光电制程、半导体制程设备供应链-与-技术研发地图

1、1光電製程、半導體製程光電製程、半導體製程設備供應鏈設備供應鏈 與與 技術研發地圖技術研發地圖2一、光電製程一、光電製程 : 1.TFT-Array段段(1)基板受入前洗淨線PEP1 Dense Cleaner廣運洗淨設備、成膜前洗線Pre-Depo Cleaner帆宣亞智勤友濺鍍機零件防著板Sputter parts漢泰世禾技鼎Photo展研AI蝕刻機、鋁蝕刻線Al Etcher帆宣亞智Total Pitch旭東CD Overlay量測機CD Overlay /CDOL Measurement晶彩去光阻機、剝離線Stripper帆宣勤友乾式蝕刻機Dry Etcher帆宣帆宣(擬開發)資騰列陣

2、測試Array TesteParticle Counter旭東勤友技鼎回火機Anneal Oven帆宣志聖能麒資騰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口31.TFT-Array段段(2)CVD雷射修補機Laser Repair均豪、沛鑫晶彩、大銀旭東、揚朋雷射CVD修補機Laser CVD沛鑫傳輸機/取片/排片/排序機Changer / Exchanger七憶、帆宣均豪、盟立旭東反射率量測機Reflectometer晶彩EllipsometerSurface Profiler面板阻抗量測機Sheet Resist /Sheet Resistance晶彩TEG檢測機Vision Inspecti

3、on旭東大銀揚朋政美巨量檢測機 /巨觀檢查機Macro / Micro均豪、高僑大銀、宏瀨廣運、資騰光學檢測機 / 視覺檢測/ 自動檢查機AOI晶彩、由田大銀、資騰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口41.TFT-Array段段(3)-周邊設備或其他周邊設備或其他BC/EAP羽冠堆疊式解包設備Dense Unpack陽程巨觀自動光學檢測系統Digital MacroAOI System由田MES羽冠(擬開發)顯影設備Developer亞智(擬開發)常壓電漿清潔設備AP Plasma Cleaner馗鼎輸送帶Conveyor帆宣良率管理系統SUNS System晶彩拍照機Review晶彩自動傳

4、送系統Automatic Transfer System盟立真空chamber銲接Welding漢泰(擬開發)濺鍍機零件, 乾蝕刻機零件,化學層積零件表面處理Parts cleaning surface treatment漢泰紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口離子雲植入機Ion ShowerDoping System帆宣51.TFT-Array段段(4)-零組件供應零組件供應滾珠螺桿Ball Screw上銀大銀防著板,銅背板Mask, Backing Plate(Copper)千附鋁背板Backing Plate(for CVD)千附加熱器Susceptor千附電極板及網板Electrod

5、e & Grid千附線性馬達Linear Motor大銀線性滑軌Linear Guideway大銀擴散板Diffuser千附EUV 172光源EUV Excimer Lamp資騰Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor宙揚紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口62.TFT-Cell-FEOL段段(1)PI前洗淨設備Pre-PI Cleaner亞智億尚勤友PI轉寫機PI預烤爐 / PI烤爐Pi Pre-Cure /Pi Post Bake志聖能麒PI轉寫後檢查機PI Inspection System宏瀨PI烤爐PI MAIN CU

6、RE OVEN能麒液晶脫泡機L.C.緯瑩億尚框膠脫泡機Rubbing MachineRubbing後人工檢查機Rubbing Inspection陽程迅得(擬開發)Rubbing後洗淨設備亞智億尚勤友C/F Anneal Oven志聖能麒框膠塗佈機Seal Dispenser帆宣帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口72.TFT-Cell-FEOL段段(2)液晶注入機 /液晶滴入機Liquid CrystalDispenser帆宣、帆宣(擬開發)晶彩(擬開發)Spacer ScatterBall spacer光學檢測機Spacer CounterInspector / Cell

