单晶炉故障维修

1、有问必答！单晶炉故障维修开个贴！单晶炉故障，有问必答！希望各位多多支持！问题大家讨论！; 大兵 ; 大兵 ; 大兵 ; 大兵Dante 2009-7-18 21:37支持楼主！shenmou4672009-7-19 14:28对于经运通的路子晶转和过转最多是8 比 5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏0直线导轨 2009-7-19 18:31quote原帖由shenmou467于2009-7-19 14:28 发表 对于经运通的路子晶转和过转最多是8 比 5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85 炉子）。/quote第一个问题再说的清楚点。晶棒晃动：

2、这种现象俗称" 棒摆 "棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶 / 生长 / 收尾棒摆的原因有很多， 不是单单一个方面引起的。曾经美国 * 公司花巨资专门研究这个为题。 也没有得出明确结论。 但主要方面有以下几点。 :1. 软轴（钢丝绳）2. 提拉头，减速机构 / 旋转机构。3. 热场。4. 氩气（流量/ 气流在炉的流动）5. 炉子机构6. 热场设计 / 分布7. 真空系统（泵/ 管道）8. 冷却系统（水流/ 水温）9. 硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子。10. 重锤（形状/ 重量 /精度液面抖动原因：1. 下轴机械部分：有死点 / 杂物 /欠缺润滑 / 轴弯了。2. 下轴

3、传动部分，减速器故障。如蜗轮断齿。3. 下轴和炉体之间有杂物。（已发生在漏硅后 , 没有清理干净）4. 检查电机驱动部分。 伺服电机不会出现这种现象。 直流电机经常发生。btsunny 2009-7-19 19:41学习 ; 握手直线导轨 2009-7-19 20:22 捧场！tzlijf 2009-7-19 21:50华盛天龙的 85 炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑 , 不知是何原因，attach64525/attachattach64526/attachbtsunny 2009-7-19 22:10是不是刚刚清完炉啊?tzlijf 2009-7-19 22:22不是的，连续有二炉都这样

4、，直线导轨 2009-7-20 11:09size=7 检查提拉头。 /sizesize=7 钢丝绳卷筒或轴承润滑油滴落！ /size; 大兵 ; 大兵 ; 大兵 ; 大兵SA7-20 12:28晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？ PID怎么调整?人口吧 2009-7-20 15:50有台汉虹炉子连续5炉到了 6 0 0 - 8 0 0之间的长度时（其中一炉是4 9 0 ）,直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样， 检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？直线导轨 2009-7

5、-20 18:14quote原帖由SAD1375733? 2009-7-20 12:28 发表 晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID 的问题？ PID 怎么调整？ /quote看是什莫炉子了。国产炉： PID 调整厂家会给你 参数的。直线导轨 2009-7-20 18:18quote 原帖由 人口吧 于 2009-7-20 15:50 发表 有台汉虹炉子连续5炉到了 6 0 0 - 8 0 0之间的长度时（其中一炉是4 9 0 ）,直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样， 检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？

6、 . /quotesize=5 检查一下提拉头皮带紧力如何。 负载太大紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。 /sizesize=5另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。/sizesize=5检查一下再说吧！/sizewangyc82072009-7-21 09:33搞不懂，顶！人才SAD1375732009-7-21 14:31创联CL90和理工大80的PID是多少？直线导轨 2009-7-21 15:03quote原帖由 SAD1375733T 2009-7-21 14:31 发表 创联 CL90和理工大80的PID是多少？ /quote不好意思这是人家的部参数。我也不

7、太清楚。如果你们购买的是他们的炉子，你可以向他要呀！或者让他们派技术人员来帮你没解决。我不是生产炉子的。！恒新自控/创联科技总经理：丁积军 ：你可以联系她！ygshebeigongsi 2009-7-21 15:41我帮你顶一下 ; 强quote原帖由XUCKf 2009-7-22 08:35发表请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？ /quote只要你冷却水系统设计的合理，你很容易根据每台炉子的 压力表调整但台炉子的压力。系统设计好后，因为每台炉子的部水阻略有不同， 所以会造成单台炉子之间以一定的压力不同， 这是正常的。你可以根据每台炉子的压力表调整路子的进出水阀门，来调整压力。; 大

