测控仪器设计(第3章)

1、第二章第二章 测控仪器总体设计测控仪器总体设计 测控仪器总体设计，是指在进行仪器具体设计以前，从仪器自身的 功能、技术指标、检测与控制系统框架及仪器应用的环境和条件等总体 角度出发，对仪器设计中的全局问题进行全面的设想和规划。 要考虑的主要问题有：要考虑的主要问题有： 1.设计任务分析 2.创新性构思 （所能达到的新功能，所实现的新方法，所反映出的新技 术，新理论等） 3.测控仪器若干设计原则的考虑 4.测控仪器若干设计原理的斟酌 5.测控仪器工作原理的选择和系统设计 6.测控系统主要结构参数与技术指标的确定 7.仪器总体的造型规划 第一 设计任务分析 第二 创新性设计 第三 测控仪器设计原则

2、 第四 测控仪器设计原理 第五 测控仪器工作原理的选择和系统设计 第六 测控仪器主要结构参数与技术指标的确定 第七 测控仪器的造型设计 仪器总体设计的最终评估，是以其所能达到的经济指标与技术指标 来衡量，精度与可靠性指标是测控仪器设计的核心问题。 本章共分为七部分 第一节第一节 设计任务分析设计任务分析 测控仪器的设计任务一般有三种情况：测控仪器的设计任务一般有三种情况： 1）设计者根据用户专门的需要，针对特定的测控对象，被测参数 或工作特性来设计专用的仪器。 2）设计者根据目前市场需求，设计开发通用产品和系列产品。在 这种情况下，设计者应对市场需求作广泛的调研，以确定适当的仪 器技术指标，达

3、到以最少的产品系列和较全的仪器功能来覆盖最大 的社会需求。 3）设计者超前预测，设计出先进的新型产品，进行开发性设计。 以上不同情况，对设计任务的分析，其侧重考虑的内容和方面是 不同的。通常，设计任务的分析包括以下内容： 了解被测控参数的特点了解被测控参数的特点 1）了解精度、数值范围（一维、二维、量值范围）、量值性质 （单值、多值）、测量状态（动态、静态）等要求； 2） 按国家标准严格的定义确定仪器工作原理 了解测控参数载体的特点了解测控参数载体的特点 机械与光学载体居多。要考虑载体的大小、形状、材料、 重量、状态等 了解仪器的功能要求了解仪器的功能要求 是静态还是动态、开环还是闭环、一维还

4、是多维、单一参数 还是复合参数、检测效率、测量范围、承载能力、操作方式、 显示方式、自动诊断、自动保护等。 了解仪器的使用条件了解仪器的使用条件 室内还是室外、在线还是脱机、间断还是连续、环境状况。 了解国内外同类产品的原理和技术水平了解国内外同类产品的原理和技术水平 了解国内加工工艺水平及关键元器件的销售情况了解国内加工工艺水平及关键元器件的销售情况 设计任务设计任务 的分析的分析 第二节第二节 创新性设计创新性设计 创新创新是对原设计的继承和发展，我们对现有仪器的原理、功能、特点了解的愈 多，掌握的愈深入，愈容易发现现有仪器的缺陷，从而找到进一步完善和发展的途 径。就测控仪器的总体设计而言

5、,创新设计将体现在:仪器设计所实现的原理、所达 到的功能、所反映出的新方法和新技术等方面。 举例如下举例如下: 1）数控加工机床所必备的刀具预调仪（仪器原理上的创新） 2）齿轮全自动误差测量仪（仪器功能上的创新） 解决了齿轮测量参数多、测量仪器复杂、测量精度不高的难题。使一台仪器实现 了多台仪器和量具才能达到的测量功能，体现了设计者在仪器功能上的创新成就。 3）开关（新技术和新方法的创新） 机械式开关是最早的通断控制形式，但其反映的频率低，定位精度差，结构复 杂，惯性大，寿命短。随着科技的发展，人们开发出触摸式、感应式、声控式、光 控式、红外线式等多种新的开关。这些新的开关设计反映出设计者对各

