ITO镀膜交流报告

1、STN 事事业业部部1/50STN生产处生产处B班（班（QQ406433680）2009. 08. 08STN 事事业业部部2/50J/CJ/C作业时序及注意事项作业时序及注意事项STN 事事业业部部3/50 J/CJ/C时人员分工时人员分工兰玉高兰玉高兰兰玉玉高高1、人员分工2、确认主操工艺参数输入正确性3、确认产品规格书，将要求事项传达给每个员工4、检查每个人工作完成情况罗罗斌斌1、更换框架2、计算转产时间，通知净化间转产时间及周期，控制投入量3、工艺参数设定及调整及良品投入数任任其其盛盛1、确认不良留样与计数报表一致性2、及时输入生产报表及镀膜转产3、跟踪Dummy数据及时反馈主操STN

2、 事事业业部部4/50 J/CJ/C时人员分工时人员分工兰玉高兰玉高朱朱建建明明彭彭军军太太张张跃跃1、更换框架2、准备下机种所需的包材1、包装产品及生产结束打包入库2、准备下机种所需的包材3、打印下机种所需的标签4、当需要预热下个机种框架时，预热框架1、包装产品及生产结束打包入库2、将准备好的包材移送到现场3、当需要预热下个机种框架时，预热框架STN 事事业业部部5/50 具体实施具体实施根据生产进展情况，根据生产进展情况，必须提前必须提前做好准备工作做好准备工作提前准备好打印设备提前准备好打印设备测试溶液提前升温测试溶液提前升温 J/CJ/C准备准备STN 事事业业部部6/50 J/CJ/

3、C时间缩短作业流程时间缩短作业流程项项目目内内 容容责责任人任人更更换换框架框架1、提前、提前计计算好上算好上个个品品种种最后一最后一个个框架框架号号良品良品罗罗斌斌2、提前、提前10分分钟将预热钟将预热好的框架移送到好的框架移送到现现场场彭彭军军太太3、对对最后一最后一个个良品后的框架立即良品后的框架立即进进行更行更换换罗罗斌斌 彭彭军军太太STN 事事业业部部7/50 J/CJ/C时间缩短作业流程时间缩短作业流程项项目目内内 容容责责任人任人物物性性调调整整1、最后一个良品框架后面空5个框架通知净化间装载Dummy罗斌2、主操根据物性是一般规格，转产时好控制不需要挂第2次Dummy，在第1

4、个Dummy后面空4个框架直接挂良品，如果在靶材末期生产高电阻时要挂第2次Dummy，特殊机种要等Dummy数据结果出来后才能通知净化间装载良品罗斌3、最后一个框架良品在哪个区开始更改该区温度,良品进入C9区更改DC、Ar、周期，罗斌4、第一个Dummy进入C9区间后，更改冷却时间，以最快速度放出Dummy，通过产品颜色估计膜厚度情况，测量电阻根据经验作相应调整罗斌5、Dummy品测量完电阻后送FQA测量透过率和膜厚度，结果出来立即反馈主操任其盛6、主操根据透过率和膜厚度再次作调整罗斌7、班长确认主操输入的工艺参数以及Dummy数据结果，判断良品需要作哪方面调整兰兰玉高玉高结结论论一般机一般机

5、种种物性物性转产时间转产时间是：是： 10个个框架框架*周期周期靶靶材材初、初、末期末期转产转产高高电电阻阻时间时间是：是： 16个个框架框架*周期周期STN 事事业业部部8/50J/CJ/C时注意事项时注意事项序序号号J/CJ/C时时注意事注意事项项责责任人任人1J/C更换框架时，更换框架作业者要检查确认好框架变形更换框架时，更换框架作业者要检查确认好框架变形与否的正常状态与否的正常状态相相应应作作业业者者2认真确认产品规格书认真确认产品规格书,特别是特记事项，要让每个员工都知特别是特记事项，要让每个员工都知道道兰兰玉高玉高3根据产品物性规格来判断进行的根据产品物性规格来判断进行的Dummy

6、次数，计算出转次数，计算出转产时间通知清洗和净化间产时间通知清洗和净化间罗罗斌斌4提前计算好提前计算好Dummy装载的框架号装载的框架号罗罗斌斌5Dummy产品进入产品进入C5区间通知区间通知FQA加热溶液加热溶液罗罗斌斌STN 事事业业部部9/50J/CJ/C时注意事项时注意事项序序 号号J/CJ/C时时注意事注意事项项责责任人任人6Dummy产品出来后要通过产品颜色调整产品出来后要通过产品颜色调整DC，根据电阻，根据电阻调整温度，特别时注意上下电阻情况来调整理相应加热调整温度，特别时注意上下电阻情况来调整理相应加热板温度板温度罗罗斌斌7高电阻产品如高电阻产品如HIT 80产品至少要挂产品至