8、兵 ; 大兵 ; 大兵quote 原帖由 直线导轨 于 2009-7-20 18:18 发表 检查一下提拉头皮带紧力如何。负载太大紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。检查一下再说吧！ . /quote但是过了一段后，直径控制好后，拉的很好，我们的棒子现在基本在18 0 0 - 1 9 0 0左右， 一般出现直径变大这种情况是在6 0 0 - 8 00之间，我们的炉子的籽晶低速不是皮带带动的，电机只是温热.直线导轨 2009-7-22 11:58quote 原帖由 人口吧 于 2009-7-22 10:48 发表 但是过了一段后，直径控

9、制好后，拉的很好，我们的棒子现在基本在1 8 0 0 - 1 9 0 0左右，一般出现直径变大这种情况是在6 0 0 - 8 0 0之间，我们的炉子的籽晶低速不是皮带带动的，电机只是温热 . /quote没有皮带，检查电磁离合器。另外还伴有什莫现象？quote原帖由shenmou467于2009-7-19 14:28发表 对于经运通的路子晶转和过转最多是8 比 5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85 炉子）。/quote对于这个问题楼主已经说了很多原因我不再重复， 不过最重要的是要找到主要原因。京运通炉子经过机械调整晶转可以到 13 转（再向上本人也不可能100%做到）

10、需要调整炉子整体水平以及炉体各部分配合， 炉体各配合面一定是金属 面支撑不能是密封圈支撑，由炉底一级一级向上调整直到提拉头（必须 保证提拉头水平抽空后不跑）。下一步调整提拉头本身，钢丝绳阻尼器是否磨损，钢丝绳是否垂直于阻尼孔，调整对中（判定下轴垂直后调整对中）。当然以上这些调整有部分是相当困难的（也是不可能调整到理 想状态的）。所以我只能做到晶转 13 转（也因炉子情况而定本身资质好的炉子经过调整可以稳定上到 16 转）。埚转，下轴一定要垂直水平面。石墨件问题我就不多说了，石墨件精度好的话埚转到 10 转没有问题（ 10 转应该足够用了）。还要注意导流筒据页面不可过近（氩气会吹得单晶晃）当然引

11、起晃得原因很多（楼主以说得比较全面了） 以后我可以针对性解答。液面抖动楼主忘记说外界震动了， 外界震动很多很难排查。 对与共振更是难上加难。 不过可以根据震动的细微特征来判断出来针对性解决，希望能和大家一起探讨这些问题。piy753 2009-7-22 15:42quote 原帖由 tzlijf 于 2009-7-19 21:50 发表 华盛天龙的 85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑 , 不知是何原因， 64525 64526/quote最常见的是阻尼器的粉末造成的， 经常出现在新路子或更换钢丝绳或阻尼器后。piy753 2009-7-22 15:52quote原帖由SAD1375733?

12、 2009-7-20 12:28 发表 晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID 的问题？ PID 怎么调整？ /quote这是典型的工艺技术问题（首先要确定显示的拉速与实际是否相符）头部波动大很正常，因为头部拉速相对要高（ 6 寸单晶在1.5mm/min）反而温补要下降。 过早的投入温度自控就造成控制不稳。建议拉速自控温效手控 等径80mW后再投温度自控。piy753 2009-7-22 16:00quote 原帖由 人口吧 于 2009-7-20 15:50 发表 有台汉虹炉子连续5炉到了 6 0 0 - 8 0 0之间的长度时（其中一炉是4 9 0 ）,直径突然变大，前面等径时温度、