6、种新技术和 新方法的创新研究。 对 比 光学投影式刀具预调仪 计算机视觉型刀具预调仪 测量 原理 图示 工作 过程 将刀尖到影屏上，采用目视瞄准定 使用CCD摄像机采集被测刀具图像，测量时， 计算机影屏上的十字线自动跟踪刀具切削点， 当刀尖稳定在测量区域后，即已完成测量 优缺 点 光学投影光路的加工及调整复杂， 由人眼控制刀尖对准十字线的微细 调整过程，要求二维光栅数字系统 的导轨必须具备微调机构，增加了 机构设计的难度；而且人眼目视瞄 准的精度低，工作效率差。 消除了操作者的人为误差，实现了自动化、 数字化、微米级的测量精度。 结论 这种由光学投影式瞄准原理发展为利用计算机视觉系统进行瞄准的

7、创新，开创了 新一代刀具预调仪的发展，也为生产厂家带来了较大的经济利润和社会效益。 一、创新设计思维能力的培养一、创新设计思维能力的培养 突破“思维定势”的束缚。人们往往习惯于从已有的经验和知识中，从考虑 某类问题获得成功的思维模式中寻求解题方案，这就是所说的思维定势。要 克服心理上的惯性，从思维定势的框框中解脱出来，善于从新的技术领域中 接受有用的事物，提出新原理、创造新模式、贡献新方法，闯出新局面。 敢于标新立异。创新思维的特点不仅是要突破“思维定势”的束缚，而且要 敢于标新立异，即敢于提出与前人甚至多数人不同的见解，敢于对似乎完美 的现实事物提出怀疑，寻找更合理的解法。 善于从不同角度思

8、考问题，探索多种解法，设想多个可供选择的方案，这样， 成功的几率必然成倍增长。我们称这种思维方法为多向思维或扩散思维。 创新设计的诀窍在于创新设计的诀窍在于 充分依靠现代网络信息资源有针对性的检索相关资料，补充掌握不足的信 息来达到创新构思。 在设计的整个过程中采用集多人智慧，互相启发来寻求解决问题的途径； 也可通过有针对性、有系统地提问来激发智慧，寻找解决办法 通过对现有产品的观察，优缺点分析，或采用数学建模，或采用系统分析 及形态学矩阵的理论分析方法寻求各种解决办法。 举例子说明举例子说明：采用系统分析方法解决防止螺纹松动的结构措施。 螺钉锁紧力矩公式为 2 tan 2 2M MGL Dd

9、 FM 二、创新设计方法的训练二、创新设计方法的训练 1） 学习，掌握创造学理论的基本思想，掌握创新思维规律，面对来自于自 然界生存压力、社会发展需求压力、经济竞争压力、个人工作压力及自我责任心， 事业心的主客观强大压力，激发出积极、主动创造精神。 2）摸索创新设计的方法和技巧 式中， 为螺钉锁紧力； 为螺纹中径； 为螺纹升角； 为螺纹摩擦角； 为螺纹间摩擦系数； 为螺母压紧端面时的摩擦系数； 为螺钉、螺母、被连接件（或垫圈）材料的摩擦系数； 为螺纹牙形角； 为螺母锥形压紧端面锥角之半，通常压紧为平面时 ； 为螺母压紧 端面的平均直径。 F2 d GG arctan 2/cos/ G sin/

10、 M 0 90 M D 防止螺纹松动的结构措施，它可以从四个方面考虑：采用细牙螺纹，使 螺纹升角 减小，则锁紧力矩增大；采用大牙形角螺纹，使 增大，可使 增大，则锁紧力矩增大；采用锥形压紧端面（锥角 180）， 愈小， 愈大，则锁紧力矩增大；采用摩擦系数 大的材料，则锁紧力矩增大。 G 2 M 这种系统分析的方法，使研究更具科学性，减少盲目性。 第三节第三节 测控仪器设计原则测控仪器设计原则 在仪器设计长期实践的基础上,形成了一些带有普遍性的或在一定场合下带有普 遍性的仪器设计所应遵循的基本原则与基本原理。这些设计原则与设计原理,作为仪 器设计中的技术措施,在保证和提高仪器精度,改善仪器性能,

