三维定位工作台机械结构设计

1、三 维定位 工作台 机械结 构设计三维定位工作台是三坐标测屋机的主体硬件结构，是坐标测屋机实现定位 及测址的基础。三维定位工作台中包括导轨、电机等通用器件及激光测星器件, 机械结构设计时首先要对其进行选型及设计。定位工作台的x向、y向组成共 平面结构，故三维定位工作台机械结构设计可分为通用器件选型、测呈器件选 型及安装调平机构设计、共平而二维定位平移台部件设计、z向定位工作台部 件设计及基台设计五部分组成。加工部件选用燉钢材质。殷钢屈于铁探合金的一种，其最大的特点就是随温 度的变形极小，适合于制作对温度变形何严格要求的零件。3.1通用器件选型3.1导轨选型在微纳平移台中，导轨是彊重要的部件z

2、,它是保证定位工作台平稳、 髙榕度运动的关键，h前通用的纳米仪器导轨类熨包括气浮导轨、内靡擦导轨 和粽密直线滚子导轨等。1、气浮导轨气浮导轨的核心是气浮轴承（空气轴承）.利用气浮轴承小扎节流形成气腔 内的高压，在导轨和气浮轴承何形成具仃一定承载能力和刚性的薄膜.气浮导 轨具仃无爍擦及无琳损的特性，由于匀差效应.运动的局部直线度及角度摆动 较小，耕度较高的测星机一般采用气浮导轨【禺。2、内摩擦导轨燎擦导轨可分为内摩擦导轨和外靡擦导轨，内爍擦导轨（如挠性狡链机构） 粽度很高、灵敏且滞后小.但行程难于加大.宜于作超微动工作台【。3、糰密直线滚子导轨ii前，高精度的直线滚子导轨在纳米级微进给平台的设计

3、中应用广泛。直 线滚子导轨的优点是结构简单，成本较低，适于无气源的环境.刚性较好.承 载能力强，台一定的匀差效应，灵活性、导向的直线度、稳定重虹性均较好。 但靡擦力较大.安装、调整对导轨的性能的彫响亦较大。滚子分滚珠和滚柱两 类滚柱型相甘于传统滚珠型导轨仔承载能力大、滚动縻擦小、维护少、寿命 长等优点结合纳米测星机50mm行程、高定位粘度的总体婆求，导轨采用结构简单. 的粘密直线滚型，选用ii木nb公司生产的粘密交义滚子导轨pr型，滚了 为高耕滚柱，此导轨是具仃高刚度、高粘度、小熨的仃限型式直线运动导轨。nb 公司提供的vr型齐尺寸导轨分为高粘度型、粘密型和超粘密型.结合测虽机 单轴运动范围5

4、0mm选用精度最高的超高精密sv2090-16z-up型其参数包括单根导轨尺寸90mm* 6mm*5.5mm,组合后尺寸90mm* 6mm* 12mm.滚动面的 平彳j度误差小于2rm. sv2090-16z-up型导轨实物图如图3所示。图3-1交叉滾子导轴实物图3.1.2电机选型常规驱动打传动方式已经不能实现微纳米级定位，能实现微纳米级定位的超精密工作台目前包括：电磁式匸作台.直线电机式工作台、压电式匸作台等。基于压电型没仃空回、粘滞等现彖很容易实现分辨率较髙的运动，这里选 用徳国pi公司生产的n-310压电型直线电机作为系统的驱动电机。n-310是 pi公司近年来开发的 款新型压电型直线电

5、机具有皮米级超高分辨率h.具 仃尺寸小巧、驱动力大、亚微秒级高动态响应、不需要维持电流等优点,与传 统的直流电肌以及步进电机驱动器相比.n-310电机驱动器不需要通过齿轮、 丝杠以及螺母等机械器件把旋转运动转化就直接可以实现直线运动，其性能参 数包括:最大驱动力为10n：最大行程52mm：大行程内运动速度0 lmm/s mm的定位分辨率】。实物图如图3-2所示。图3-2电机实物图根k n-310压电型直线电机实物外形其用于电机架及驱动架设计的结构 尺寸图如图33所示o j$轴驱动架及电机架的结构尺寸都是依据此结构尺寸来 设计的。oj3.2测呈器件选型及安装调平机构设计测»系统是坐标测