7、少要挂2个个Dummy，确认，确认电阻没问题之后才能装载良品电阻没问题之后才能装载良品罗罗斌斌8根据经验判断不好生产的特殊机种要等根据经验判断不好生产的特殊机种要等FQA数据出来合数据出来合格后才能生产格后才能生产罗罗斌斌9良品进入镀膜室后经常查看良品进入镀膜室后经常查看RGA数据波动情况数据波动情况罗罗斌、斌、兰兰玉高玉高10良品进入良品进入Sio2区间后查看区间后查看RF反射功率情况，要将反射功反射功率情况，要将反射功率控制在最低率控制在最低罗罗斌、斌、兰兰玉高玉高11第一个框架良品进入第一个框架良品进入C9区后要以最快的时间放出镀膜室区后要以最快的时间放出镀膜室（更改冷却时间）（更改冷却

8、时间）罗罗斌斌STN 事事业业部部10/50说明：良品结束的下一框架镀膜工序开始更说明：良品结束的下一框架镀膜工序开始更换框架，根据调整温度隔换框架，根据调整温度隔4-64-6个框架挂个框架挂DUMMYDUMMY关注：物性、安全、信息传递关注：物性、安全、信息传递说明：说明：当第一次当第一次DUMMYDUMMY装载后，间隔装载后，间隔5 5个框架时个框架时 装载第二次装载第二次DUMMYDUMMY，如果第一次如果第一次DUMMYDUMMY正正 常及时装载良品常及时装载良品关注：物性、信息传递关注：物性、信息传递说明：说明：先测量电阻及透光率，当该项正常即先测量电阻及透光率，当该项正常即 通知装

9、载良品，接下来测量膜厚度通知装载良品，接下来测量膜厚度关注：准确性、信息传递关注：准确性、信息传递说明：说明：电阻及透光率值正常即装载良品，电阻及透光率值正常即装载良品， 不等待膜厚度数据出来再装载不等待膜厚度数据出来再装载关注：物性、信息传递关注：物性、信息传递A A 更换框架更换框架D D 等待时等待时C FQAC FQA测量测量B B 物性调整物性调整J/CJ/C时序汇总时序汇总STN 事事业业部部11/50时间时间 分分钟钟 5 51010151520202525责责任人任人更更换换框架框架净净化班化班长长镀镀膜班膜班长长当净当净化化间间最后一最后一个个框架装框架装载载完，完，镀镀膜立

10、即膜立即开开始更始更换换框架框架物性物性调调整整净净化班化班长长镀镀膜班膜班长长 第五第五个个新框架装新框架装载载DUMMY，间间隔隔5个个框架装框架装载载良品良品FQA测测量量FQA人人员员电电阻及透光率正常阻及透光率正常等待等待时间时间微微调参数将数调参数将数据在中心据在中心值值镀镀膜班膜班长长密切跟踪密切跟踪DUMMY物性情物性情况况品种：品种：S56NL7R-80S56NL7R-80欧姆基准欧姆基准时间：时间：8 8月月1818日日 靶材寿命的变化会进行适当调整靶材寿命的变化会进行适当调整 速度：速度：2.52.5分钟分钟12.51057.5J/CJ/C时物性时间分解时物性时间分解ST

11、N 事事业业部部12/50 J/CJ/C异常调整举例说明异常调整举例说明进行2次Dummy，J/C共54分钟背景：背景：8 8月月1212生产生产S16NL7R-80 HITS16NL7R-80 HIT产品时，进行产品时，进行2 2次次DummyDummy共用时共用时5454分钟分钟 规格规格: 82: 8210 ITO10 ITO膜厚度：膜厚度：32032070 70 透过率：透过率：87.2%87.2% 第1次Dummy温度：430/560/540DC：2.16第1次Dummy结果:电阻:85-92上限,上下电阻有超规B面比A面电阻高膜厚度:274-284有较多的上调空间,增加DC电阻不会

