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文档简介

1、J D定义为单位时间垂直通过扩散方向 Z 的单位面积的J 为扩散通量，D 为扩散系数（负值，表示扩散由高浓度自发向低浓度转化） 为扩散物质的质量浓度，Z为扩散方向。zz 增加，即浓关系，表示为 (t,z)，数学上，这个扩散由菲克第二定律描述，即在距离 z 处，d(t,z)d(J) d(t,z) d(t,d2(t, d(t,z) 一阶不可行d2(t, z) kGG(g)kGG(g)、S、k1、和 k-1 分别代表气体、固体表面、吸附率和解吸率，吸附与脱附动态平衡过程，当 k1 大于 k-1 时表现为吸附，随着吸附量增加，表面上未被气体分渐增大，分子解吸率提高，最后达到动态平衡过程，即 k1=k-

2、1。即 vad k1p(1-)为固体表面被气体分子覆盖表N 为吸附位置数vad k1p降低，因此，前驱体体密度随时间变化与体密度本身 (t,z)、反应位面密度 s(t,z)相关，比例常数 k 为反应率常数d(t,z)=-k(t,z) (t,z) 驱体分子数为 P，固体表面反应位置数为 Ps，则设前驱体体积为 V，固体表面As，P(t,z) (t,Ps(t,z)=s(t,z)ds(t,z)=nV d(t,则ds(t,z)=-nk(t,z) (t,AsAs反d(t,z) Dd2(t,-k(t,z) (t,反扩（1.4(t,z) s (t,s(t 0,所吸附在反应面上的分子lp和正常情况下该表面所吸附微粒浓度p 决定的，(t,z) lp (t, 单位时间单位面积内所吸附在反应面上的分子lpJwall乘于反应0lp Jwallp B 2m k T p B k 1 1 t,zB 2m 4t,zp 其中，vth 为分子热运动速率；Tp 反应表面前驱体温度；Pp 反应过程中的压力为前驱体分子质量； kB 为常数。 （1.15(t,z) v t,z(t,4p （1.12k v th (t=0,z)=1,z 0,(t=0, z)=0，z 0,(t,z=0)=2.91020m-3，t (t,z=

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