洁净工程概念

1、Evaluation Warning: The document was created with Spire.Doc for .NET.洁净工程 HYPERLINK /image/f7426d8d86eefa54b21bba45 o 查看图片 HYPERLINK /image/f7426d8d86eefa54b21bba45 空气洁净室洁净工程，即洁净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持

2、原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。目录 HYPERLINK /view/4181445.html#1#1 l 1#1 一、定义 HYPERLINK /view/4181445.html#2#2 l 2#2 二、控管项项目 HYPERLINK /view/4181445.html#3#3 l 3#3 三、分类 HYPERLINK /view/4181445.html#3_1#3_1 l 3_1#3_1 HYPERLINK /view/4181445.html#3_2#3_2 l 3_2#3_2 HYPERLINK /view/4181445.html#3_3#3_3 l 3_3#

3、3_3 HYPERLINK /view/4181445.html#4#4 l 4#4 四、气流的的流动 HYPERLINK /view/4181445.html#4_1#4_1 l 4_1#4_1 HYPERLINK /view/4181445.html#4_2#4_2 l 4_2#4_2 HYPERLINK /view/4181445.html#4_3#4_3 l 4_3#4_3 HYPERLINK /view/4181445.html#5#5 l 5#5 五、洁净室室之构成成 HYPERLINK /view/4181445.html#6#6 l 6#6 六、洁净室室按用途途分类（可可分为两

4、两大类） HYPERLINK /view/4181445.html#6_1#6_1 l 6_1#6_1 HYPERLINK /view/4181445.html#6_2#6_2 l 6_2#6_2 HYPERLINK /view/4181445.html#7#7 l 7#7 七、洁净室室污染源源知识 HYPERLINK /view/4181445.html#7_1#7_1 l 7_1#7_1 HYPERLINK /view/4181445.html#7_2#7_2 l 7_2#7_2 HYPERLINK /view/4181445.html#8#8 l 8#8 八、洁净室室标准规规范 HYPE

5、RLINK /view/4181445.html#8_1#8_1 l 8_1#8_1 HYPERLINK /view/4181445.html#9#9 l 9#9 HYPERLINK /view/4181445.html#10#10 l 10#10 HYPERLINK /view/4181445.html#1 l 1 一、定义 HYPERLINK /view/4181445.html#2 l 2 二、控管项项目 HYPERLINK /view/4181445.html#3 l 3 三、分类 HYPERLINK /view/4181445.html#3_1 l 3_1 HYPERLINK /vi

6、ew/4181445.html#3_2 l 3_2 HYPERLINK /view/4181445.html#3_3 l 3_3 HYPERLINK /view/4181445.html#4 l 4 四、气流的的流动 HYPERLINK /view/4181445.html#4_1 l 4_1 HYPERLINK /view/4181445.html#4_2 l 4_2 HYPERLINK /view/4181445.html#4_3 l 4_3 HYPERLINK /view/4181445.html#5 l 5 五、洁净室室之构成成 HYPERLINK /view/4181445.html

7、#6 l 6 六、洁净室室按用途途分类（可可分为两两大类） HYPERLINK /view/4181445.html#6_1 l 6_1 HYPERLINK /view/4181445.html#6_2 l 6_2 HYPERLINK /view/4181445.html#7 l 7 七、洁净室室污染源源知识 HYPERLINK /view/4181445.html#7_1 l 7_1 HYPERLINK /view/4181445.html#7_2 l 7_2 HYPERLINK /view/4181445.html#8 l 8 八、洁净室室标准规规范 HYPERLINK /view/418

8、1445.html#8_1 l 8_1 HYPERLINK /view/4181445.html#9 l 9 九、行业应应用 HYPERLINK /view/4181445.html#10 l 10 十、详细参参数展开 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段一、定义洁净室室最主要要之作用用在于控控制产品品（如硅硅芯片等等）所接接触之大大气的洁洁净度日日及温湿湿度，使使产品能能在一个个良好之之环境空空间中生生产、制制造，此此空间我我们称之之为洁净净室。按按照国际际惯例，无无尘净化化级别主主要是根根据每立立方米空空气中粒粒子直径径大于划划分标准准的粒子子数量来来规定。也