11、以及在降低仪器成本等方 面带来了良好的效果。 如何在仪器的总体方案中遵循或恰当地运用这些原则与原理,便是在仪器总体设 计阶段应当突出考虑的一个内容。 共有六项设计原则：共有六项设计原则： 一、阿贝(Abbe)原则及其扩展 七、从原理出发提高精度原则 二、变形最小原则及减小变形影响的措施 八、运动学设计原则 三、测量链最短原则 九、硬件、软件协调优化设计原则 四、坐标系统一原则 十、可靠性原则 五、精度匹配原则 六、经济原则 一一. 阿贝阿贝(Abbe)原则及其扩展原则及其扩展 阿贝原则定义：阿贝原则定义：为使测量仪器能给出正 确的测量结果,必须将仪器的读数刻线尺安放 在被测尺寸线的延长线上。或

12、者说，被测零件 的尺寸线和仪器的基准线（刻线尺）应顺序排 成一条直线。 因此，遵守阿贝(Abbe)原则的仪器，应符合 图3-1所示的安排。仪器的标准刻线尺与被测 件的直径共线。 举例说明阿贝原则举例说明阿贝原则 图31 遵守阿贝原则的测量 1-导轨 2-指示器 3-标准线纹尺 4-被测件 5-工作台 对比 用游标卡尺测量工件的直径 用千分尺测量工件的直径 测量图示 测量过程 用游标卡尺测量工件的直径。不符合阿贝 原则。测量时，活动量爪在尺架（导轨） 上移动，由于导轨之间存在间隙，使活动 量爪发生倾斜角而带来测量误差，其值为 设S=30毫米， =1则引起的误差为 =300.0003=0.009m

13、m 用千分尺测量工件的直径。符合阿 贝原则。如果由于安装等原因，测 微丝杆轴线的移动方向与尺寸线方 向有一夹角，则此时带来测量误差 为 设d=20毫米， =1则引起的误差 为 =20mm 即误差微小到可以忽略不计的程 度。 结论 误差和倾角成一次方关系，习惯上称为一 次误差 误差和倾角成二次方关系，习惯 上称为二次微小误差 阿贝误差 产生的原 因 导轨间隙造成运动中的摆角由于标准刻线 尺与被测件的直径不共线而带来测量误差 导轨间隙造成运动中的摆角由于标 准刻线尺与被测件的直径共线误差 微小到可以忽略不计 Stg1 1 4/ 2 dL 2 72 105 . 44/)0003. 0( 再举一例：再

14、举一例： 用阿贝比长仪测量线纹尺的刻线间隔，被测尺寸线W和仪器基准线S在同一条 直线上，故符合阿贝原则。如果由于导轨误差，基准读数显微镜和测量使读数 显微镜支架在图示平面内产生 的转动，使基准读数显微镜的第二次瞄准位置 由 移到 此时带来的测量误差为： 因为：（1-cos）=2sin2/2 设d 被测线纹长度，且d=20mm，=1， 则引起的误差为：=20（0.0003）2/2=910-7 mm 即误差微小到可以忽略不计的程度。 2 M 2 M 2/)cos1 ( 2 dddd 可见，阿贝原则在量仪设计中的意义重大。 阿贝原则被公认为是量仪设计中最基本的原则之一，在一般的设计情 况下应尽量遵守

15、。 但在实际的设计工作中，有些情况不能保证阿贝原则的实施，其原因 有二： 1）遵守阿贝原则一般造成仪器外廓尺寸过大，特别是对线值测量范围大的仪器， 情况更为严重。 2）多自由度测量仪器，如图3-3所示的三坐标测量机，或其它有线值测量系统的 仪器。很难作到使各个坐标方向或一个坐标方向上的各个平面内均能遵守阿贝原 则。 如图3-3所示的三坐标测量机，其测量点的轨迹是测头1的行程所构成的尺寸 线，而仪器读数线分别在图示的X、Y与Z直线位置处，显然，在图示情况下测量 时，X与Y坐标方向均不遵守阿贝原则。 其中图3-3 a)为XZ平面，测头1在该平面内的行程所构成的尺寸线与Z方向读 数线共线，但与X方向