7、Spacer AOI晶彩Spacer PrebakeOven能麒Common PasteDispenser框膠硬烤爐Seal Main Cure oven志聖能麒霖豐大基板貼合後人工檢查機LC Inspection陽程真空貼合機Vacuum PanelAligner帆宣(擬開發)UV Cure志聖基板貼合精度檢查機旭東帆宣(擬開發)Photo Spacer高度檢查機Photo Spacer Level Mete沛鑫、旭東、勤友帆宣、陽程(擬開發)框膠塗佈機Seal Dispenser帆宣帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口82.TFT-Cell-FEOL段段(3)薄膜光阻塗佈曝

8、光顯影機Developer亞智廣運帆宣紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口92.TFT-Cell-FEOL段段(4)-周邊設備或其他周邊設備或其他IRCP志聖HPCP志聖異物計算機Cell Particle Counter晶彩Seal光學檢測機Cell Seal AOI晶彩PI光學檢測機Cell PI AOI晶彩切裂光學檢測機Cell Burr Check AOI晶彩自動傳送系統Automatic TransferSystem盟立三橋常壓電漿清潔設備AP Plasma Cleaner馗鼎紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口光罩檢測系統Photomask inspection帆宣BC/EAP

9、羽冠MES羽冠(擬開發)ARC Oven志聖102.TFT-Cell-FEOL段段(5)-周邊設備或其他周邊設備或其他Spacer乾式洗淨設備元捷整廠無塵室風扇過濾裝置FFU UNIT元捷P.P. Box乾式洗淨設備元捷(擬開發)自動複檢儀器Auto Review Machine由田框膠自動光學檢測系統Seal AOI System G5, G6, G7.5由田配向膜自動光學檢測系統PI AOI System G5, G6, G7.5由田雷射修補機Open /Short Laser Repair揚朋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口玻璃再生機(PI去除)PI rework帆宣PI灰化機Dr

10、y Asher資騰Cell段轉寫機搭配之恆溫機元捷Cell段磨刷機搭配之加溼器元捷PP- Box包裝機PP- Box Packer三橋112.TFT-Cell-FEOL段段(6)-零組件供應零組件供應線性馬達Linear Motor大銀線性滑軌Linear Guideway大銀紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口線性滑軌Linear Guideway上銀大銀非接觸ITO模組值測量器Non-contact Resistivity measurement資騰偏向膜零件表面處理Surface treatment漢泰Brushless Motor & Servo Motor & G.

11、 Motor宙揚123.TFT-Cell-BEOL段段(1)玻璃切割機Glass Cutting均豪、緯瑩漢泰、億尚資騰玻璃裂片檢測機(切割後檢查機)Burr Checker (AOI)均豪沛鑫旭東磨邊倒角機Grinding均豪玻璃表面清潔機Tape Cleaner均豪陽程濕製程洗淨機Wet Cleaner亞智億尚廣運霖豐點燈檢查機CT Prober沛鑫旭東晉速偏光板貼附機P/A(Polarizer attacher)七憶陽程帆宣、帆宣(擬開發)包裝機Dense Packer均豪、迅得旭東、陽程基丞、帆宣紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口133.TFT-Cell-BEOL段段(2)-周邊設

12、備或其他、零組件周邊設備或其他、零組件PP-Box包裝/解包裝機PP-Box Packer /Unpacker迅得Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor宙揚面板薄形化研磨設備陽程(擬開發)面板自動檢測光學系統Automated Panel Inspection System由田線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口144.TFT-Module/LCM段段-小尺寸小尺寸(1)裝/拆自動化系統,收/放板機Loader/Unloade

13、r帆宣、盟立、高僑緯瑩、旭東、晉速億尚、廣運、勤友磨邊倒角機/磨邊機Grinding均豪緯瑩Cullet Remover旭東清潔機/測洗設備Cleaner均豪、亞智旭東、駐龍廣運Ionizer Blow偏光板貼附機P/A, Polarizer Attach M/C七憶易發對位貼合機 /對位壓著機COG Bonder均豪、緯瑩易發、旭東Brush亞智旭東乾蝕刻清潔機Plasma Cleaner均豪志聖馗鼎旭東自動檢測 / 視覺檢測AOI均豪旭東晉速分片機/點膠機Dispenser盟立緯瑩易發旭東AMT紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口154.TFT-Module/LCM段段-小尺寸小尺寸(2