9、也就是说说所谓无无尘并非非1000%没有有一点灰灰尘，而而是控制制在一个个非常微微量的单单位上。当当然这个个标准中中符合灰灰尘标准准的颗粒粒相对于于我们常常见的灰灰尘已经经是小的的微乎其其微，但但是对于于光学构构造而言言，哪怕怕是一点点点的灰灰尘都会会产生非非常大的的负面影影响，所所以在光光学构造造产品的的生产上上，无尘尘是必然然的要求求。 每立方方米将小小于0.3微米米粒径的的微尘数数量控制制在35500个个以下，就就达到了了国际无无尘标准准的A级级。目前前应用在在芯片级级生产加加工的无无尘标准准对于灰灰尘的要要求高于于A级，这这样的高高标主要要被应用用在一些些等级较较高芯片片生产上上。微尘

10、尘数量被被严格控控制在每每立方米米10000个以以内，这这也就是是业内俗俗称的11K级别别。 洁净室室用途主主要有以以下三个个： 空气洁洁净室：已经建建造完成成并可以以投入使使用的洁洁净室（设设施）。它它具备所所有有关关的服务务和功能能。但是是，在设设施内没没有操作作人员操操作的设设备。 静态洁洁净室：各种功功能完备备、设定定安装妥妥当，可可以按照照设定使使用或正正在使用用的洁净净室（设设施），但但是设施施内没有有操作人人员。 动态洁洁净室：处于正正常使用用的洁净净室，服服务功能能完善，有有设备和和人员；如果需需要，可可从事正正常的工工作。 HYPERLINK /view/4181445.ht

11、ml 编辑本段二、控管项项目1、能能除去空空气中飘飘游之微微尘粒子子。 2、能能防止微微尘粒子子之产生生。 3、温温度和湿湿度之控控制。 4、压压力之调调节。 5、 有害气气体之排排除。 6、结结构物与与隔间之之气密性性。 7、静静电之防防制。 8、电电磁干扰扰预防。 9、安安全因素素之考虑虑。 10、节节能之考考量。 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段三、分类乱流式(TTurbbuleent Floow)空气由由空调箱箱经风管管与洁净净室内之之空气过过滤器(HEPPA)进进入洁净净室，并并由洁净净室两侧侧隔间墙墙板或高高架地板板回风。气气流非直直线型运运动而呈

12、呈不规则则之乱流流或涡流流状态。此此型式适适用于洁洁净室等等级1,0000-1000,0000级级。 定义：气流以以不均匀匀速度不不平行流流动、伴伴有回流流或涡流流的洁净净室。 原理：乱流洁洁净室靠靠送风气气流不断断稀释室室内空气气，将污污染空气气逐渐稀稀释，来来实现洁洁净的（乱乱流洁净净室一般般设计在在千级以以上至330万级级净化级级别）。 特性：乱流洁洁净室是是靠多次次换气来来实现洁洁净与洁洁净级别别。换气气次数决决定定义义中的净净化级别别（换气气次数越越多，净净化级别别越高） （1）自自净时间间：是指指洁净室室按设计计换气次次数开始始送风到到洁净室室，室内内含尘浓浓度达到到所设计计的净化

13、化级别的的时间。 1,0000级级希望不不超过220miin(分分钟) (可取取15mmin计计算) 10,0000级希望望不超过过30mmin(分钟) (可可取255minn计算) 1000,0000级级希望不不超过440miin(分分钟) (可取取30mmin计计算) （2）换换气次数数（按上上述自净净时间要要求设计计）1,0000级 443.55555.3次次/小时时 (规规范:550次/小时) 100,0000级 23.8228.66次/小小时 (规范:25次次/小时时) 1100,0000级 114.44199.2次次/小时时 (规规范:115次/小时) 优点：构造简简单、系系统建造

