2022电容式传感器的工作原理及类型精选ppt

Sd式中，：极板间介质介电常数；d：极板间距；

S：极板有效面积。式中，：介质相对真空的介电常数，空气1；

0：真空的介电常数，0=8.8510-12F/m；

d：极板间距；

S：极板面积。注意：上述式子还有另外一种的表达形式：由电容式传感器的工作原理表达式可以知道，ε、S、d的改变均使电容器的电容值发生变化。因此可以保持其中的两个参数不变，只改变其中的某一个参数制造各种的电容式传感器。d变——ε、S不变，称为变极距型（或变间隙型）；S

变——ε、d不变，称为变面积型；ε变——d、S不变，称为变介电常数型（或介质变化型）极距变化型它们的电极形状有平板形、圆柱形和球平面形三种。下面分别讲解这三种类型的电容式传感器。2、类型一、变极距型电容式传感器

d——CSd定板动板定板d定板动板d传感器的灵敏度灵敏度不是一个常数，说明输入输出间为非线性关系，C——d关系为：可见，灵敏度与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距减小受极板间击穿电压的限制。此外，为了减小因灵敏度随极距变化导致的非线性误差，通常极距变化范围d/d00.1。因此，此类电容传感器仅适于较小位移的测量（0.01m~几个mm）。二、变面积型电容式传感器S——C传感器的灵敏度灵敏度是一个常数，说明输入输出间为线性关系。常见的四种结构形式：S：极板有效面积。S：极板面积。因此可以保持其中的两个参数不变，只改变其中的某一个参数制造各种的电容式传感器。d：极板间距；灵敏度不是一个常数，说明输入输出间为非线性关系，C——d关系为：0：真空的介电常数，0=8.因此，此类电容传感器仅适于较小位移的测量（0.S——Cd变——ε、S不变，称为变极距型（或变间隙型）；三、变介电常数型电容式传感器由电容式传感器的工作原理表达式可以知道，ε、S、d的改变均使电容器的电容值发生变化。S——C注意：上述式子还有另外一种的表达形式：它们的电极形状有平板形、圆柱形和球平面形三种。ε变——d、S不变，称为变介电常数型（或介质变化型）0：真空的介电常数，0=8.平面线位移型角位移型圆柱体线位移型差动式圆柱体线位移型动板动板动板动板定板定板定板定板定板三、变介电常数型电容式传感器e——C这种传感器可用来测量两平行极板间介质的厚度、位移、液位、液量，除此之外还可以测温度、湿度、容量等。01m~几个mm）。01m~几个mm）。因此可以保持其中的两个参数不变，只改变其中的某一个参数制造各种的电容式传感器。因此，此类电容传感器仅适于较小位移的测量（0.这种传感器可用来测量两平行极板间介质的厚度、位移、液位、液量，除此之外还可以测温度、湿度、容量等。式中，：介质相对真空的介电常数，空气1；可见，灵敏度与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距减小受极板间击穿电压的限制。式中，：介质相对真空的介电常数，空气1；因此，此类电容传感器仅适于较小位移的测量（0.8510-12F/m；这种传感器可用来测量两平行极板间介质的厚度、位移、液位、液量，除此之外还可以测温度、湿度、容量等。可见，灵敏度与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距减小受极板间击穿电压的限制。d变——ε、S不变，称为变极距型（或变间隙型）；由电容式