13、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样， 检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ . /quote直径突然变大控制问题占得概率要大， 至于前兆肯定是有的只是你没有看到。至于为什么会突然变大我不在现场（细节现象我没有看到）很难能给你明确的答复。 我建议让你们的设备工程师和工艺工程师 （最好是一个人，像我一样; 大笑 ）一起分析一下。piy753 2009-7-22 16:05quote原帖由XUCKf 2009-7-22 08:35 发表请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？ /quote供水压力相同？我建议你换一种问法！请教，怎样保证每一台单

14、晶炉的供水与出水压力差都相同？让设计长房的去做吧！如果设计好了但达不到要求， 就一台一台的调阀门吧 （前提你的水循环系统总流量和主管道压力要够）！新大 2009-7-22 16:11我们是京运通炉子等径250 左右液面晃动怎样处理piy753 2009-7-22 16:31quote 原帖由 新大 于 2009-7-22 16:11 发表 我们是京运通炉子等径 250 左右液面晃动怎样处理/quote这个问题要从细节去分析，我问几个条件问题，你告诉我答案，我判断一下原因给你提供参考方案。1 炉子用了多长时间（什么时候出厂的）？2 停过水吗？3 炉子下面泡过水吗（尤其是丝杠和导轨）？4 多大的系

15、统？几寸单晶？5 是一直震动吗？还是250mms右震动过后就不震了 ？piy753 2009-7-22 16:326 如果拉第二段也是同样振吗？直线导轨 2009-7-22 16:55piy753 好样的！piy753 你好！你的回答很好，前来捧场！希望我们能给大家一个较好的技术咨询平台！; 握手 ; 握手 ; 握手 ; 握手 ; 握手 ; 握手人口吧 2009-7-23 08:51quote 原帖由 piy753 于 2009-7-22 16:00 发表 直径突然变大控制问题占得概率要大， 至于前兆肯定是有的只是你没有看到。 至于为什么会突然变大我不在现场 （细节现象我没有看到） 很难能给你

16、明确的答复。我建议让你们的设备工程师和工艺工程师（最好是一个人，像我一样;大 . /quote首先这位朋友的回答，因为这样的情况不是偶然发生的，是每一炉都出现这样的情况，我在没变大之前也观察过几炉，所有情况都很稳定，没出现什么异常情况， 另外我们这边的炉子每一炉电脑上都有记录的，而且是每一秒记录一次对照了前面几炉的数据，都是一样的情况人口吧 2009-7-23 08:57液面抖动这个问题，我们这边也有，每次2 0 0左右，而且第二段也会抖动，每 一次抖都，棱线变宽，象树叶那样大，LZ的提出的几个问题我们这边以前也全试过的都没解决，另外我觉得水的共振也会引起液面抖动 ; 大 兵直线导轨 2009

17、-7-23 08:58请问LZ,电磁离合器该如何检查，呵呵 另外变大时晶体也会晃动piy753 2009-7-23 09:4还有一种可能就是在那个阶段这台路子的系统温度出现突变 （一般是热系统没有弄好造成）建议吧热系统从新包裹一下。注意：同样的热系统并不能说明他们在细节与微观上也相同， 即使热系统尺寸结构都一样也不会100%相同！像你说的这种情况可以从热系统工艺，拉晶工艺，设备控制技术，从组技术等方面都可以解决， 但是单纯从任何一个方面解决这种问题都有一定困难（甚至可以说很难）。要综合各方面技术来解决才是最有效快捷的！直线导轨 2009-7-23 09:09quote 原帖由 人口吧 于 20

18、09-7-23 08:57 发表 这个问题，我们这边也有，每次2 0 0左右，而且第二段也会抖动，每一次抖都，棱线变宽，象树叶那样大，LZ的提出的几个问题我们这边以前也全试过的都没解决，另外我觉得水的共振也会引起液面抖动 ; 大兵 . /quote说的对！循环水脉动也会对炉子有影响。另外：氩气流量，热场分布，真空泵类型（旋片泵/ 滑阀泵 / 水环泵）都会影响。piy753 2009-7-23 09:14quote 原帖由 人口吧 于 2009-7-23 08:57 发表 这个问题，我们这边也有，每次2 0 0左右，而且第二段也会抖动，每一次抖都，棱线变宽，象树叶那样大，LZ的提出的几个问题我们