16、读数线相距为L，在该平面内不符合阿贝原则。 其中图3-3 b)为YZ平面，测头1在该平面内的行程所构成的尺寸线与Z方向读 数线共线，但与Y方向读数线相距为L，在该平面内不符合阿贝原则。 图3-2 工件的直径测量 b）用阿贝比较仪测量 1被测工件 2工作台 3底座 4基准刻线尺 5支架 图3-3 三坐标测量机 1-测头的触球 2-被测工件 结论结论：许多线值 测量系统的仪器，很 难做到使各个坐标方 向或一个坐标方向上 的各个平面内均能遵 守阿贝原则。 图3-3 a) 图3-3 b) 基于上述实际情况，引出了扩展阿贝原则的思路和方法。 美国学者布莱恩（J.B.Bryan）建议将扩展了的阿贝原则表达

17、如下： “位移测量系统工作点的路程应和被测位移作用点的路程位于一条直线上。 如果这不可能，那么或者必须使传送位移的导轨没有角运动，或者必须用实际 角运动的数据计算偏移的影响。 它包含三重意思，遵守了这三条中的一条，即遵守了阿贝原则。即： 1）标尺与被测量一条线； 2）如无法做到则确保导轨没有角运动； 3）或应跟踪测量，算出导轨偏移加以补偿。 举几例来了解阿贝原则扩展定义的应用。举几例来了解阿贝原则扩展定义的应用。 以下实例的共性点：这些实例均采用了动态跟踪测量，随机补偿测量误差 的方法。动态跟踪补偿的方法是将监测系统与仪器主体固定为一体，一旦经过 统调和定标，则补偿的精度稳定。 注：注：还可采

18、用标准器具，对仪器进行定点测量、修正的方法。这种方法的最大 缺点是：仪器某标定点的定标条件与被测件在此标定点上的被测条件都应完全 一样，否则将造成更大的测量误差。 1. 爱彭斯坦（爱彭斯坦（Eppenstein）光学补偿方法）光学补偿方法 爱彭斯坦（Eppenstein）光学补偿方法主要被应用于高精度测长机的读数系统 中。图3-4a为测长机原理图。 刻尺面位于焦距f相同的两个透镜N1，N2的焦面上。M2，N2与尾座联为一体， M1，N1与头座联为一体。刻尺由装在尾座内的光源照明。对零时，设0刻线成象 在s1点。测量时，尾座向左移动。当导轨平直时，设相应于被测长度读数值的刻线 0亦成象在s1处时

19、不产生误差。现假设由于导轨直线度的影响，使尾座产生倾角 ，则在测量线方向上，测端因倾斜而向左挪动 ，如无补偿措施，则此 值即为阿贝误差。 tanLh 但这时与尾座联为一体的M2，N2也随之倾斜角，这样，刻线0通过M2，N2 及M1，N1便成象到s2点，则S2点相对于S1点在刻尺面上也有一挪动 量 。 12tans sf 图34 爱彭斯坦光学补偿方法 a)测长机工作原理图 b)光学补偿原理 为了补偿阿贝误差，头座需向左移动靠紧工件 ， 为使读数正确， S1S也需等于向左移动量 即 = 即 ， 于是，由尾座倾斜而带来的阿贝误差，由于在仪器中设置了上述光学系统，在 读数时自动消失了，即达到了补偿的目

