低温泵知识徐玉峰通用PPT课件

1、低温泵相关知识交流浙江博开机电科技有限公司（徐玉峰）2013年7月3日浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司1、低温泵的构造、低温泵各部件的功用及工作原理、低温泵实用案例 4、 低温的维护保养及特点目次浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司2什么是低温泵 利用小型氦制冷机作为冷源，产生10K（-263)左右的低温，通过冷凝和吸附被抽容器的气体来获得和保持高真空的设备。浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司3采用技术 浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司低温技术 低温的获得（即降温）、保持与应用技术真空技术 真空的获得、保持与应用技术4 *压缩机将氦气压缩之后送

2、到制冷机里 *制冷机使被压缩的氦气在制冷机里压缩，膨胀，持续降温，达到冷却作用 *泵体泵体内（障板处）将气体凝固，使气体被吸附获得更高真空上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。低温泵的构成浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司5低温泵的构造10k制冷机低温泵内部结构（氦）压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司67障板因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司77 冷屏黑漆处理层面如果脱落了，辐射的热量被反射，增加15 K冷板的负载。热辐射浙 江 博 开 机 电 科 技

3、 有 限 公 司8如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能辐射热20 冷板吸附阵浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司9制冷装置制冷机、压缩机制冷机的物理学依据 根据热力学第二定律，封闭系统内部热能自发的流动方向是单向的，即只能从高热流向低热。 低温泵的热负载主要是气体的凝结热和周围壁面对工作冷板的辐射热。 气体在低温泵内遇冷从而凝华变成固态，凝华的过程中释放热量。热量被一级、二级冷凝头吸收，再通过热交换从压缩机转移出去。一级冷头50-70k二级冷头10-20k浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司10氦气循环原理浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司11

4、低温泵的抽气方式抽气的主要方式低温冷凝 气体分子冷凝在表面上或冷凝板在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温吸附气体分子以一个单分子层厚 (10-8厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。低温捕集在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司12温度的换算制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司13低温泵抽气原理H2ON2ArNe65 - 100 K15 K15 KH2通过这层，水蒸汽被冷凝，其

5、它气体被预冷N2、Ar等气体通过这层被冷凝H2, He和Ne气体通过这层被低温吸附 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司14气体成分第一层次为 水气类第二层次为 氮气、氩气等第三层次为 氢气等制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司15制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司低温泵的抽速16气体吸附效果图 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司17 低温泵应用案例制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司博开DZB500低温泵在无锡某微电子公司镀膜机上

6、的应用18 实用案例制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 博开DZB500低温泵在南京某光电公司红外镜片镀膜机上的应用19 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司博开DZB550低温泵在浙江某装钸品镀膜机上的应用20 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司博开DZB300在某LCD显示屏镀膜线上的的应用21 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司博开DZB250在昆山某台资企业EMI膜磁控溅射生产线上的的应用22 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限

7、 公 司博开DZB400低温 泵与分子泵组合使用在多弧离子镀膜机上23 制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司为长春某研究所研制的液氮辅助制冷型1250mm口径低温泵24低温泵的再生什么是低温泵的再生 低温泵的再生是使泵内吸附凝结所贮存的气体解析和脱附的过程，再生的方式有多种，其所需时间和再生效果也有所不同。再生的方式自然加热再生 它是利用泵壁与周围空气的热交换来使泵升温的，这个升温过程相当缓慢。气体冲洗再生 气体冲洗再生是普遍的一种方法，它利用冲入泵内的室温或加热的干燥的惰性气体（N2 或Ar）对泵进行加热，因为能够进行有效的对流热交换，所以可以缩短再生时间，而

8、且气体冲洗有利于水蒸气从活性炭中脱附出来，提高了低温泵的再生质量。电加热再生 电加热再生是一种经济的再生方法，目前有两种不同的加热方式，一种是利用加热带裹在泵壁外表进行加热，另一种是利用泵内冷头上的加热板进行加热。由于低温泵中的部分元件不能承受高温，因而需要对加热过程进行控制。浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司25 低温泵的优势-真空度制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 一台标准型的低温泵，其极限真空度可达10-7Pa，必要时，在不加其它辅助泵的情况下也可以做到10-9Pa，而理论上，甚至于达到更高。26 低温泵的优势-抽速制冷装置制冷机、压缩机浙

9、 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 。在同口径的情况下差不多比分子泵和油扩散泵大1/3 。对水具有超高的抽速 。大多数情况下，水蒸气是真空系统的主要负荷，低温泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快，可以大大提高产品产出量。27 低温泵的优势-洁净制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 。 真空室无任何运动部件；真正意义上的“无油”真空泵 。切换压力高。减少抽气时间，不会产生返油28 低温泵的优势-成本低制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开 机 电 科 技 有 限 公 司 。节约电力；。无需液氮。维护费用低；。低温泵工作，前级泵休息。29 低温泵的优势-安全可靠制冷装置制冷机、压缩机浙 江 博 开