12、太明显下降透过率:88.0%-88.3%,有下调空间,但增加DC透过率会下降增加A面:DC:0.03KW增加B面:DC:0.05KW增加温度:20度,C5区上下加热板温度由560/540-620/340第2次Dummy第2次Dummy结果:电阻:78-82上下电阻最高86良品按第2次Dummy条件进行生产STN 事事业业部部13/50确认框架是否超出外框底槽确认框架是否超出外框底槽J/CJ/C时更换框架点检内容时更换框架点检内容确认挡板变形、歪斜确认挡板变形、歪斜确认框架横杆变形确认框架横杆变形确认框架是否凸出外框确认框架是否凸出外框STN 事事业业部部14/50J/CJ/C时更换框架点检内容

13、时更换框架点检内容黄灯和绿灯同时亮正常黄灯和绿灯同时亮正常单一绿灯亮说明框单一绿灯亮说明框架没有挡住光眼架没有挡住光眼STN 事事业业部部15/50T/CT/C作业时序及注意事项作业时序及注意事项STN 事事业业部部16/501、更换、更换A7、A8靶材靶材2、松松C6-C10C6-C10大门螺钉大门螺钉3 3、放、放A A面靶材面靶材内面水内面水 T/CT/C时人员分工时人员分工职长职长/班长班长兰兰玉玉高高朱朱建建明明任任其其盛盛1、更换、更换A5、A6靶材靶材2 2、卸框架、卸框架3 3、拆、拆A A面面ArAr气气管管1、更换、更换A3、A4靶材靶材2、卸框架、卸框架3、拆、拆C7、C

14、8区高真空阀区高真空阀1、人员分、人员分工工2、更换、更换A1、A2靶材靶材3、松、松A面靶面靶材螺钉材螺钉4、拆、拆C3、C4区高真空区高真空阀阀1、更换、更换Sio2靶靶材材2、准备、准备工具及工具及消耗品消耗品3、拆、拆C5、C6区高区高真空阀真空阀1 1、协助、协助A A面面换靶材（抬换靶材（抬靶材拿保护靶材拿保护框）框）2 2、生产结束、生产结束打包入库打包入库张张跃跃彭彭军军太太陈陈泌泌洲洲B面面A面面STN 事事业业部部17/501 1、协助、协助B B面换面换靶材（抬靶材靶材（抬靶材拿保护框）拿保护框）2 2、将、将ABAB面靶面靶材移送到现场材移送到现场3 3、松、松C6-C

15、10C6-C10大门螺钉大门螺钉 T/CT/C时人员分工时人员分工职长职长/ /班班长长唐唐宏宏林林罗罗斌斌陈陈志志1 1、更换、更换B7B7、B8B8靶材靶材2 2、将、将ABAB面靶材面靶材移送到现场移送到现场3 3、松、松C1-C5C1-C5大门大门螺钉螺钉4 4、松、松B B面靶材螺面靶材螺钉钉1 1、更换、更换B5B5、B6B6靶材靶材2 2、关闭设备，、关闭设备，充气充气3 3、关闭冷却水、关闭冷却水阀阀4 4、放、放B B面冷却面冷却水水1 1、更换、更换B3B3、B B4 4靶材靶材2 2、将、将ABAB面靶面靶材移送到现场材移送到现场3、松、松C1-C5大门螺钉大门螺钉4 4

16、、松、松B B面靶材面靶材螺钉螺钉1 1、更换、更换B1B1、B2B2靶材靶材2 2、协调、协调B B面靶材更面靶材更换作业换作业3 3、拆、拆B B面面ArAr气管气管1 1、清洁镀膜室、清洁镀膜室2 2、拆、拆ABAB面电源面电源线线喻喻 安安张张来来民民李李鑫鑫源源B面面A面面STN 事事业业部部18/50 T/CT/C时注意事项时注意事项现象：现象：T/CT/C时，靶材内有积水，造成靶时，靶材内有积水，造成靶材不绝缘或绝缘不好材不绝缘或绝缘不好对策：对策：彻底清扫阴极，兆欧表打在彻底清扫阴极，兆欧表打在500V500V档位，测量时只要有绝缘或比没装档位，测量时只要有绝缘或比没装上靶材时

