化学品管路施工方案

1、化学品管路施工方案前言由于化学品种类纷繁复杂，涉及行业也较多，本文着重讲述晶圆厂及TFT厂房的工艺用化学品的施工方案。一.化学品管路种类及相应的材料选型要求晶圆厂化学品种类化学品种类（溶剂类）：C260、EKC-270、NMP、OK-73、A-515、IPA,除EKC-270使用PFA/304BA管，其余均使用316LEP管，接管方式配合VMB出口及机台入口端形式接管。化学品种类（酸、碱类）：HF1%、HF49%、H2O2、NH4OH29%、DEVELOPER、M1、BOE200:1、BOE500:1、BOE50:1、HN03、HCL、H3P04、H2SO4使用PFA/CLEAR-PVC双层管

2、直接弯管，接管方式配合VMB出口及机台入口端内管，直接扩管，外管使用40AC-PVCSOCKET固定。TFT-LCD厂房化学品分类Array厂房EBR稀释剂，PS-2双氧水，TMAH20%显影液，STRIPPER剥离液，ITO-Etchant刻蚀液，AL-Etchant刻蚀液，HNO3，KP5，K255等。Cell及CF，PE厂房N321清洗液，NMP,IPA,EBR稀释剂，DEV0.025%，ITO-REWORK,HF酸，HNO3硝酸，中和剂等。TFT-LCD厂房化学品供给管路的材料选型SUS316LEP管成品电解抛光EP级不锈钢管及管件，常用品牌：KUZE、Dockweiler、Valex

3、、Asflow等CLEAN-PVC管洁净PVC管路及管件，常用品牌：ASAHI旭金，SEKISUI积水CPVC（外管）+PFA（内管）透明CPVC管，常用品牌：环琪、协羽高纯PFA管（451或951系列），常用品牌:Entegris、Pillar、NICHIAS、Swagelok等。二化学品管路施工方案（3种方案A,B,C）SUS316LBA/EP管采用氩气保护自动焊接管路架设1预制工作环境作现场需配有一临时性洁净棚（CleanBooth）,且所有配管工作的操作基本上在此区域内完成，以避免一些不当的污染。此洁净棚必须维持且控制在以下的环境条件：临时性洁净棚：微尘数量（静态数，粒子小于0.3um

4、）1um=0.001mm：（人的一般毛发为100um）库房：（用于储存材料及预制好的阀盘、管件等）其洁净度为Class10000。在Class10000CleanBooth内测得的微粒数量（0.1um以上的微粒）不能超过10000PCS/c.f切割工作区域：Class1000用于切割管材，组装阀盘等。焊接工作区域：Class100用于焊接、预制管件。维持洁净之条件：于焊接工作区域内，其温度为21C,相对湿度为65%。气流：每小时循环5-10次环境：此环境棚内保持正压30Pa,足以阻绝微粒、油污及其他外来的物质。在此区域内工作，必须身着无尘衣、鞋及PVC手套。当微粒数量超标时，应减少洁净室内工作

5、人数，或更换MEPA过滤器再做一次测试，直到达到标准后再开始工作。1-2预制工作(在简易洁净室cleanbooth)1-2-1.假镕1自动镕解时，若配管直径大于20A应根据需要实行假镕。假镕的场合也需要由有资格者实行、施工前确定BACKSHIELD气体是否符合流量及纯度的规定。3假镕时，确认两配管切面处理符合规定、配管的中心一致。1/3。假镕时镕接部的入量应小于配管厚度的5假镕间隔根据配管大小而定、但普通于等间隔四处实行。II,1fiv)j6假镕后须清洁表面酸化膜、确定镕点与配己管表面平坦。7使用自动镕接机假镕时，须与真正镕接时同样条件下做成样品,确定无任何问题。假镕位置一般为4点或6点1-2

6、-2.冲吹气体(Backsealgas)Backseajig使用氩气，露点-80C或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量为零。1-2-3.冲吹用管连接冲吹气体管路与架设管路，使用(Backsealjig)三$(Backseagas)2-4.架设程序将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀1-2-5.装封完成焊接之后，在管内充满Ar气，而且用无尘的塑胶纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑胶纸裹起来。1-2-6.储存及搬运材料必须置于特定的储藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛

7、光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑胶封套打开直到现场要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。1-3现场焊接1-3-1.现场焊接的人员必须有受过高洁净度配管技术鉴定通过。原封置现场。将所要焊接之管路的管套拆掉，并连接Backsealgas。3冲吹干净焊接管路后将一端之Backsealgas拆掉，并开始焊接。1-3-2.管路维持条件即使焊接结束，也要维持小量的N2或Ar在管内冲吹以防止空气流入管内。1-4管路的固定1-4-1.配管固定物不可与施工配管上有所负担。1-4-2.施工配管结合角度不正确时不可用支持物改正。1-4-3配管接续部（镕接部等）不可设置支持物。1-4-4.配管的支持