6、&机的重要组成部分。11前国内外坐标测址机上使用的 测虽系统种类很多，如粘密丝杠、髙粘:度刻线尺、光栅、感应同步器、附尺、 激光涉仪等，按性质可分为机械式、光学式和电气式三类。抑:先前统计，坐 标测a机中使用最多的是光栅其次是感应同步器和官学编码器对于高精度 测量机一般采川激光干涉仪测量系统。本顶丨i的位移测虽器件选用激光回馈干涉仪.由清华大学负责研发.清华 丿、丁祐好测试与仪器國家重点实验宅研制的激光回馈干涉仪【均实物图如图3-4 所示。图3-4漱光回馈干涉仪实物图激光回锻干涉仪是一种新型的激光干涉仪正日益运用于包括位移测9在 内的影种领域。激光回馈涉仪是基j king在1963 -

7、年发现的激光门混合f涉 的现彖研制的o当用-个外反射表ifli将激光器输出的光束反射回激光器内部时, 发射光与反射光的光场相混合.从而引起激光器功率即光强的变化“】，激光回 馈干涉仪测位移即从光强变化中解析出相应的位移呈。3.2.1 x、y向激光器安装尺寸及其安装调平机构设计由于激光器装配设计只需用到激光器外尺寸以及出光孔、安装孔位置，根 摇激光器外形尺寸，x、y向激光器用于装配设计的结构尺寸图如图3-5所示。 根抑:出光孔位进布置激光器位置，根据外尺寸及安装孔位置设计激光器调整机 构的安装上板。图3-5 x, y向滋光回馈干涉仪结构尺寸图装配调整架是激光器固定及位置调整机构,关系到测a机的装

8、配及测ao 根折激光器布置方式.x向、y向的装址调整架相同,idj z向的略fj不同。x 向激光器装配调整架机械结构如图3-6所示.上板的安装螺钉位置根据激 光器尺寸图中安装螺孔位置确定，激光器通过安装螺钉固定于安装上板。安装 卜板固定于测呈机基台，安装上板四个角通过弹鹫帕什上的拉紧弹簧连接于安 装卜板，其中一个内角垫何钢球，另外外边缘两角安置何两个调整螺钉。调整 螺钉的下端为半球形。图3-6x, y向漱光器装配调整架结构图安装上板的调平设计基于三点支撐原理，即三点构成一个平面，固定其屮 一点，调节两点的高度即可调整平ifll的角度，三点支撐相对j；务点支撐的结构更容易实现调平。三点支撐调平原

9、理的基础是点接触或球而接触.这里设计固 定点为球面接触.调整点为螺钉点接触。调整光束时.通过调d安装i:板上的 调整螺钉可以调整激光器x向旋转和y向旋转的两个门由度，实现激光器光束 调平：通过调节夹持块上的调整螺钉可以调节激光器z向旋转门由度，实现激 光器光束横向偏摆，如此实现激光器位置调整及光束调整。3.2.2 z向激光器安装尺寸及其安装调平机构设计z向激光器的光束须从z向工作台的卜方垂直向上发肘，根抓提供的z向 激光器外形结构，其与安装调平机构设计相关的结构尺寸如图37所示。图3-7 z向激光回馈干涉仪结构尺寸图设计z向激光器悬挂固定于测量机基台的卜方，根据出光孔位置布置z向 激光器位置根

10、州外尺寸及安装孔位置设计激光器调整机构的安装i-板，装配图3-s z向漱光器装配结构图1悬挂侧板2.z向激光器3压板4漱光器固定板5.激光器调整板6弹簧吊杆7调整螺钉8钢球设计结构图如图3-8所示。激光器及其调整机构通过悬挂侧板固定于基台上.调整板设计依1日采用 角钢球固定、两也螺钉调整的三点支據调整方式。由j： z向激光器只需要实现光束垂直.故苴调整机构不需添加横向偏摆螺钉。激光 器的位置调鉴时，通过调节安装上板上的调整螺钉可以调节激光藩实现x向旋 转和y向旋转的两个门由度运动.从而调整激光器光束垂直。3.3共平而二维定位平移台设计二维定位平移台功能为实现x、y两个方向的共平而运动，并实现二