17、绝缘好，就没问题。靶材上靶材时绝缘好，就没问题。靶材装上几颗螺钉测量时如果仍能有点装上几颗螺钉测量时如果仍能有点绝缘那么继续下步作业，反之只有绝缘那么继续下步作业，反之只有拆阴极了拆阴极了使用维修电吹风机进行加热处理，使用维修电吹风机进行加热处理，边加热边进行绝缘测量，当兆欧表边加热边进行绝缘测量，当兆欧表逐步在想好的方向变化，证明是水逐步在想好的方向变化，证明是水份影响份影响靶材内有水绝缘不好注意：注意：此项作业前提是阴极不是异物造此项作业前提是阴极不是异物造成不绝缘成不绝缘STN 事事业业部部19/50 T/CT/C时注意事项时注意事项设备在开启状态开始松螺设备在开启状态开始松螺钉，这样会

18、造成钉，这样会造成高真空阀突高真空阀突然自行关闭然自行关闭真空阀关闭，开始松螺钉，真空阀关闭，开始松螺钉，这样会造成这样会造成少量螺钉松不动少量螺钉松不动现象现象真空阀关闭，真空阀关闭，C1C1、C10C10区仍区仍保持抽真空状态松螺钉，这保持抽真空状态松螺钉，这样效果最好样效果最好STN 事事业业部部20/50 T/CT/C时注意事项时注意事项现象：现象：镀膜室底部滚轮较脏，有镀膜室底部滚轮较脏，有防护罩的滚轮清洁不方便防护罩的滚轮清洁不方便对策：对策：清洁底部滚轮时，手动运清洁底部滚轮时，手动运行滚轮，转速设在行滚轮，转速设在10001000，使，使滚轮运行，这样清洁时方便，滚轮运行，这样

19、清洁时方便，同时也清洁的较干净同时也清洁的较干净滚轮在运行滚轮在运行状态下清洁状态下清洁STN 事事业业部部21/50 T/CT/C时时操作技巧操作技巧先放先放1#1#、3#3#、4#4#、6#6#、8#8#靶材作业靶材作业再放再放2#2#、5#5#、7#7#靶材作业靶材作业靶材更换时靶材更换时间缩短间缩短STN 事事业业部部22/50 T/CT/C时时操作技巧操作技巧现象：现象：螺钉随意装各螺孔，螺钉随意装各螺孔，坏的螺孔不易及时发现坏的螺孔不易及时发现造成靶材漏气造成靶材漏气对策：对策：取靶材螺钉的时候，取靶材螺钉的时候，在每个螺孔的位置做个在每个螺孔的位置做个记号，在装螺钉时保持记号，在

20、装螺钉时保持在原螺孔的地方装螺钉，在原螺孔的地方装螺钉，减少漏气减少漏气STN 事事业业部部23/50 T/CT/C时时操作技巧操作技巧现象：现象：T/CT/C时，每个区间温度降到时，每个区间温度降到250250度度以下方能开门以下方能开门对策：对策：为了加速降各区间温度，节省时为了加速降各区间温度，节省时间，生产结束时，不要马上锁框架，间，生产结束时，不要马上锁框架，最后最后1 1个良品后面空个良品后面空1010个框架，再个框架，再锁框架，通过框架运行，带走镀膜锁框架，通过框架运行，带走镀膜室内热量，这样可以节省降温时间室内热量，这样可以节省降温时间STN 事事业业部部24/50 T/CT/

21、C时操作技巧时操作技巧现象：现象：T/CT/C后，测完框架绝缘后，通常后，测完框架绝缘后，通常是净化间手动推一个框架进是净化间手动推一个框架进C1C1区，区，这样操作是为了框架能够自动运行，这样操作是为了框架能够自动运行，但这样净化间手动推框架进但这样净化间手动推框架进C1C1比较比较麻烦，也浪费时间。麻烦，也浪费时间。对策：对策：框架测完绝缘后，不从净化间推框架测完绝缘后，不从净化间推框架进框架进C1C1，而是直接抽真空，框架，而是直接抽真空，框架自动运行时，点击光眼自动初始化，自动运行时，点击光眼自动初始化，C1C1区会自动进入一个框架区会自动进入一个框架STN 事事业业部部25/50 T

22、/CT/C时操作技巧时操作技巧现象：现象：C1C1、C10C10区大门镙钉易断区大门镙钉易断原因分析：原因分析：C1C1、C10C10区每次充气时区每次充气时N2N2气量可气量可能不够，与外界压力没有成正平衡能不够，与外界压力没有成正平衡对策：对策：C1C1、C10C10区大门四角部分别用个区大门四角部分别用个夹钳固定紧，或多上夹钳固定紧，或多上4 4个螺钉个螺钉STN 事事业业部部26/50 T/CT/C时操作技巧时操作技巧现象：现象：T/CT/C后框架自动运行时，第后框架自动运行时，第1 1个框个框架到架到C10C10区时，区时，7#7#小门不完全开，小门不完全开，造成框架堵在造成框架堵在