14、造成本，洁洁净室之之扩充比比较容易易，在某某些特殊殊用途场场所，可可并用无无尘工作作台，提提高洁净净室等级级。 缺点：乱流造造成的微微尘粒子子于室内内空间飘飘浮不易易排出，易易污染制制程产品品。另外外若系统统停止运运转再激激活，欲欲达需求求之洁净净度，往往往须耗耗时相当当长一段段时间。 层流式(LLamiinarr)层流式式空气气气流运动动成一均均匀之直直线形，空空气由覆覆盖率1100%之过滤滤器进入入室内，并并由高架架地板或或两侧隔隔墙板回回风，此此型式适适用于洁洁净室等等级需定定较高之之环境使使用，一一般其洁洁净室等等级为CClasss 111000。其其型式可可分为二二种： (1)水平层

15、层流式：水平式式空气自自过滤器器单方向向吹出，由由对边墙墙壁之回回风系统统回风，尘尘埃随风风向排出出室外，一一般在下下流侧污污染较严严重。 优点：构造简简单，运运转后短短时间内内即可变变成稳定定。 缺点：建造费费用比乱乱流式高高，室内内空间不不易扩充充。 (2)垂直层层流式：房间天天花板完完全以UULPAA过滤器器覆盖，空空气由上上往下吹吹，可得得较高之之洁净度度，在制制程中或或工作人人员所产产生的尘尘埃可快快速排出出室外而而不会影影响其它它工作区区域。 优点：管理容容易，运运转开始始短时间间内即可可达稳定定状态，不不易为作作业状态态或作业业人员所所影响。 缺点：构造费费用较高高，弹性性运用空

16、空间困难难，天花花板之吊吊架相当当占空间间，维修修更换过过滤器较较麻烦。 复合式(MMixeed TTypee)复合式式为将乱乱流式及及层流式式予以复复合或并并用，可可提供局局部超洁洁净之空空气。 (1)洁净隧隧道(CCleaan TTunnnel)：以HHEPAA或ULLPA过过滤器将将制程区区域或工工作区域域1000%覆盖盖使洁净净度等级级提高至至10级级以上，可可节省安安装运转转费用。 此型式式需将作作业人员员之工作作区与产产品和机机器维修修予以隔隔离，以以避免机机器维修修时影响响了工作作及品质质，ULLSI制制程大都都采用此此种型式式。 洁净隧隧道另有有二项优优点：AA.弹性性扩充容容

17、易； B.维维修设备备时可在在维修区区轻易执执行。 (2)洁净管管道(CCleaan TTubee)：将将产品流流程经过过的自动动生产线线包围并并净化处处理，将将洁净度度等级提提至1000级以以上。因因产品和和作业员员及发尘尘环境相相互隔离离，少量量之送风风即可得得到良好好之洁净净度，可可节省能能源，不不需人工工的自动动化生产产线为最最适宜使使用。药药品、食食品业界界及半导导体业界界均适用用。 (3)并装局局部洁净净室(CCleaan SSpott)：将将洁净室室等级110,00001000,0000之乱乱流洁净净室内之之产品制制程区的的洁净度度等级提提高为110110000级以上上，以为为生

18、产之之用； HYPERLINK /view/891471.htm 洁洁净工作作台、 HYPERLINK /view/891444.htm 洁净棚棚、 HYPERLINK /view/3665886.htm 装配式式洁净室室、 HYPERLINK /view/3669642.htm 洁净衣衣柜即属属此类。 洁净工工作台：等级CClasss 111000级。 洁净棚棚：为在在乱流式式之洁净净室空间间内以防防静电之之透明塑塑料布围围成一小小空间，采采用独立立之HEEPA或或ULPPA及空空调送风风机组而而成为一一较高级级之洁净净空间，其其等级为为1010000级，高高度在22.5米米左右，覆覆盖面积