11、维运动 的粘确定位卩铁根据测3机总体结构设计图可得二维定位平移台结构示意图如 图39所示，主要由x台、y台、x台基座、各向电机、向导轨及二维测虽 系统儿邙分组成.：维测虽系统的激光器独立平移台布置而反射靶&则是 平移台设计的一部分，x台、y台和x台基台呈层盜结构布置。设计的关键是 保证x、y两个方向的导向面共浙保证各向导向线、驱动线与测址线平行.图3-9二维定位平移台结构示意图3.3.1 x向平移台设计图3-10 x向平移台结构示意图x向平移台的功用为在x向驱动下沿x向导向面运动,并通过x向激光 器及反射靶橙实现x向运动的粘确定位。x向平移台的结构示意图如图3-10 所示，设计的关键是

12、保障乂向的导向线、驱动线与测虽线同向，即三线平行。1、x台设计二维定位平移台须设计成相互嵌套的形式以实现x、y导轨处于相同高度 上。根据设计方案，x台中何必须留何z向工作台上测駅件y向运动的空何， 必须留存平移台二维运动时测头的空间，因此拟定x台为正方框式。设计屮兼 顾机构的对称性，以减小平台在温度变化以及驰动力影响卜产生的变形。设计x台的结构示意图如图3-11所示.甘紈女裝而图3-11 x台结构示意图x台四个导轨安装而共而是两导向面共面的基础,因此x台设计的关键是 保证导轨安装面的机械粘度，因而在这里设计以导轨安装面为加工基准面,一 体化加工保障以个导轨安装ifil t 1(11度误差小于2

13、 pm,以此为基准加工其他ifli, 导轨侧安装面的平面度与及相对基准而的垂直度亦要保证足够精度o由x台结构示意图可知，导轨安装而还是主要承力而，因此须有足够的厚 度与外延來保障刚度打粘度，拟定主框台厚度为18mm,外延26.5mnio x向平 移台空间几设计时须保障z向载物台至少50mm*5omni的移动空间，结合导轨 尺寸90mm拟定正方框内外框尺寸分别为110mm. 15omni0边缘做倒角以减小 应力。基于上述要求，设计x台结构图如图312所示。图3-12 x台结构图2, x台基座设计定位匸作台的x台基座及电机架均须直接固连于基台，为保障导向线与驱 动线同向，设计x向电机架固定于基座。

14、根州x台尺寸设计- x台基座的导轨 安装面根据z向定位台的水平面活动范围设计x台基座中间框尺寸.x台基 朋及电机架结构如罔3-13所示。在精度保障设计中.以基座中的导轨安装而为 加e基准而.并保证与底ifll及机架安装侧面的平行度及垂直度粘度：电机架设 计中.需保证垂直度精度以保障驱动方向与运动方向的一致。图3-13 x导轨耳座及电机架结构图3、x台反射靶镜设计靶镜是激光测址定位系统的重要组成部分其功用为配合齐轴激光器实现 定位测虽，靶觇主要设计要求包括：三维靶镜位j：三维运动台上：标准反射而 在运动范围内有足够高的平面度及足够小的粗糙度:各向靶镜与相应导向线垂 直。根抑:“331"

15、原则，x向反射靶镜应布置于做三维运动的z向工作台,由于 台体阻挡，将x向靶镜布置于做二维运动的y向平移台的x向侧ifll l-.o标准 反射面的平面度及粗糙度通过机械加工保证。这里需保证靶镜安装面精度及靶 镜安装件精度,即能保障x向靶镜反射而的x向垂直精度.从而实现测址线与 x同向即与驱动线及导向线平行。图3-14x向澈光器反射靶镜结构图x向靶镜的设计结构图如图3-14所示，支架固定于y向工作台而压板固 定于支架，靶镜通过压紧螺钉固定于压板和支架之间。3. x向平移台总装x向平移台整体结构如图3-15所示。以x台导轨运动的导向线为基准的 驱动机构的设计保障了驱动线与导向线平行。由于x向把镜安置

16、ty台,将在 y向平移台设计中补充说明x向测虽线与导向线共向的设计装配。图3-15 x向平移台结构图3.3.2 y向平移台设讣y向平移台的功用为在y向驱动卜沿y向导向面运动，并通过y向激光 器及反射肥镜实现y向运动的粘确定位。x向平移台的结构示意图如图3-16 所示.设计的关键是保障y向的导向线、驱动线与测足线平行。图3-16 y向平移台结构示意:图1、y台设计y台是实现相对x '杵移台做y向平移运动的结构，通过y向电机驰动沿y 向导轨实现y向运动。结合二维定位平移台及y向定位平移台结构示意图可知: y台中间须留存z向测虽台的孔空：乂台与其基座分别位于y台上卜两侧，y 向工作台须留有y