23、C10C10区区对策：对策：框架运行到框架运行到C5C5区时，挡住区时，挡住C10C10区区光眼，让光眼，让7#7#门提前开启（半开状门提前开启（半开状态），这样框架还没到态），这样框架还没到C10C10区，使区，使这种现象提前发生。待这种现象提前发生。待7#7#门打开后，门打开后，立即停止挡光眼，立即停止挡光眼，7#7#会自动关闭，会自动关闭，这样框架运行到这样框架运行到C10C10区时能正常运区时能正常运行行7#小门未完全开框架运行到C5区时，挡住C10区光眼，等7#门开才能停止挡光眼STN 事事业业部部27/50靶材初、末期生产物性靶材初、末期生产物性STN 事事业业部部28/50 靶材

24、初期生产注意事项靶材初期生产注意事项项项 目目注注 意意 事事 项项靶靶材材初期初期生生产产1、靶材初期如果第1个品种是1.1T玻璃 20产品，开加热器时间至少要到7个小时才能出良品2、靶材寿命至少要到 8 KW才能进行Dummy测试，否测测试出来的物性不准确3、靶材初期第1个品种生产时，第一个框架产品一般没问题，RGA数据有上升趋势电阻肯定有异常，半个小时以后整体电阻没有上升趋势，一般就稳定了STN 事事业业部部29/50 靶材末期生产注意事项靶材末期生产注意事项项项 目目注注 意意 事事 项项靶靶材材末期末期生生产产1、靶材末期生产高电阻产品，进行Dummy时最好不要只进行一次Dummy测

25、试，（如HIT 80）等物性数据没问题再通知挂良品，进行Dummy时主操应了解框架上下产品透过率与产品中间的差别，并由此来判断靶材是否击穿2、靶材末期生产高电阻产品，进行Dummy时主操应了解框架上下产品与中间产品透过率的差别，并由此来判断靶材是否击穿3、靶材末期生产高电阻产品进行Dummy时，可以不等耐热性但一定要测试耐热性（特殊机种除外）4、靶材末期生产高电阻产品电阻时，必须必须每30钟对框架上产品进行电阻测量STN 事事业业部部30/50 目前目前CS2CS2镀膜物性控制主要有以下个机种不好控镀膜物性控制主要有以下个机种不好控制生产，物性不稳定制生产，物性不稳定 1、S74NL1R-15

26、 VST产品，物性规格是：电阻：132 ITO膜厚度：1250100 透过率：84%91% 难控点难控点: :角部电阻角部电阻框架角部产品的角部(红线)电阻上限生产时的建议生产时的建议: :1 1、C5C5区温度最好控制在区温度最好控制在480480-500-500度，度，C5C5区上下加热板温区上下加热板温度度560-580560-580度度 特殊客户注意事项特殊客户注意事项STN 事事业业部部31/50 2、S16NL1R-80 T16NL1R-80 HIT产品，物性规格是：电阻：8012 ITO膜厚度：32070 透过率：87.2% 耐热性:2.7倍 难控点:电阻框架上下部位(红线)电阻

27、上限框架上下产品中间部(蓝线)电阻接下限“S S”产品生产时的建议产品生产时的建议: :1 1、C5C5区温度最好控制在区温度最好控制在430-440430-440度，度，C5C5区区7#7#、8 8# #加热板温度加热板温度590/290590/290度度2 2、ITOITO靶材开靶材开6#6#、7#7#没没带翅膀的保护框带翅膀的保护框效果效果好些好些3 3、O2O2气只能开气只能开0.5,0.5,如开如开1.01.0产品刚出角部会偏产品刚出角部会偏高高“T T”产品生产时的建议产品生产时的建议: :1 1、C5C5区温度最好控制在区温度最好控制在400-410400-410度，度，C5C5

28、区区7#7#、8 8# #加热板温度加热板温度480/280480/280度度2 2、ITOITO靶材开靶材开6#6#、7#7#没带翅膀保护框效果好些没带翅膀保护框效果好些3 3、O2O2气开气开1.01.0, ,如开如开0.50.5生产半个多小时左右中生产半个多小时左右中间电阻会越来越低间电阻会越来越低 特殊客户注意事项特殊客户注意事项STN 事事业业部部32/50 3、S16NL7R-60 ANS产品，物性规格是：电阻：458.5 ITO膜厚度：45070 透过率： 84%89% 耐热性:2.2倍 难控点难控点: :耐热性耐热性生产时的建议生产时的建议: :1 1、温度最好控制在、温度最好

