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文档简介
1、【2021年09月】半导体装备制造行业,为国家重点支持和鼓励开展的行业,符合 国家十二五规划和2021年中长期开展纲要.半导体装备制造业是典型的资本密集型、技术密集型产业,而且是 多学科、多种工艺集成的具体表现,是一项集半导体材料学、流体力 学、化学、精密光学、精密机械学、真空、电子电路、自动化限制和 计算机等多学科于一体的大系统工程,需要多学科人员的协同攻关.半导体行业的上升和衰退与国内生产总值GDP的上升和衰退密切相 关.一个国家的半导体装备制造业水平,决定这个国家的半导体行业水 平,继而决定这个国家的综合竞争力和国际影响力.从半导体产业历 史来看,“一代设备,一代工艺,一代器件.这说明它
2、们之间是相辅 相成的、互相促进的,尤其是设备与工艺是互动的.由于更新换代非常 快,所以半导体装备制造业是一个高投资、高风险的行业,同时也是创新 最快的一个领域.半导体装备制造是半导体产业开展的根底,位于半导体产业价值 链的顶端.半导体产业链图如下:半导体产业是国家核心战略产业,而半导体装备制造是半导体产 业的核心.从全球范围看,美国、日本、荷兰等国家是世界半导体装备制造 的三大强国,全球知名的半导体设备制造商主要集中在上述国家.2021 年世界前十六大半导体设备生产商中,有美国企业 7家,日本企业6 家,荷兰企业2家,德国企业1家,其中荷兰阿斯麦ASML以78.8 亿美元的销售额位居全球第一,
3、美国应用材料公司以74.4亿美元的销 售额位居第二,日本东京电子销售额为62.0亿美元,位列第三;从企 业主要的半导体设备产品看,美国主要限制等离子刻蚀设备、离子注 入机、薄膜沉积设备、掩膜板制造设备、检测设备、测试设备、外表 处理设备等,日本那么主要限制光刻机、刻蚀设备、单晶圆沉积设备、 晶圆清洗设备、涂胶机/显影机、退火设备、检测设备、测试设备、氧 化设备等,而荷兰那么在高端光刻机、外延反响器、垂直扩散炉等领域处于领导地位.数据来源 VLSI research inc 一、半导体装备制造行业概况1、半导体装备制造行业开展历史及过程半导体装备制造行业是一个创新性特别强的行业,在半导体行业 诞生的1955-1965 年,几乎是美国半导体装备制造公
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