17、向运动时与x台基座的空间；y向平移台的四个边框均有驱动及测量靶镜安装。结合時称性设计，y台的结构示意图如图317所示。图3-17 y台结构示意图y向平移台的宽度结合x台尺寸确定.拟定为200mm.长度依据y向运动时 与x台基座的空何保障拟定为300mm.厚度结合导轨安装处重力及外力变形情 况拟定为12mm,边孔尺寸拟定为160mm*83mm,中心z孔尺寸拟定为 57mm*57mm.由于y台的山个边框均何驱动件及测虽杷镜安装.须设台安装 孔，中间的z向连结平台也设有安装孔。y台的导轨安装面为导向精度面,须 保证加工粽度。y台结构图如图3-18所示。图3-1s y台结构图2、y向驱动部件设计y向驱

18、动部件包括骡动电机、电机架和報动架.设计的关犍为保障骡动线 与导向线一致。在y台y向一端中轴线位遏布置安装驱动架，由于内端仃x图3-19 y向驱动部件装配图台基座阻挡故安装在外端.驱动架的长度根据电机杆长度确定；在x台y向此 端轴线布置安装电机架。驱动部件装配图如图3-19所示,驱动架的安装面及电 机杆安装几、电机架的x台安装浙及电机安装血，均需要保证一定垂直度及平 而度糰度.以保障驱动线与导向线平行。3、y向反射靶镜设计根据“331”原则.y向反射靶镜应固定于做三维运动的z向工作台上同 样由于台体阻隔的原因，设计y向靶镜布置于做二维运动的y向平移台上，y 向耙镜设计结构图如图320所示,主要

19、由固定架及把镜两部分组成,固定架由 固定螺钉固定于y台.靶镜通过其固定螺钉压紧于固定架与y台z何，通过机 械加工精度保障标准反射面与平移台的垂直度，通过调整其后的调整螺钉调整 标准反射ifii与导向线垂直，从ifu保证同样与反射面垂直的测量线与导向线同向-图3-20 y向激光器反射靶镜系统结构图4、y向平移台总装结合上述y向平移台各零部件结构，安装组合即得y向平移台整体结构 如图3-21所示。以y台导轨运动的导向线为基准驱动机构的设计保障了驱 动线与导向线平行，靶镜的反射ifll垂直于导向线的设计保障t测&线与导向线 的平行，从而实现三线平行的y向平移台设计。x向靶镜安置于y向平移台的

20、x向一侧面.只需保证此安装侧面的精度 及靶镜安装件精度，即能保障x向靶镜反射面的z向精度，其y向粘度采用电 感测微仪感测、乎动微动调整。如此即实现了x向测虽线与x向导向线平行. 结合与导向线平行的驱动线设计实现了三线平行的x向平移台设计。3.3.3二维定位平移台整体总装二维定位平移台整体结构图如图3j2所尔。x向导轨基座直接固定于基 台整个平移台在天向电机驱动卞沿x向导轨实现x向平移，y平移台在y 向电机驱动卜沿y向导轨实现y向平移。为了实现运动线打驱动线同向，机械 设计时通过设定各向电机架和驱动架安装面平ifll粘度及轴线垂直粘度，來实现 驱动精度。图3-22二维定位平移台结构图3.4 z向

21、定位工作台设计z向定位工作台主要功能是任z轴电机驱动卜沿垂直于x-y 1(11的z向导紈 运动.并配合z向激光器实现z向精确定位。根据测址机总体结构垂直面布置 图设计z向工作台结构示意图如图3j3所乐，z向电机通过电机支架固连于y 向匚作台，驱动z向工作台沿z向导轨相对于y向工作台运动，固连于z向匸 作台的z向杷镜配合固连j基台的z向激光器实现z向耕度定位o z向定位l图3-23 z向定位工作台结构示意图作台部件主要包括z向工作台、导轨支架、导轨、滑轮、重锤、z向电机、电 机支架和z向靶镜等零部件组成，这些零部件可以根据功能分为导向部件、定 位部件、驱动部件及平衡部件i川部分。结构设计需要保障