20、的。这种补偿原理被称为爱彭斯坦光学补 偿原理，是通过结构布局随机补偿阿贝误差的方法。 tanLh 12tans sftanLh fh 2激光两坐标测量仪中监测导轨转角与平移的光电补偿方法激光两坐标测量仪中监测导轨转角与平移的光电补偿方法 图3-5为高精度激光两坐标测量仪，为了补偿由于导轨转角引起的的阿贝误差， 仪器采用双层工作台。下层工作台2经滚柱在底座1的导轨上作纵向移动，上工作 台3通过三个滚珠轴承4支承在下工作台上。上工作台型框板的左右各有两个孔眼。 左面两个孔眼里装有弹性顶块5，把上工作台往左拉，右面两个孔眼里装有压电陶 瓷组合体6、7，其端部顶在下工作台上。利用压电陶瓷的电场-压变效

21、应，使上工 作台相对于下工作台实现微小的平移或转角。转角将产生阿贝误差，故在此仅介 绍导轨的转角运动。 上工作台移动过程中在水平面 内的转角测量及校正原理如图3-6所 示。这里采用了激光小角度测量法。 在上工作台的左部装了一对角隅棱 镜。若上工作台移动过程中产生转 动，角隅棱镜3相对于角隅棱镜8的 光程差将有增大或缩小。这样根据 测得的偏差值的正负方向，通过电 子线路，使压电陶瓷5作相应的伸 长或缩短，以补偿上工作台在移动 过程中产生的转角。 图3-5 激光两坐标测量仪的工作台原理 1-底座 2-下层工作台 3-上工作台 4-滚珠轴承 5-弹性顶块 6，7-压电陶瓷组合体 图3-6转角测量及校

22、正原理 1-准直透镜组 2-全反射镜 3-角隅棱镜 4-上工作台 5-压电陶瓷 6-分光移相镜 7-光电接收器 8-角隅棱镜 3以动态准直仪为标准器的电学补偿方法以动态准直仪为标准器的电学补偿方法 以动态准直仪为标准器来跟踪测量一些高精度、数字式计量仪器导轨的直线 度误差，并把测得的误差值经电路处理后转换为相应的脉冲数，输入给计数器 或计算机进行误差补偿。其电路框图如图3-7所示。 该电路比较复杂，没有充分利用计算机的功能，补偿的自由度数单一。 能否请同学设计智能化自动补偿方案？ 图37 电学补偿方法原理框图 4 标准器工作点与被测点共线的平直度测量系统标准器工作点与被测点共线的平直度测量系统

23、 在三坐标测量机上配制标准直尺和测微表，即可作直线度测量。布莱恩提出 了一种遵守阿贝原则的结构布局。 平直度测量系统的工作点应当位于垂直于滑块移动方向的，并通过被测的平 直度的测量点的方向线上。如果这不可能，那么，或者必须使传送平直度的导轨 没有角运动，或者必须用角运动的数据计算偏移的影响。 见图3-8，图中测微表6和标准直尺5组合实现沿Z向的平直度测量，测微表15 和标准直尺12组合实现沿Y向的平直度测量。测端17即为Z向被测的平直度的测量 点。由于仪器导轨的直线度误差，Z向滑块移动时，可能有Y向的平移或在Y-Z平 面内的倾斜，由此将引起测量误差，为补偿该误差，布莱恩提出：将测端17与测 微

24、表6的测端按图3-9a）布置。如若布置为如图3-9b）所示的A1点或A2点，则不 符合上面提到的原则，起不到补偿的作用。 提示： 、 为测端17的位置； 为测微表6的测端。1 A 2 A 0 A 图3-8 平直度测量系统的结构布局 1.激光干涉仪2. 激光光路边3.测量框架4.Z轴滑块 5.标准直尺6.测微表7. 激光干涉仪8. 激光器 9. 激光干涉仪 10.仪器底座 11.测量框架12. 标准直尺 13.隔振支承14.Y轴滑块 15. 测微表16.压电晶体17.测端 图3-9 标准器工作点与被测点的相互关系 a）正确 b）不正确 思考题：如果以0点为圆心发生转动，请同学 们画图指出为什么a

