卢瑟辐背散射谱：RBS_第1页
卢瑟辐背散射谱：RBS_第2页
卢瑟辐背散射谱：RBS_第3页
卢瑟辐背散射谱：RBS_第4页
卢瑟辐背散射谱：RBS_第5页
已阅读5页，还剩8页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、一、 RBS 原理二、 RBS 设备三、RBS谱的分析l具有较高能量而质量较小的离子在与物质碰撞的过程中会发生散射的现象，这一相应的过程被称为卢瑟福散射。l利用这一物理现象作为探测、分析薄膜材料化学成分和分布的方法，称为卢瑟福背散射技术l用高能He离子(2-5MeV)去轰击固体样品，He离子与固体原子发生散射，研究背散射He离子的强度随能量(Channel)的分布l当一束被加速到E0=2MeV的He+离子射向薄膜表面，由于离子能量高而质量小，因而它将具有一定的对物质的穿透能力，并且不会造成物质本身的溅射。在穿透物质的过程中，当离子的运动轨迹接近物质的原子核时，二者之间将发生经典的弹性碰撞过程：

2、l弹性碰撞满足能量守衡和动量守衡 设质量为M1入射离子碰撞前的速度V，能量E0，碰撞后的速度和能量分别为V1和E1，质量为M2的靶原子碰撞前静止，碰撞后速度和能量为V2和E2，散射角，反冲角如图所示2211212212201222112211122221121cos)sinsinsin0coscos212121MMMMMEEVVMVMVMVMVMVMVMVM（，可以得到粒子能量比，然后再消去首先消去结果表明：散射后粒子的能量仅仅有粒子和靶原子的质量及散射角决定。若M1，E0和固定，则可以通过测量被散射回来的离子的能量E，求得参与散射的表面原子的质量M2。 探测器的探测角=170，这一实验设置正是背散射名字得由来。 上面考虑得时发生在薄膜表面时得情况，对于发生在薄膜内部的卢瑟福散射来讲，上述关系仍然成立。但是由于入射离子在通过物质时发生了连续的能量损耗，因而弹性碰撞发生时的能量已有所降低，同时经过散射的离子要再次通过物质体内，又要损失一部分能量， 因此，薄膜中某一元素引起的卢瑟福背散射能量谱对应于一定的能量区间。核心部分是一台高能加速器。由离子源产生的各种离子通过加速、聚焦、质量筛选后入射到样品上。散射回来的离子经Si探测器转换

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论