22、驱动线、导向线及测 址线同向，如图中虚线所示。3.4.1 z向导向部件设汁z向导向部件是实现z向运动的部件，主要由z台、z向导轨、z向导轨 支架及其配重三部分组成。其设计主要考虑对称性原则.因为在不对称的结构 中，温度变化及受力情况卞均会对结构耕度造成人的影响。1、z台设计结合y向定位工作台结构.z向工作台可以简单的设计为实心长方体块. 基于减小重力彤响的考虑，拟采用空心长方体柱.由于处于测屋而的z工作台 上表面须为实心面，固z向工作台设计为载物台和z主台体两部分组成。z向 台机械结构图如图3-24所示。图3-24 z台结构设计图2、z向导轨支架及配重设计根据总体结构设计方案，z向导轨支架是固

23、连于y工作台j1与z工作台通 过z向导轨衔接的重耍部件。基于装配方便因索的考虑设计其结构为半开口型. 三角栅槽的设计增強了结构的稳定性。z向导轨支架结构图如图325所示。图3-25 z向导轨支架机械结构图完成导轨支架女装及z台装配后须添加导轨支架配重，使连接于y台的z 向部件的重心位于连接件儿何中心上，实现结构的对称稳定性。3.4.2 z向反射杷镜设计z向激光器靶镜，是z向测址定位部件，其功用为配合z向激光器实现z 向粘度定位。靶盥须固连j： z台且貝反射平浙须垂直j：导向线，达到测呈线与 导向线共向的口的.故靶镜需添加调整机构。靶镜约束条件主耍包括位置约束和反射而大小约束两部分。靶橙女装位置

24、 主要受到激光回馈干涉仪性能约束，淸华大学研制的位移测址激光回锻干涉仪 量程只仃儿十亳米】，这就要求靶镜离激光器出光口尽可能的近，皐f此设计 靶镜位于z台下端。由于z向激光器固定mj z向工作台也随x、y向工作台运 动,故z向祀镜标准反射面须设计的足够大.面积应大于平移台x、y向运动 范围5omm*5omm. 的标准反射面表面先要经过精磨.然后经过抛光处理. 保证较小的平而度误差及很小的表而粗糙度。杷掘平而调整设计思路为三点支撐调平原理.设计一固定点为球面接触. 两调整点为螺钉点接总。z向靶镜及调整件设计结构图如图326所示。靶镜基 板四个角通过弹费吊杆上的拉紧弹赞悬挂预紧于z向工作台卜板其中

25、一个角 垫仃钢球，另外对角角安置仃两个调整螺钉.耙镜周定于靶镜基板并由周定于 z匸作台底仮的压板压紧.通过调节调整螺钉就能调整标准反射而使z与z向 激光器光束垂直了。厂'图3-26 z向工作台反射靶镜设计结构图1.z向靶镜固定板2.z向耙镜基板3.z向靶镜4.标准反射面5压板6.弹簧吊杆7钢球8.调整缎钉3.4.3 z向驱动部件设计z向驱动部件的功能为实现z台相対于y台z向运动。设计约束上要包括 三个方而：一是z台各向运动时驱动架应避开z向激光器出光探头：二是保障 驱动线与导向线同向：三是遵循对称性设计原则。驱动部件包括z向电机、駅动架和电机支架三部分。基于z向激光器出光 头与反射靶镜

26、无零件间隔的设计要求，设汁z向激光器出光头位于驱动架z中、 电机支架位于驱动架外部、电机位于驱动架卜方的布丿司方式。由于激光器固定 于基台i伯z向定位工作台相対于基台仃三维运动，&驱动架应育足够宽度和长 度，结合各轴50mm的运动范由设计驱动架内框尺寸为85mm*92mm,取框宽及 框厚均为为1 omm,故外框尺寸为105mm* 112mm 结合驱动架尺寸及电机尺寸 设计电机架尺寸：外框尺寸为136mm*211.5mm：厚度边框収10mm、卜框収 27mm：内框尺寸为116 mm*118mnio在机械设计中须保证驱动架、电机架、电 机安装面及上安装孔的z向精度,从而保障驱动线与导向线平

