材料间的边界特征。此外，还介绍了几种常见的用于计算层厚的方法，如直接测量法、线性回归法等，并强调了每种方法的应用条件及其局限性。
如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。
....
查看全部
- 现行
- 正在执行有效
- 2015-05-15 颁布
- 2016-01-01 实施
文档简介
ICS2522040
A29..
中华人民共和国国家标准
GB/T31563—2015
金属覆盖层厚度测量
扫描电镜法
Metalliccoatings—Measurementofcoatingthickness—
Scanningelectronmicroscopemethod
(ISO9220:1988,MOD)
2015-05-15发布2016-01-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T31563—2015
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准修改采用金属覆盖层厚度测量扫描电镜法
ISO9220:1988《》。
本标准与的主要技术差异如下
ISO9220:1988:
对照本标准采用照相成像输出由于技术发展本标准修改采用计
———ISO9220:1988(9.2.1.2),。,
算机磁盘记录存储图像并标定标准中涉及利用视频波形的信号目前设备已不采用本
。ISO,
标准采用分辨率更高的线扫描等技术
EDS。
规范性引用文件替换为对应的我国标准并增加了的引用
———,GB/T27788—2011。
本标准由中国机械工业联合会提出
。
本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口
(SAC/TC57)。
本标准起草单位武汉材料保护研究所清华大学株洲钻石硬质合金厂西安西电高压开关有限公
:、、、
司重庆市计量质量检测研究院东莞市五株电子科技有限公司深圳市发斯特精密技术有限公司
、、、。
本标准主要起草人李健邵天敏段海涛刘秀生陈利马博凃杰松王鼎于翔曾国权孙联和
:、、、、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T31563—2015
金属覆盖层厚度测量
扫描电镜法
1范围
本标准规定了通过扫描电子显微镜检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚
(SEM)
度的方法它通常是一种破坏性的检测方式不确定度小于或者该测量方法也可以用
。,10%,0.1μm。
来测量几个毫米厚的涂层但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法进行测量
,(GB/T6462)。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法
GB/T6462(GB/T6462—2005,ISO1463:2003,
IDT)
金属和其他非有机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则
GB/T12334(GB/T12334—2001,
ISO2064:1996,IDT)
微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则
GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
。
31
.
局部厚度localthickness
在涂层的一个指定区域内进行多次测量取平均值所得的厚度值
,。
[GB/T12334—2001,3.4]
4原理
将试样沿垂直于涂层水平方向切割并经过仔细打磨和抛光制成金相试样放入扫描电子显微镜
,,,
中进行检测测量是通过常规的涂层截面显微图片来获得涂层的厚度
。,。
5仪器
51扫描电子显微镜SEM
.()
分辨率应优于
50
温馨提示
- 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
- 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
- 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。
评论
0/150
提交评论