29、控制在400-410400-410度度2 2、ITOITO靶材开后靶材开后3 3对对3 3、ITOITO靶材寿命控制在靶材寿命控制在200KWH200KWH以内生产比较好以内生产比较好 特殊客户注意事项特殊客户注意事项STN 事事业业部部33/50 镀膜应了解框架不同点的物性镀膜应了解框架不同点的物性例如弯曲度：框架上的玻璃弯曲度是由下向上，数值越来越大建议：建议：整理出多机种数据来说明整理出多机种数据来说明上大上大下小下小STN 事事业业部部34/50 镀膜应了解镀膜应了解FQAFQA设备性能设备性能右边炉子比左边炉子耐热右边炉子比左边炉子耐热性差性差产品放在上层耐热性比下产品放在上层耐热性

30、比下层耐热性差层耐热性差产品两侧放玻璃保护，耐产品两侧放玻璃保护，耐热性数据稳定热性数据稳定产品放在炉子中间耐热性产品放在炉子中间耐热性差差两侧和顶部产品耐热性比中间耐热性差STN 事事业业部部35/50 镀膜应了解镀膜应了解FQAFQA设备性能设备性能产品放在一块砖上的耐热性产品放在一块砖上的耐热性比放在两块砖上的差比放在两块砖上的差简单道理简单道理：加热一升水需要5分钟时间， 加热2升水需要的时间就是10分钟， 所以放一枚玻璃进去在300度稳定和放10枚玻璃进去所需要的时间是不一样的耐热性耐热性差差STN 事事业业部部36/50产品加入产品加入O2后为什么电阻会升高后为什么电阻会升高 加入

31、加入O2后，后，ITO薄膜溅射的过程中，会产生大量的氧负离子,氧负离子在电场的作用会轰击到所沉积的ITO薄膜表面，使ITO薄膜的结晶结构和晶体状态造成结构缺陷。溅射的电压越大，氧负离子轰击膜层表面的能量也越大，那么造成缺陷的几率就越大，产生晶体结构也越严重，从而导致了ITO薄膜沉积厚度下降，电阻升高 镀膜应了解知识镀膜应了解知识STN 事事业业部部37/50方块电阻测量仪方块电阻测量仪 在长和宽相等的样品在长和宽相等的样品上测量的玻璃镀膜电上测量的玻璃镀膜电阻。阻。方块电阻的大小方块电阻的大小与样品尺寸无关，与样品尺寸无关，即即任意大小正方形的玻任意大小正方形的玻璃电阻都是一样的，璃电阻都是一

32、样的，不管边长是不管边长是1米还是米还是0.1米，它们的电阻都是米，它们的电阻都是一样一样 镀膜应了解知识镀膜应了解知识结论 在耐热性规格不稳定和难控制的时候， 测试耐热性要求QA严格按玻璃100*50mm 进行切割(1：2的比例)STN 事事业业部部38/50PinnaclePinnacle：使使ITOITO靶材形成等离子体的靶材形成等离子体的功率生成功率生成装置。装置。可生成可生成0-120-12的功率的功率 镀膜应了解设备具体功能镀膜应了解设备具体功能STN 事事业业部部39/50Sparc-leVSparc-leV：对在对在PinnaclePinnacle里生成传达到靶材之里生成传达到

33、靶材之前的功率，起着前的功率，起着滤波及控制滤波及控制的作用，可用频率为的作用，可用频率为20-10020-100 镀膜应了解设备具体功能镀膜应了解设备具体功能STN 事事业业部部40/50设备邀请事项设备邀请事项STN 事事业业部部41/50 邀请事项邀请事项- -加热板变形加热板变形现象：现象：A8A8靶材旁的加热板变形严重，靶材旁的加热板变形严重，每次每次T/CT/C关关A8A8靶材时，靶材时，ARAR管会管会碰到变形的加热板，造成靶材碰到变形的加热板，造成靶材安装困难，导致漏气安装困难，导致漏气加热板变加热板变形严重形严重对策对策: : T/CT/C时，请维修彻底解时，请维修彻底解决决STN 事事业业部部42