14、)老化測試設備/面板熟化設備系統Aging Oven志聖、盟立高僑、晉速帆宣、廣運紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口MES/BC/EAP羽冠Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor宙揚雷射修補機Module Laser Repair揚朋面板測試Panel test旺矽線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀 周邊設備或其他周邊設備或其他零組件供應零組件供應165.TFT-Module/LCM段段-中尺寸中尺寸(1)磨邊倒角機Grinding均豪沛鑫Cullet Re

15、mover清潔機Cleaner均豪、馗鼎旭東、駐龍廣運偏光板貼附機P/A, Polarizer Attach M/C七憶易發裝/拆自動化系統Loader/Unloader盟立、高僑旭東、晉速億尚、廣運分片機Dispenser盟立易發旭東PCB對位壓著機PCB Bonder易發億尚EPCCOG對位壓合機 /貼合機COG Bonder均豪、沛鑫盟立、易發億尚FPC對位壓合機 /貼合機FPC Bonder七憶、沛鑫盟立、易發億尚PCB Test高僑旭東晉速老化測試設備/面板熟化Aging Oven志聖、盟立高僑、晉速、廣運帆宣(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口175.TFT-Modul

16、e/LCM段段-中尺寸中尺寸(2)AFTACF貼附ACF Attachment七億Brushless Motor & Servo Motor & G. Motor宙揚MES/BC/EAP羽冠自動傳送系統Automatic Transfer System盟立三橋雷射修補機Module Laser Repair揚朋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他周邊設備或其他線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀零組件供應零組件供應186.TFT-Module/LCM段段-大尺寸大尺寸(1)磨邊倒角機Gr

17、inding均豪Cullet Remover清潔機Cleaner均豪亞智駐龍廣運偏光板貼附機P/A, Polarizer Attach M/C易發七憶(擬開發)裝/拆自動化系統Loader/Unloader盟立、高僑旭東、億尚廣運分片機Dispenser盟立易發旭東萬潤PCB對位壓著機PCB Bonder易發EPC重修機OLB易發億尚自動檢測Lead AOI均豪旭東PCB Test旭東晉速老化測試設備/面板熟化Aging Oven志聖、盟立、高僑晉速、陽程、廣運帆宣、迅得(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口196.TFT-Module/LCM段段-大尺寸大尺寸(2)AFT自動傳送系

18、統Automatic Transfer System盟立面板自動檢測光學系統Automated PanelInspection System由田擴散板元捷面板與背光模組自動組裝設備Assembly Line陽程背光模組自動組裝設備陽程(擬開發)紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他周邊設備或其他精密線性模組Single Axis Robot上銀MES/BC/EAP羽冠雷射修補機Module Laser Repair揚朋206.TFT-Module/LCM段段-大尺寸大尺寸(3)-零組件零組件Brushless Motor & Servo Motor & G. M

19、otor宙揚紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀216.Color Filter(1)PEP1 Dense CleanerPre-Depo CleanerSputterPhoto Al EtcherTotal PitchCD Overlay量測機CD Overlay / CF CDOL Measurement晶彩StripperDry EtcherCF TesterParticle CounterAnneal Oven紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口226.Color Filt

20、er(2)CVD雷射修補機Laser Repair / Laser-Ink Repair晶彩Laser CVDChanger / Exchanger 穿透率量測機OD measurement晶彩EllipsometerSurface Profiler色度量測機Color measurement晶彩Thickness measurementVision InspectionMacro / Micro光學檢測機AOI晶彩紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口236.Color Filter(3)複金屬燈箱CF Metal Halide Lamp House晶彩拍照機CF Review晶彩異物檢知機