8、间隔必须按照设计基准施工。1-4-5.以U形束固定配管时、须考虑配管热胀冷缩和地震等异常状态的发生、不可束太紧、配合配管路线施工。1-4-6.配管可能受振动的场合、须与支持物及配管之间加入振动缓冲材料。1-4-7.固定配管时、必须考虑未来需要、保留空间。1-4-8.室外配管及地下埋设配管须采用防腐蚀对策。（特别是埋设配管时须与专家详细商量）1-4-9.一般配管固定如下图设置：1-4-10.配管固定时须考虑材料电食、腐蚀性质是否相容而选定。1-4-11.配管支持物可能受振动影响时、须采用方针对策。（参照设计基准）1-4-12.支持物的制造须根据半导体规则、避免表面伤痕。4-13.配管支持用材料也

9、必须实施禁油处理、装配前用酒精擦净。弯管作业规范1配管弯曲作业应注意二原则：1-1.比较图面上两端，由短方面先开始弯曲。将较短尺寸配管上做记号，此部分应放在Bender左侧，Set次之。进行弯曲时用Latch固定Pipe，将手把往配管上面滑动，转动90来完成弯曲。此时配管上面会有以下情形之伤痕。Latch部位的伤痕2Bending部分的伤痕这两个伤痕之间，2的伤痕要特别注意。因此部分在配管之端面,在Swagelok接缝套圈发生时会产生100%Leak等困扰。在Latch部分圆圈方向之伤痕不会发生这种困扰。2-1-2.两端一方弯曲180（R弯曲）时，必须从180弯曲方向作业。这种时候，R弯曲尺寸

10、在配管上做记号，而将此处置在Bender左侧予以Set之。2-2配管弯曲之实际2-2-1.90弯曲*做记号之尺寸，Set在Bender左侧时（例如开始弯曲部份时）Link用Stoppim压住，作为基准点。配管上做记号之划线与Link上记号叠合90然后用Latch固定。3.Shoehandle0与ForeHandle0相合。4.Shoehandle打旋转至Forehandle90线，将配管弯曲。5.使用Score来检查有没有成直角。*做记号之尺寸，Set在Bender右侧时将配管上记号之划线与Link上记号之R贴合，其他顺序一样。2-2-2.180（R弯曲）配管上记号之划线之尺寸，设定在Bend

11、er左侧。划线与Link之90。贴合。对正ShoeHandle与ForeHandle0点，将ShoeHandle向ForeHandle180线弯曲。与90弯曲同理，Sus配管弯曲后还会SpringBack,因此弯曲时多弯些。2-2-3.弯曲45记号之划线，任其放置在左侧或右侧均可。配管上划线对正Link45贴合。对正ShoeHandleForeHandle0点，将ShoeHandle弯曲到ForeHandle45线。弯曲角度用分度器校正。2-2-4.45以内弯曲记号之划线尺寸，任放置于Bender左侧、右侧均可。将Link上面刻度等分为045，而在目的之角度值予以划线。将正ShoeHandle

12、与ForeHandle对正0，再将ShoeHandle0弯曲至ForeHandle刻度30相当之线。弯曲角度用分度器校正。2-2-5.4575。弯曲记号之划线尺寸，任放置于Bender之左侧、右侧均可。在Link上45R之间，将R视为90而予以等分，再用划线作出所求角度值。对正ShoeHandle与ForeHandle0点，将ShoeHandle弯曲到ForeHandle刻度上所求角度值。用分度器校正其角度。2-6.7589。之弯曲用正规手续弯曲至90，用Vice将配管拉回所求角度。但4589。间欲求其弯曲角度较为困难，设计时应尽量避免选取此角度。管路的切割铳面1中大口径配管原则上切割应于洁净

13、亭内执行。但如果顾客的洁净室已完成、可在其洁净室内切割。（但如果切割产生切屑、也有不于洁净室内执行的场合）切割前应确认配管表面无有害痕迹、破坏。配管切割时须是用不锈钢专用切割器（STAINLESSSTEELTUBECUTTER）缓慢进行切割、保持切面直角（90土0.5）。原则上应横放于水平固定、防止切屑进入管内。配管切割后须以AIRGUN用洁净的气体清除，切割面应位于下流方向。切割后如管上附有切屑或其他杂质，须用无尘布料LINT-FREECLOTH）擦净。切割后应用专用的切面加工器处理切面。进行切面加工时，为了防止切屑进入管内，应置加工面于下流,从上流冲放洁净的气体。加工后，使切面朝下，从上方

