特气异常泄漏分析8D报告

1、1文控编号：HPVOC-CXGFQA-3027F002 版本号：A04部门：公共设施部日期：20152015年1 1月3030日 报告编号 保密等级一般 秘密 机密 绝密保存年限 5年编 制审核会签批准设备技术生产其它质量彭勃赵文博报 告 名 称D1 团队成立.P2D2 问题描述.P3D3 应急措施.P4D4 原因分析.P4D5 改善措施.P14D6 预防措施.P15D7 效果确认.P16D8 标准化.P16目 录2D2 问题描述事件描述PECVD107#锗烷环境点侦测器读数上升至二段报警值，造成车间内特气报警灯红灯亮蜂鸣报警，导致气体供应设备全down机，迫使生产中止。发现时间2015年1月

2、24日 09:57发现地点PECVD车间发现人员联华林德TGM值班发现原因SCADA监控电脑出现一段报警影响说明全厂人员撤离，生产中止。图示说明PECVD107#锗烷侦测器环境点检测到浓度上升3D3 应急对策 有有 无无序列拦截措施执行者执行日期备注说明1全厂人员紧急撤离全体人员1月24日2关闭泄漏的相关设备赵文博唐陈雷1月24日3开启泵房紧急排气及车间换气空调中控室值班人员1月24日D4原因分析 特气泄漏方法材料环境人员机器初因筛选：人员操作不当或者沉积炉腔体泄漏气体管道气体管道操作不规范操作不规范气体侦测器气体侦测器环境因素干扰环境因素干扰GMSGMS系统系统沉积炉腔体沉积炉腔体培训不到位

3、培训不到位4D4原因分析根因排查说明：4.1.为什么特气异常报警？ a.侦测器故障 分析：侦测器传感器失效或未及时校验，侦测器在运行过程中，抽气泵抽到的空气在合格范围内，传感器校验过期或传感器设定值零点漂移，导致侦测器误报警，从而导致特气系统异常报警，车间内特气泄漏报警灯联动报警。侦测器2015年1月13日至2015年1月14日已更换65颗侦测器（PH3四颗、SIH4七颗、GeH4四十三颗、CH4九颗、H2两颗），其余68颗侦测器的传感器均已全部标定。原PECVD5#、6#线侦测器全部处于关闭状态（见照片）。5D4原因分析6D4原因分析b.刺激性化学品干扰。 分析：侦测器的抽气泵吸气过程中，吸

4、到含有机容器的化学品、烟雾、强功率的电磁干扰等；化学品如：酒精、IPA、丙酮、香蕉水、油漆等；烟雾如：焚烧物品、油烟、电焊烟雾等；强功率电磁干扰，如：对讲机、强功率手机等。侦测器吸气泵吸到后，对传感器具有干扰因素。通过EHS部门协助调查，在报警前现场未发现使用刺激性化学品，外部空调新风口也未发现使用刺激性因素。c. PLC控制程序故障。 分析：GMS系统控制程序硬件模块失效、硬件接触不良因素等，导致通讯中断或异常报警，2015年1月20日，GMS系统软件更新，一对全厂GMS系统进行全方位检查，都处于正常状态。7D4原因分析d. 气体泄漏 分析：气体管道泄漏、气体设备泄漏、生产设备泄漏、尾气管道

5、泄漏等因素。报警曲线及现场实际情况依照片为证（见照片）。 注：根据壁式侦测器和便携式侦测器测试显示数据，可判断为气体泄漏。8D4原因分析报警曲线报警曲线9D4原因分析e. 生产设备内部管道、腔体泄漏。 分析：生产设备GAS BOX管道接口有漏；沉积炉腔体不密封。导致气体外漏，造成侦测器报警。根据设备部专业工程师及主管对设备及管道相应的测试结果，数据如下： 负压测试结果：VMB至设备进腔体管道全部抽为负压（-0.1Mpa），检测24H，未发现压力上升，负压检测通过。10D4原因分析 正压测试 正压测试结果：VMB至设备进腔体管道全部充氮气保正压（0.42Mpa），检测24H，未发现压力变化，正压

6、检测通过。根因排查说明： 11D4原因分析 氦检 氦检结果：开启设备至VMB出口所有阀门，对全部借口喷氦气检测，未发现泄漏。根因排查说明： 12D4原因分析f. 人员操作不规范。 分析：可能现场作业人员未按照操作规范操作设备，导致沉积炉内气体外漏，从而导致周边环境点侦测器二段报警。综上所述，导致综上所述，导致2015年年1月月24日日PECVD生产设备生产设备 1#线线107#锗烷环境点二段报警，锗烷环境点二段报警，造成供气设备造成供气设备Shut down，从而影响正常生产，造成产品工艺中断的产生原因有，从而影响正常生产，造成产品工艺中断的产生原因有以下以下2点：点： 1、造成侦测器二段报警的原因：人为因素的可能性较大。、造成侦测器二段报警的原因：人为因素的可能性较大。 2、据相关人员的分析数据结论：望生产设备备品备件及时更换及测试。、据相关人员的分析数据结论：望生产设备备品备件及时更换及测试。 3、待生产停止后，相关技术人员再进行模拟测试。、待生产停止后，相关技术人员再进行模拟测试。13D5改善措施序列项目改善措施担当日期1修改操作SOP相关文件制定完善的操作规范并严格执行生产部设备部2设备气密性检测设备检测设备部停机时或年终检测3备品备件更换及时更换备品备件设备部公共设施部定期对设备进行检