19、这边以前也全试过的都没解决，另外我觉得水的共振也会引起液面抖动 ; 大兵 . /quote这种现象是典型的共振或下轴升降导轨磨损的典型特征，对于共振有几种方法：第一：除掉震源。第二：破坏共振品率。（上面提到的共振是提拉头引起的）对于下轴导轨磨损！自己想吧！（彻底解决只有更换，将就的方法有很多！）piy753 2009-7-23 09:16quote原帖由 人口吧 于2009-7-23 08:59 发表 请问LZ,电磁离合器该如何检查，呵呵另外变大时晶体也会晃动 /quote电磁离合器如何检查?老大不用问这种问题好不好！; 尴尬变大会晃动是必然的！（他使氩气流动改变了）直线导轨 2009-7-2

20、3 09:18quote原帖由 人口吧 于2009-7-23 08:59 发表 请问LZ,电磁离合器该如何检查，呵呵另外变大时晶体也会晃动 /quote听你说了这莫多，看来你们的问题不是单独的。本人很同意piy753 兄的意见 :" 像你说的这种情况可以从热系统工艺，拉晶工艺，设备控制技术， 从组技术等方面都可以解决， 但是单纯从任何一个方面解决这种问题都有一定困难（甚至可以说很难）。要综合各方面技术来解决才是最有效快捷的 "管工艺的根本不知道维护设备即使知道也也很少去做， 有多少工艺技术人员能真正领会其中的含义（你的所有技术是靠设备来完成的）。只知道调参数换热系统做一下统

21、计工作的人都可以成为技术人员！ 悲哀呀！管设备技术的大多数人员会认为和民工苦力差不多， 可实际呢？他可是一个系统能完成工作的底座和基础，又有多少人能意识到这点 （尤其是老板们） ？经常出现工艺技术的无能推到设备上面，可精通设备的人有几个精通单晶工艺的？ 悲哀呀！行政管理者有多少能起到生产组织协调作用的 （有效作用，无用功不能 算） ？单晶工艺和设备技术有争议时有几个人能解决的？扣钱罚款不是目的能解决问题才是真的！不等于罚款了问题就没有了！ 悲哀呀！操作工是一群被太阳能热产生的泡沫淹没的孩子！ 操作工现在都可以称得上是大爷了！ （没有大观念转变）。最终结果就是挖完的坑会成为自己的坟墓！悲哀呀！直

22、线导轨 2009-7-23 11:44强烈赞同！ piy753 兄从技术干到管理，是技术人员蜕变！因为你懂，你就的必须忍受 “众人皆醉我独醒 ”的困惑和无奈！chyc1221 2009-7-23 12:31都是高手！我啥也没看明白我追究知道真空泵哈哈piy753 2009-7-23 13:03我并不是什么高手！只不过现在滥竽充数的人太多了（太能忽悠了）！让我这个性格向的人没有立足之地了！不过悲惨的不是我而是那些拿钱出来的老板们（我感觉他们的头好大呀）！小海哥 2009-7-24 10:54大家都是高手，菜鸟问一个简单的问题：为什么取完棒子后钢丝绳（或者钼丝、或者钨丝）会自己转起来呢？piy75

23、3 2009-7-24 11:18单晶的重量拉长了螺旋的钢丝绳， 待释放后钢丝绳收缩 （收缩就要收紧钢丝绳）所以自己就转起来了！一定要让重锤慢慢转动避免向回转！咖啡的味道2009-7-24 12:55飞车请教各位师傅们，我们厂的炉子京运通的在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小。 电脑显示失控了退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了。 请问师傅们问题可能会出现在哪些地方？是不是这种现象叫做飞车呢 ？piy753 2009-7-24 13:33quote 原帖由 咖啡的味道于 2009-7-24 12:55 发表 请教各位师傅们，我们厂的炉子京运通的在等径自动时出现拉速过快晶升小