27、行。对称性保障 设计中，除了保证驱动架与电机支架边框结构均匀对称外，还应设计一块电机 支架覘重实现电机安装处的结构对称。z向驱动部件结构图如图327所示。电机固连于电机支架电机支架通过 固连于导轨支架连接于y台.从而实现z向电机相对于y台固定的设计.即实 现了 z台相对于y台z向运动的驱动功能。zi-1牙卅ml支累z向电机电机支玄配看图3-27 z向驱动部件结构图3.4.4 z向运动台平衡部件设计z向工作台由于重力作用会下掉或重力加载z向电机.必须有机构加以平 衡.便它随时处于平衡状态。目前最常用的测虽机平衡机构有三种.一种为重 锤平衡，另一种为气动平衡.还仃一种是依靠电机用高减速比的减速器來

28、平衡。 重锋平衡的优点是结构简单、安全其原理类似定滑轮机构.一端为主轴，一 端为平衡重星，构造可靠.除非连接连接绳断裂.一般不会出安全问题。缺 点是:加大了移动部分重星,当配重上升下降到不同位置时,会影响到测虽机 性能。气动平衡的缺点是结构较为复杂，高减速器减速比平衡的缺点为要求电 机功率较人，在本测量机结构设计中，基于结构简便及电机功率较小的考虑， 采用滑轮重锤系统平衡z轴系统的重力。平衡部件主要由滑轮和重锤组成.经计算z向运动台的总质虽为3816g 故每一个觇重的质圮为1908g.为减小配重体积这里选用鬪柱形铅锤。滑轮固 定于导轨支架上，选用gb/t276-1994深沟球轴承.结合阿柱重锤

29、'卜径.选収 轴承规恪为6203,外径为40mm,内径为17mm,厚度为12mm。z台平衡部件图3-2s z台平衝部件结构图结构图如图328所示。通过固连于导轨支架的轴承滑轮，对称设计的商个重锤 平衡掉z向运动件的重力.实现z轴电机的无负载驱动。3.4.5 z向定位工作台整体总装z向定位工作台整体结构图如图久29所示。导轨支架及其配重固连于y台， 在重锤系统平衡掉z台况卜z向电机驱动z台沿z向导轨实现z向运动。 机械设计时通过设定电机架和驱动架z向粘度，來实现驱动线与导向线平行。 通过z向杷镜的调整机构调整，实现测屋线与导向线平彳从ifij实现三线平行 的z向定位工作台设计。z向出说1

30、扌也支架 导紈支架配币 z台z自电机图3-29 z向定位工作台结构图3.5测虽机基台设计测星机基台是测头系统、激光器和三维定位工作台的安装布置平台，是定 位工作台的结构基础，设计时要求其加工平面度高.力热变形小，抗震性能好， 化学性能:稳定。常用的基台材质包括铸铁、低碳钢、花岗岩等.这里选用花岗 崭材质。天然北岗岩具仃的优点包括：加工性能好，其加工粘度可达0.5111以 卜：耐惦性能好.比铸铁高510倍：热膨胀系数小.与殷钢相仿，受温度影响 极微：弹性模呈大，高于铸铁：刚性好.内阻尼系数大.比钢铁大15倍能防 慫减囊：化学性质稳定，不易风化.能咐酸、碱及腐蚀气体的侵蚀：不导电、 不导场位稳定。

31、缺点佇：牠岗岩石质较脆.粗加工时容易洌边：水会引起 微呈变形.使用中须注意防水防潮。由于z向激光器的悬挂布置要求以及定位工作台z向零部件较筝，出于装 配方便考虑，基台设计为中心方孔型桌式结构。基于基台调平及稳定需求，设 计基台分为台面、千斤顶支掠及底座三部分.其中千斤顶支挥为调平机构。1、台面设计基台台而是测头系统、激光器和定位平移台的承载体根据功用花岗岩台 面须布置x、y向激光器安置椚和三维平移台安置槽测头系统及z向工作台 安装螺钉孔。为了保证良好的抗爲性和刚度，应尽可能增加台面厚度,综合考虑台面下 方z向工作台及激光器的布置空何和千斤顶支撐的负载力.虽终确定台而厚度 为loomnio ftift； x向定位台基座外尺寸200mm*200mm以及激光器长度尺寸 280mm设定台面长宽为560mm*560mm°分别根据激光器尺寸确定激光器槽尺 寸，根据x导轨基座的内框尺寸确定基台台面内孔尺寸.根据基座外孔尺寸确 定基座槽尺寸根州电机架尺寸确定电机槽尺寸。机台上的安装螺几根据设计 的各安装件螺孔位置及大小确定。根据上述尺寸设计台面机械结构图如图3-30 所示。为保证x导轨基座槽底面的