19、积约100m2以以下，四四支支柱柱并加装装活动轮轮，可为为弹性运运用。 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段四、气流的的流动气流的重要要性洁净室室的洁净净度往往往受到气气流的影影响，换换言之，即即人、机机器隔间间、建筑筑结构等等所产生生的尘埃埃之移动动、扩散散受到气气流的支支配。 洁净室室系利用用HEPPA、UULPAA过滤空空气，其其尘埃的的收集率率达999.977999.9999955%之多多，因此此经过此此过滤器器过滤的的空气可可说十分分干净。然然而洁净净室内除除了人以以外，尚尚有机器器等之发发尘源，这这些发生生的尘埃埃一旦扩扩散，即即无法保保持洁净净空间，

20、因因此必须须利用气气流将发发生的尘尘埃迅速速排出室室外。 风速的控制制洁净室室内的气气流是左左右洁净净室性能能的重要要因素，一一般洁净净室的气气流速度度是选00.2550.5m/s之间间，此气气流速度度属微风风区域，易易受人、机机器等的的动作而而干扰趋趋于混乱乱、虽提提高风速速可抑制制此一扰扰乱之影影响而保保持洁净净度、但但因风速速的提高高，将影影响运转转成本的的增加，所所以应在在满足要要求的洁洁净度水水准之时时，能以以最适当当的风速速供应，以以达到适适当的风风速供应应以达到到经济性性效果。 另一方方面欲达达到洁净净室洁净净度之稳稳定效果果，均一一气流之之保持亦亦为一重重要因素素，均一一气流若

21、若无法保保持，表表示风速速有异，特特别是在在壁面，气气流会延延着壁面面发生涡涡流作用用，此时时要实现现高洁净净度事实实上很困困难。 垂直层层流式方方向要保保持均一一气流必必须：(a)吹吹出面的的风速不不可有速速度上的的差异；(b)地板回回风板吸吸入面之之风速不不可有速速度上的的差异。速速度过低低或过高高(0.2m/s，00.7mm/s)均有涡涡流之现现象发生生，而00.5mm/s之之速度，气气流则较较均一，目目前一般般洁净室室，其风风速均取取在0.250.55m/ss之间。 影响因素影响洁洁净室的的气流因因素很多多，如制制程设备备、人员员、洁净净室组装装材、照照明器具具等，同同时对于于生产设设

22、备上方方气流的的分流点点，亦应应列入考考虑因素素。 一般操操作台或或生产设设备等表表面的气气流分流流点，应应设于洁洁净室空空间与隔隔墙板间间距2/3之处处，如此此可使作作业人员员工作时时，气流流可从制制程区内内部流向向作业区区，而将将微尘带带走；若若分流点点配置在在制程区区前方，将将成为不不当的气气流分流流，此时时大部份份的气流流将流至至制程区区之后，作作业员操操作所引引起的尘尘埃将被被带到设设备后面面，工作作台因而而将受到到污染，良良率也势势必降低低。 洁净室室内的工工作桌等等障碍物物，在相相接处均均会有涡涡流现象象发生，相相对地在在其附近近之洁净净度将会会较差，在在工作桌桌面钻上上回风孔孔

23、，将使使涡流现现象减少少最低；组装材材料之选选择是否否恰当、设设备布局局是否完完善，亦亦为气流流是否成成为涡流流现象之之重要因因素。 HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段五、洁净室室之构成成洁净室室的构成成是由下下列各项项系统所所组成(在所组组成的系系统分子子中是缺缺一不可可的)，否否则将无无法构成成一完整整且品质质良好的的洁净室室： (1)天花板板系统：包括吊吊杆(CCeillingg rood)、纲纲梁(II-Beeam或或U-BBeamm)、天天花板格格子梁(Ceiilinng ggridd或 CCeillinggfraame)。 (2)空调系系统：包包括空