24、盒数值变大，棒直径变小。 电脑显示失控了退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了。 请问师傅们问题可能会出现在哪些地方？是不是这种现象叫 . /quote在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小： 这是取光数值反了造成的！退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了：是因为你发现太晚了！虽然拉速降下来但是温度反应时延时的造成单晶被提断！这种现象主要说明操作工不负责任（取光反了没即时退出自动）、不会温度控制（拉单晶玩的就是温控）我不清楚这是在单晶生长的那个阶段出现的问题？如果在头部我建议你拉速自动温度手动拉100mmi投温度自动就没事了！piy753 2009-7-24 13:34quo

25、te 原帖由 咖啡的味道于 2009-7-24 12:55 发表 请教各位师傅们，我们厂的炉子京运通的在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小。 电脑显示失控了退出自动手动拉时拉速放的 很低时把棒给提了。 请问师傅们问题可能会出现在哪些地方？是不是这种现象叫 . /quote根据你的描述这不是设备问题！是你的工艺和操作问题！咖啡的味道2009-7-24 18:15， 在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小：这是取光数值反了造成的！这个怎么解释，你是说的是依尔根，呢还是热偶，请教。那这样的情况就是说不是飞车了，我想不通的就是他在自动时电脑显示曲线有尖刺，小盒拉速提的特别

26、的快。咖啡的味道2009-7-24 18:18我要补充的是出现这种情况都是棒拉到好长了，不是在头部出现的 。直线导轨 2009-7-24 18:43quote 原帖由 咖啡的味道于 2009-7-24 18:18 发表 我要补充的是出现这种情况都是棒拉到好长了，不是在头部出现的 。 /quote这种情况出现几次？几台？如果单台出现这种情况，你先校准一下晶升和锅升。小盒拉速提的特别的快”检查一下是不是有外界干扰造成的。解决问题，刚开始不要把问题想的太复杂，一点点排出！回复 47# 的帖子狂顶环欧的前辈，呵呵 。我很同意您的观点。工艺确实是有很多问题说不太清楚，我门有时把液面抖动和晶帮晃动说成影响

27、我门拉晶， 但是我拉过数据其影响不是很大， 我认为有些拉晶问题是工艺问题，是设备问题是人员问题的综合因素，其实操作人员还是最重要的， 因为他是第一现场，有很多情况我们只能听他的描述， 而不没有看到问题的关键。工艺和生产确实是让设备作了不少的怨大头，个人感觉做工艺做的最后是在做设备，没有工艺可以拉晶，没有设备只能拉鸟了，而这两个方面都精通的确实不多。 我有时侯真的想和设备的一起去清个波纹管去拆个磁流体。没有机会呀。shenmou4672009-7-25 21:20问个问题。一般加热器的高温区是怎么确认？对于每次都要提个肩才能整个整帮的炉子是应该怎么调？我是应该增加坩埚在高温区的长度还是应该减少？

28、piy753 2009-7-26 07:45加热器的高温区主要是加热器的设计决定的， 但是整个炉子的热系统也可以是加热器的高温区发生偏移。要问如何判断真的不好说（几乎没法精确说出，因为影响因素太多）。不过我可以告诉你一个简单但不是很精确的判断方法， 空烧看一下加热器那里先红，高温区就在附近！但是煅烧看加热器是不能放导流筒的 （上保温削弱很多）所以那样看到的高温区不一定是真实的（热系统结构可以使高温区放生偏移）所以 （自己想吧）！; 微笑piy753 2009-7-26 07:51我顺便说一下题外话！我发现看帖子的人有一部分是知道我真实身份的！但请不要公开！要低调！; 微笑btsunny 200