14、敲打几次，去除切屑杂质。切面加工终了后，确认切面处理是否良好。若检查合格，用高纯度工业用Ar气清除配管外表。如确认管内外无杂质或异常现象，于两端加盖。如配管不能横放水平切割、下放管便不可使用。2小口径配管（1/4”一1/2”）保证Cutter与管材垂直，以免损伤刀片。一次进刀不可过深，否则会使切口变成椭圆，并有损Cutter，把手每次旋转角度30。即可。开始切割时，必须前后旋转3-4次半周，以保证端口在同一水平面。切割完毕，检查切口时，要使管材倾斜，由下往上看，以防止切屑进入孔内附着。检视切断部外径不得产生螺旋划痕。5切管完毕后，切断部会形成锥状，并有毛边产生，使用端面机修整切断部，致形成一平

15、面以利焊接：端面机不可一次进刀太多或转速太快，以免因过热而使端口氧化。保证管材与端口成垂直状态。3倒角修除毛边，倒角器要垂直于端口，使管材倾斜向下，防止铁屑进入管内。注意：管路修改时，应尽量避免垂直切后套切割时必须用大流量Ar冲吹。1”以下尺寸通常如下I4.管件接头#安装4-1compressIOntype：（一般为1.螺钉帽ess（本体Pe之接前套通常如下螺钉帽TUBE管2.安装手续、照下列步骤实行。1TUBE管插入接口、确定管于接口内牢固嵌入、然后于嵌入程度作记号。2为了确定接口构成、TUBE管在内时，缓缓地松开螺钉帽，确认TUBE管前后金属套圈是否正确插入。3TUBE管在接口内时，用专用

16、螺旋钳转紧至指紧(FINGERTIGHT),设此点为螺钉始点，作记号。4接口用专用螺旋钳固定，旋转螺钉帽1又1/4次。5安装后，用专用检查器检查螺钉及本体之间的空隙。2METALGASKETTYPEMETALGASKETTYPE用接口的构造，一般如下。安装手续照下列步骤由于配管接续后无法改正，须于装配前确定配合角度正确。2GASKET及GASKETRETAINER装上本体GLAND，但须小心不伤及本体。一旦有伤痕全体的密封度会受影响。3组合其他部品，紧紧旋转雌性钉帽。于雄性及雌性钉帽作记号。5用专用螺旋钳固定本体，于316不锈钢和NICKELGASKET的场合，指紧之后再旋转1/8次。6如使用

17、无RETAINER的GASKET，须重新接合时应使用新的GASKET。但如使用有RETAINER的GASKET，可根据上述步骤重新接合(最多3次)。3NPT接头安装NPT牙型接头一端为SWG型接头，另一端为螺纹接头。NPT牙连接于机台前，须以生料带(TYPE-SEAL)先行以渐进法案顺时针方向缠绕于牙端3-4圈。连接于机台时，先以手旋紧接头，再以扳手施力旋紧。连接管路与SWG型接头端4Flange接头安装Flange接头用于大型阀件连接处；施工前检查Flange是否有瑕疵，并确定清洁材料表面。2.将Flange以氩焊焊接与连接处，将管子插入Flange正面2-3mm深度处点焊之；用手焊机将Fl

18、ange正面延圆周焊接一圈，用同样方法再焊接Flange的背面;如果先焊Flange背面,极可能会污染Flange正面而导致漏缝，因此务必先焊Flange正面部分。焊接时需注意与工材连接成垂直状，焊道不得有孔，焊渣及龟裂细纹产生，外部不允许因过火导致色异。组合各阀件时，于阀件间置入一垫片（铁弗龙）再用手将螺丝固定、螺栓固定方式以对角法依序装置。调整组合阀件之水平，使成一直线；再以开口扳手依对角方式螺紧各螺栓。熔接规范自动焊：1.将焊接管材施以切断、端面、倒角程序，使两焊接工件之管壁相通。2.将焊接管材通以使用经0.01um过滤的Ar，设定好流速（压力）循环通入管中吹净，赶出空气。注意：1Arg

19、ongas纯度达99。999%以上才予使用原则上使用液化Argongas。3熔接时氧化膜无法去除时要更换Gas。5-3.调整钨棒与焊接管材之间的间距。注意：研磨钨棒时不能偏颇。2产生熔接联珠或蛇形是钨研偏所致，要重磨。研磨时使用研磨专用机。3Taper角度请参考下记图面。熔接产生CAP时，用GapGauge来修正。5-4.调整数据及前后吹气时间（数据设定请详见自动焊机讲解部分）一般前后吹气时间不可低于10秒。5-5.启动焊机，观察电流、电压之稳定性。1使用Tester确认电压使用220V的场合要确认结线。3使用110V电源时，为保护配线，要使用附有漏电Breaker之插座。接地线要用熔接机单独