24、气气舱、过过滤器系系统、风风车等。 (3)隔墙板板(Paartiitioonall waall)：包括括窗户、门门。 (4)地板：包括高高架地板板或防静静电舒美美地板。 (5)照明器器具：包包括日光光灯、黄黄色灯管管等。 洁净室室之建筑筑主体构构造，一一般是用用钢筋或或骨水泥泥，但无无论是何何种构造造，必须须满足如如下之条条件： A.不不会因温温度变化化与振动动而发生生裂痕； B.不不易产生生微尘粒粒子，且且很难附附着粒子子； C.吸吸湿性小小； D.为为了维持持室内之之湿度条条件，热热绝缘性性要高； HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段六、洁净室室按用途途分类（

25、可可分为两两大类）工业洁净室室以无生生命微粒粒的控制制为对象象。主要要控制空空气尘埃埃微粒对对工作对对象的污污染，内内部一般般保持正正压状态态。 它它适用于于精密机机械工业业、电子子工业（半半导体、集集成电路路等）宇宇航工业业、高纯纯度化学学工业、原原子能工工业、光光磁产品品工业（光光盘、胶胶片、磁磁带生产产）LCCD（液液晶玻璃璃）、电电脑硬盘盘、电脑脑磁头生生产等多多行业。 生物洁净室室主要控控制有生生命微粒粒（细菌菌）与无无生命微微粒（尘尘埃）对对工作对对象的污污染。又又可分为为； A、 一般生生物洁净净室：主主要控制制微生物物（细菌菌）对象象的污染染。同时时其内部部材料要要能经受受各种

26、灭灭菌剂侵侵蚀，内内部一般般保证正正压。实实质上其其内部材材料要能能经受各各种灭菌菌处理的的工业洁洁净室。例例：制药药工业、医医院（手手术室、无无菌病房房）食品品、化妆妆品、饮饮料产品品生产、动动物实验验室、理理化检验验室、血血站等。 B、 生物学学安全洁洁净室：主要控控制工作作对象的的有生命命微粒对对外界和和人的污污染。内内部要保保持与大大气的负负压。例例：细菌菌学、生生物学、洁洁净实验验室、物物物工程程（重组组基因、疫疫苗制备备） HYPERLINK /view/4181445.html 编辑本段七、洁净室室污染源源知识1、发尘量量洁净室室内的发发尘量，来来自设备备的可考考虑通过过局部排排

27、风排除除，不流流入室内内；产品品，材料料等在运运送过程程中的发发尘与人人体发尘尘量相比比，一般般极小，可可忽略；由于金金属半壁壁（彩钢钢夹心板板）的应应用来自自建筑表表面的发发尘也很很少，一一般占110%以以下，发发尘主要要来自人人，占990%左左右。在在人的发发尘量上上，由于于服装材材料和样样式的改改进，发发尘绝对对量也不不断减少少。 A、材材质：棉棉质发尘尘量最大大，以下下依次为为棉、的的确良、去去静电纯纯涤纶、尼尼龙。 B、样样式：大大挂式发发尘量最最大，上上下分装装型次之之，全罩罩型最少少； C、活活动：动动作时的的发尘量量一般达达到静止止时间33-7倍倍； D、清清洗：用用溶剂洗洗涤

28、的发发尘量降降至用一一般水清清洗的五五分之一一。 室内维维护结构构表面发发尘量，以以地面为为准，大大约相应应8平方方米地面面时的表表面发尘尘量与一一个静止止的人的的发尘量量相当。 2、发菌量量工作人人员产生生的污染染： 1）皮皮肤：人人类通常常每四天天完成一一次皮肤肤的完全全脱换，人人类每分分钟脱落落约10000片片皮肤（平平均大小小为300*600*3微微米） 2）头头发：人人类的头头发（直直径约为为501000微米）一一直在脱脱落。 3）口口水：包包括钠、酶酶、盐、钾钾、氯化化物及食食品微粒粒。 4）日日常衣物物：微粒粒、纤维维、硅土土、纤维维素、各各种化学学品和细细菌。 5）人人类静止止