21、CF Tokki AOI晶彩良率管理系統CF SUNS System晶彩彩色濾光片檢查,修補Color filter review & repair帆宣彩色濾光片修補機Color repair帆宣沛鑫BC/EAP 羽冠紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口周邊設備或其他周邊設備或其他247.傳輸設備傳輸設備(1)玻璃基板倉儲系統Stocker台朔、帆宣均豪、沛鑫盟立、高僑、廣運帆宣(擬開發)軌道導引搬運車RGV台朔、帆宣志聖、沛鑫盟立、高僑旭東、立穩、廣運人工導引搬運車MGV(Glass or Cassette)七憶、志聖、沛鑫盟立、高僑、旭東立穩、廣運面板搬運裝置Loader / U

22、nloader士林、帆宣、均豪志聖、沛鑫、盟立高僑、迅得、旭東立穩、廣運、帆宣機器手臂Robot均豪、盟立高僑、廣運帆宣(擬開發)自動(輸送帶)傳輸系統CT C/V System七憶、均豪、志聖沛鑫、盟立、高僑迅得、旭東、廣運三橋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口257.傳輸設備傳輸設備(2)-周邊設備或其他、零組件周邊設備或其他、零組件Color Filer Glass Conveyor System高僑Panel輸送系統Panel C/V System迅得自動輸送系統設備C/V System陽程基板卡匣Cassette沛鑫高僑紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口Brushless M

23、otor & Servo Motor & G. Motor宙揚線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀周邊設備或其他周邊設備或其他 零組件供應零組件供應268.其他光電製程設備其他光電製程設備(1)Clean OHT台朔Clean AGV台朔Clean AMHS台朔雷射顯微鏡Laser microscope 帆宣OLED, organic材料蒸鍍機OLED, organic evaporation帆宣光罩雷射修補機Photo mask Laser Repair揚朋二次元光學量測設備2DM Optical Me

24、asurement揚朋OLED面板篩檢與老化設備OLED organic &final testing帆宣冷陰極管沾錫機基丞冷陰極管老化測試機基丞平行曝光機用電源設備福峰PV自動化系統PV Automation System迅得紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口278.其他光電製程設備其他光電製程設備(2)美國Cognex機器視覺系統Cognex Machine Vision汎宇美國Parker自動化控制產品Parker Motion Control汎宇日本Yokogawa直接驅動馬達Yokogawa D.D. Motor汎宇Tape Repair旭東Brushless Motor

25、 & Servo Motor & G. Motor宙揚SEAL檢查機Seal Inspection System宏瀨PF檢查機PF Inspection System宏瀨微粒子計數器Particle counter耀群環境監控系統Facility Monitoring System耀群產品表面監控系統Surface Particle Counter耀群膜厚色度儀宏瀨紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口LCM後段自動包裝/堆疊LCM Auto Packing& Stocker System三橋288.其他光電製程設備其他光電製程設備(3)BEOL後段無塵昇降設備Clea

26、n Lifter三橋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口29二、半導體製程二、半導體製程 : 1.晶圓製造晶圓製造-薄膜製程薄膜製程(1)化學氣相沉積CVD漢泰物理氣相沉積PVD漢泰電化學沉積(銅製程)Ag/Cn/Ni Plating漢泰嘉智化學機械研磨機CMP equipment帆宣資騰二氧化矽塗佈機SOG coater展研紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口周邊設備或其他周邊設備或其他301.晶圓製造晶圓製造-薄膜製程薄膜製程(2)-零組件零組件真空腔體Chamber千附(擬開發)擴散板Shower Head千附(擬開發)PVA Brush帆宣線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺

27、桿Ball Screw大銀紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口線性滑軌Linear Guideway大銀氣體質量控制器Mss Flow Controller資騰31光罩清洗機弘赫電2.晶圓製造晶圓製造-微影製程微影製程光阻塗佈 / 烘烤顯影Developer弘赫電嘉智廣運曝光光罩檢驗設備Mask Inspection帆宣黃光用紫外光源UV Lamp資騰光阻硬化機UV Curing霖豐電荷消除機Charge Eraser霖豐週邊曝光機WEE霖豐紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口零組件供應零組件供應線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Gu