29、9-7-26 15:15真空泵对放肩温度不稳有什么影响啊？楼主直线导轨 2009-7-26 15:31quote 原帖由 btsunny 于 2009-7-26 15:15 发表 真空泵对放肩温度不稳有什么影响啊？楼主 /quote真空泵正常工作时，对放肩温度基本没有影响。但， 不同的真空泵抽真空时的脉动频率和幅度不同，所以形成的真空也是不同的脉动形式的真空。小海哥 2009-7-26 15:31quote 原帖由 piy753 于 2009-7-24 11:18 发表 单晶的重量拉长了螺旋的钢丝绳，待释放后钢丝绳收缩（收缩就要收紧钢丝绳）所以自己就转起来了！一定要让重锤慢慢转动避免向回转！

30、/quote不扎实。piy753 2009-7-26 15:40quote 原帖由 btsunny 于 2009-7-26 15:15 发表 真空泵对放肩温度不稳有什么影响啊？楼主 /quote呵呵！跑到这里来问了！真有你的！我来替楼主解释吧，毕竟真空泵对放肩温度有影响是我在 qq 群里面说的！如果真空泵抽气不稳（滑阀泵）会引起氩气流动不均匀，最终导致放肩温度不稳！有人也许会说我胡扯！但我确实遇到过这样的问题。当时能做的都做了还是放肩温度不稳到最后换了一台真空泵就好了， 为了证明确实是真空泵造成的放肩温度不稳就将这台换下来的真空泵给了一台放肩比较稳定的炉子！结果放肩就不稳了一会长得飞快一会又快

31、被溶化！这种现象一般出现在放肩初期等肩放到一定大后就会好一些， 只要不是很严重对拉单晶影响不是很大（太阳能要求不高）。piy753 2009-7-26 15:49真空泵对真空的影响font=Tahomasize=2/size/fontfont=Tahomasize=2 当真空管道两端存在有压力差时，气体就会自动地从高压处向低压处扩散， 便形成了气体流动。 任何真空系统都是由气源 （ 待抽容器 ） 、 系统构件 （ 管道阀门等） 及抽气装置（ 真空泵 ） 组成的， 气体从气源经过系统的构件向抽气口源源不断地流动， 是动态真空系统的普遍特点。/sizesize=2真空技术中， 气体沿管道的流动状态

32、可划分为如下几种基本形式：从大气压力下开始抽真空的初期， 管道中气体压力和流速较高，气体的惯性力在流动中起主要作用，流动呈不稳定状态，流线无规则，并不时有旋涡出现，这种流动状态称为湍流（ 涡流，紊流） ；随着流速和气压的降低， 在低真空区域， 气流由湍流变成规则的层流流动，各部分具有不同速度的流动层，流线平行于管轴， 气体的粘滞力在流动中起主导作用，此时气体分子的平均自由程 入仍远小于导管最小截面尺寸d,这种流态叫做粘滞流；当气体流动进入高真空围，分子平均自由程入远远大于管道最小尺寸d时，气体分子与管壁之间的碰撞占居主要地位，分子靠热运动自由地直线进行，只发生与管壁的碰撞和热反射而飞过管道，气

33、体流动由各个分子的独立运动叠加而成， 这种流动称作分子流；发生在中真空区域，介于粘滞与分子流之间的流动状态叫做中间流或过渡流。 /size/fontfont=Tahomasize=2/size/fontfont=Tahomasize=2 我们在拉晶过程中使用的都是中度真空:/size/fontfont=Tahomasize=2font=Arial 中真空1010-3 托(Torr)13331.33X 10-1 帕(Pa)/font/size/fontfont=Tahomasize=2font=Arial如果真空泵抽气不稳，会造成一个脉动的真空室，其真空度也是随着波动。 /font/size/fontfont=Tahomasize=2font=Arial从而影响炉氩气的流动，影响放肩温度。 /font/size/fontfont=Tahomasize=2font=Arial/font/size/fontfont=Tahomasize=2font=Arial 虽然，我没