20、使用者。5-6.焊接结束，调整内部保证气体流量。5-7.检查焊道有无瑕疵。5-8.表面清洁1物理清洁：以钢刷去除表面氧化物化学清洁：以电解方式清除表面氧化物。5-9.注意事项：1中心点偏移：钨棒与熔接面位置偏移钨棒之研磨角度不对熔接联珠不均：切割面90。未出来割面有突起物钨棒消耗3熔化不足：观察熔接时焊接内面，调整电流4过熔低陷：内气压力未控制好5焊道蛇形：焊把气太大5-10.焊机不起弧原因：1钨棒间隙大小不适合2起弧电流太小3钨棒导电性能不良保险丝坏掉焊机、焊把出现线路故障6信号线安装：使用业主提供之0.5m/m2CABLE及50pin、PLAG、57-30500之接头，外加EMT管保护，衔

21、接EJB箱及机台入口端。依据CHEMICAL主系统设计需求，完成化学系统信号线配线，并做信号线短路测试，确定无短路现象产生，填写表单后，开始记录。CLEAN-PVC管胶粘施工+单边焊条焊接本文不做详细叙述，参考常规超纯水管路施工。CPVC（外管）+PFA（内管）CPVC外管采用热熔煨弯胶粘连接，内管整管穿管，常规施工。CPVC（外管）+PFA（内管）施工流程介绍及各步骤的施工注意事项施工准备材料准备：成品整卷PFA管（一般1-1/2”以下为100米/卷，1-1/2”以上规格不常用）外管透明CPVC管及直通成品支架等机具准备：割刀，烘箱，PFA管专用剪刀，入珠接头模具，热风枪,冷水桶，洁净布，酒

22、精等PFA割刀及入珠模具烘箱烘枪布袋钳施工过程外管（CPVC管）施工材料选用普通透明CPVC管（无需耐高温管），在确定管路走向的路径后，先将固定支架安装到位，后敷设外管。遇到拐弯处，用烘箱烘烤PVC管，在受热到一定程度时，将外管从烘箱中取出，迅速煨弯，带弯成型后，用浸入过冷水的洁净布给CPVC管降温。待恢复常温后，煨弯工序结束。用承插直通将弯头连接粘胶即可。外管粘接外管煨弯注意事项：对于此过程的施工，控制烘箱温度是关键点，温度过高PVC管容易烤化，温度过低，不利于成型；另外，尽可能减少外管的拐弯处，否则不利于后续穿管施工。内（PFA管）穿管施工2.1.在外管配管工作完成后，进行内管穿管。将成卷

23、的PFA管去掉一端封口，从VMB（或者机台处）穿入外管内，穿管缓慢进行，不得使PFA管折弯，保证过度弧平滑。2.2用浸过酒精的洁净布将管口及割刀清洗擦净，将端口切平。PFA管割刀清洁PFA管端口清洁2.3.用热风枪对切口处5厘米范围内进行加热1-2分钟，待PFA管颜色略微发黄时，插入入珠模具。PFA管加热入珠模具定形2.4用浸入过冷水的洁净布给PFA管降温，然后将入珠接头放到PFA管内部入珠模具注入入珠1.5.将VMB处螺母锁紧，PFA管接头处施工完毕。注意事项：穿管过程中，必须保证内管无折痕，无损伤；在安装入珠接头时，加温时间要把握得当，否则会造成PFA内管受损；一般二次配管路并不会太长，故

24、成卷的PFA管（100米），可施作3-4个点；PFA内管严禁存在直通类，或者三通类接头，实在不可避免，一定要做T-BOX，接头BOX，加装漏液报警装置。T-BOX安装三.化学品管路测试要求及标准测试标准：316LEP管路于配管完成后，使用PN2气体做保压测试（6kg/cm2以上，24Hr）测试完成后，贴上管路名称标签，并于VMB阀箱内VCR处贴上易碎标签，机台入口端由设备人员自行衔接，并填写测试报告，交给业主签认。PFA/CLEAR-PVC管路由于配管完成后，使用PN2气体做保压测试，(3kg/cm2,4Hr)测试完成后，贴上管路名称标签，并于VMB阀箱内接头处，贴上易碎标签，机台入口端由设备人员自行衔接，并填写测试报告，交给业主签认。信号线测试：于施工前先完成短路测试，施工完成后再做一次短路测试，测试完成后机台入口端由HOOK-UP厂务人员陪同设备进行衔接，接点变更，须填写接点变更单，交CHEMICAL供酸主系统人员作最后确认，EJB箱出口端，配合一次配管厂务人员，进行衔接。系统供液：CHEMICALHOOK-UP施工人员完成管路配管后，须再次确认VMB接头是否松动，机台接口端由奢别人员配合CHE