28、ideway大銀周邊設備日或其他周邊設備日或其他323.晶圓製造晶圓製造-蝕刻製程蝕刻製程乾式蝕刻濕式蝕刻Etch Bench弘赫電嘉智嵩展乾式光阻剝除濕式光阻剝除Stripper & Cleaner弘赫電嘉智帆宣紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口電極板Electrode千附(擬開發)線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀清洗Parts Clean嘉智弘赫電 零組件供應零組件供應334.晶圓製造晶圓製造-擴散製程擴散製程離子佈植快速升溫處理氧化 / 擴散爐 /擴散退火爐Furnance / High temp

29、Furnuance帆宣資騰濕式批次處理Wet Bench嘉智弘赫電濕式單晶圓處理Spin Cleaner嘉智弘赫電紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀零組件供應零組件供應345.晶圓製造晶圓製造-製程檢測製程檢測(1)關鍵尺寸量測Optical Measurement揚朋ADI量測旭東薄膜量測Thin-Film Measurement帆宣缺陷量測Particle Inspection 旭東帆宣EAP羽冠環境監控系統Facility Monitoring System耀群產品表面監控系

30、統Surface Particle Counter耀群晶片高度檢測機CCM Lans Holder均豪針測機Probing Equipment旺矽微粒子計數器Particle counter耀群2D/3D量測設備2D/3D measuring system耀群紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 周邊設備及其他周邊設備及其他355.晶圓製造晶圓製造-製程檢測製程檢測(2)-零組件零組件紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀366.晶圓製造晶圓製造-自動化設備及其他自動化設備及其他晶圓

31、自動傳送模組EFEM沛鑫Stock高僑自動化設備Factory AutomationSystem旭東廣運FOUP垂直搬送機FOUP Clean Lifter三橋紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口精密線性軸承Single Axis Robot上銀零組件供應零組件供應自動化搬送設備Automatic TransferSystem旭東廣運三橋377.IC封裝封裝-傳統封裝傳統封裝(1)晶圓探針Probe pin & socket技鼎資騰測試取放Sawing & placement技鼎晶片/封裝切割機Dicing七憶技鼎資騰黏晶機Die Bonder均豪覆晶黏晶機旭東烘烤 / 迴銲

32、紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口銲線機Wire Bonder均豪技鼎自動封膠機Auto Molding /Mold press均豪、基丞萬潤、帆宣剪切成型機Trim / Form /Singulation均豪、基丞技鼎、帆宣雷射刻印機Laser Mark /Laser marking均豪基丞技鼎封裝 / 基板檢查 /視覺檢查Package / Substrate Inspection / Vision inspection均豪、基丞技鼎、帆宣植球機 / BGA植球機Ball Mount /Ball Mounter萬潤帆宣周邊設備及其他周邊設備及其他387.IC封裝封裝-傳統封裝傳統封裝(

33、2)-周邊設備及其他周邊設備及其他晶片薄化研磨Lapping/Polishing帆宣MES/EAP羽冠晶粒挑選機Chip Sorter均豪植球/點膠機Bumping均豪自動倉儲ASRS盟立送收料機Loader / unloader萬潤紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口電漿清洗設備Plasma Cleaner馗鼎2D / 3D量測設備2D / 3Dmeasuring system政美零組件Parts帆宣線性馬達Linear Motor大銀滾珠螺桿Ball Screw大銀線性滑軌Linear Guideway大銀零組件供應零組件供應398.IC封裝封裝-Bumping(1)UBM濺鍍光阻塗佈C

34、oater帆宣資騰曝光顯影 / 清洗 / 去光阻Developer /Clean/Stripper嵩展弘赫電帆宣資騰凸版電鍍Plating帆宣Bumping檢測Bumping Inspection帆宣MES/EAP羽冠UBM去除植球/點膠Ball Mount /Flux Printing技鼎帆宣晶圓傳送系統Wafer handling system展研視覺檢查Vision inspection基丞紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 周邊設備或其他周邊設備或其他408.IC封裝封裝-Bumping(2)-零組件及其他零組件及其他特殊專用機Special Purpose Machine上銀紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口零組件P