29、和坐立立每分钟钟将产生生100000个个大于00.3微微米的微微粒。 6）人人类在头头部和躯躯干做动动作时每每分钟将将产生1100000000个大于于0.33微米的的微粒。 7）人人类以00.9mm/s的的速度行行走时每每分钟将将产生5500000000个大于于0.33微米的的微粒。 分析国国外试验验资料可可以认为为： （） 洁净室室内当工工作人员员穿无菌菌服时： 静止时时的发菌菌量一般般为100-3000个/minn.人 躯体一一般活动动时的发发菌量为为 1550-110000个/mmin.人 快步行行走时的的发菌量量为 9900-25000个/minn.人 （） 咳嗽一一次一般般为 770

30、7700个个/ mmin.人 喷嚏一一次一般般为 4400006220000个/ minn.人 （） 穿平常常衣服时时发菌量量 33300620000个个/ mmin.人 （） 无口罩罩发菌量量:有口口罩发菌菌量 11:71:114 （） 发菌量量：发尘尘量 11:500011:10000 据国内内事例： （） 手术中中人员发发菌量 8788个/ minn.人 所以，可可知洁净净室内无无菌衣人人员的静静态发菌菌量一般般不超过过3000个/ minn.人，动动态发菌菌量一般般不超过过10000个/ miin/人人，以此此作为计计算依据据是可行行的。 HYPERLINK /view/4181445

31、.html 编辑本段八、洁净室室标准规规范国内标准规规范（1）.洁净厂厂房设计计规范 GB5500773-220011 （2）.医院洁洁净手术术部建筑筑技术规规范GBB503333-20002 （3）.医药工工业洁净净厂房设设计规范范GB 504457-20008 （4）.传染病病医院建建筑设计计规范 （5）.医药工工业洁净净室（区区）悬浮浮粒子的的测试方方法GBB/T1162992-119966 （6）.QS认认证质量量手册 （7）.GMPP HYPERLINK /view/409610.htm 药品品生产质质量管理理规范 国际标标准规范范ISSO系列列 （1）IISO1146444-11

32、HYPERLINK /view/549897.htm 空气气洁净度度等级划划分 （2）IISO1146444-22 为认认证ISSO1446444-1的的 连续续的相符符性的测测试和监监测技术术要求 （3）IISO1146444-33 测试试方法 （4）IISO1146444-44 设计计建造启启动 （5）IISO1146444-55 运行行(Opperaatioons) （6）IISO1146444-66 术语语和定义义 （7）IISO1146444-77 分离离装置(洁净空空气罩、手手套箱、分分离器和和微循环环设备 （8）IISO1146444-88 分子子污染 （9）IISO114644

33、4-99 洁净净化学品品（液体体） IESST系列列 洁净空空气： RP-CC0001高高效与超超高效过过滤器 RP-CC0002单单向流装装置 RP-CC0006洁洁净室测测试RPP-CCC0077超高效效过滤器器测试 RP-CC0008气气体吸收收装置 RP-CC0016洁洁净室非非挥发性性残留物物质的沉沉积率 RP-CC0021高高效与超超高效过过滤器过过滤器介介质测试试 RP-CC0034高高效与超超高效过过滤器过过滤器检检漏 洁净室室与洁净净环境： RP-CC0006洁洁净室测测试 RP-CC0012洁洁净室设设计要点点 RP-CC0016洁洁净室非非挥发性性残留物物质的沉沉积率 RP-CC0018洁洁净室管管理运行行与检测测程序 R