25、）正确而 b）不正确？ 平直度测量的工作点可设在 、 或 。（ 与 共线，并垂直于平直度测量的移动方向）但由于 导轨误差将造成Z轴滑块发生位于纸面内的摆动， 因此，导轨摆动带来的误差将被引入到平直度测量 中，因此，增加了标准平尺和辅助测量头 ，用辅 助测量头 感受导轨摆动带来的误差，以便补偿该 误差。 当Z轴滑块的瞬间摆动点为O时，只有当平直度 测量的工作点设在 位置时，由于导轨误差引入的 测量误差 ， 为辅助测量头 感受到的导轨摆 动带来的误差。而 ，均不能有效补偿 导轨误差。 1 A 2 A 0 A 0 A 0 A 0 A 0 A 0 A 00 0 0 A 1 0 2 0 动画演示动画演示

26、 5遵守阿贝原则的传动部件遵守阿贝原则的传动部件 设计设计 阿贝原则虽然主要是针对几何 量中大量程线值测量仪器总体布 局设计的一条原则，但同样适合 各类仪器传动部件的设计。 图3-10 a）符合阿贝原则； 而图3-10 b）不符合阿贝原则。 为什么？请同学回答。 图3-10 传动部件遵守阿贝原则的设计 a）正确 b)不正确 二、变形最小原则及减小变形影响的措施二、变形最小原则及减小变形影响的措施 变形最小原则定义变形最小原则定义：应尽量避免在仪器工作过程中，因受力变化或因受温度变 化而引起的仪器结构变形或仪器状态和参数的变化。 例如：仪器承重变化 仪器结构变形 外界温度变化 仪器或传感器结构参

27、数变化，导致光电信号的零点漂移及系 统灵敏度变化。 1减小力变形影响的技术措施减小力变形影响的技术措施 要从总体设计上，或从具体的结构设计上，考虑减小或消除力变形的影响。 （1）一米激光测长机一米激光测长机底座变形的补偿底座变形的补偿 一米激光测长机结构原理：测量头架3由电动机和变速箱6通过闭合钢带7， 电磁离合器8带动在导轨上移动。工件放在工作台4上，工作台也可沿导轨移动。 固定角隅棱镜9与尾座5固结在一起。可动角隅棱镜12与测量头架3内的测量主轴11 固结在一起，测量主轴可在测量头架内作5mm的轴向移动。装在干涉仪箱体2内 的激光器13发出的激光束经反射镜后由分光镜14分为两路：一路到固定

28、角隅棱镜9； 一路到可动角隅棱镜12。这两束光在返回后发生干涉。 图3-11一米激光测长机结构原理 1底座 2干涉仪箱体 3测量头架 4工作台 5尾座 6电动机和变速 箱 7闭合钢带 8电磁离合器 9固定角隅棱镜 10尾杆 11测量主轴 12可动角隅棱镜 13激光器 14分光镜 工作时： 第一步第一步，仪器对零； 第二步第二步，放上工件，开始测量，这时底座上既增加了重量,又改变了测量头架及工 作台在底座上的位置, 底座就产生新的重力变形 如果尾座轴线相对于导轨面在垂直平面内发生5倾斜角的零位变化（见图3 12）,设尾座中心高为200mm，则此时引起的零位的变动量为 为了消除上述误差的影响,此台

29、仪器在总体布局时,采取了以下措施: 固定角隅棱镜9与尾座5固结在一起; 固定角隅棱镜9的锥顶安放在尾杆10的轴线离底座导轨面等高的同一平面内; 可动角隅棱镜12的锥顶位于测量主轴11的轴心线上(以便符合阿贝原则); 尽可能减小固定角隅棱镜9和尾杆10在水平面内的距离d。 实践证明上述结构布局可使因重力变形引起的误差大为缩小。 mmm5200 102 1 5 5 验证：验证： 图中位置 I是测量头架3对零时的位置，此时， 测量光束一路，由测量角隅棱镜到分光镜之间的距离为L1； 参考光束一路，由固定角隅棱镜到分光镜之间的距离为（Sd）。 则此两路相干光束的光程差为 （33） 11 )(2LdS 图

30、312 测量头架位置变动的原理示意图 图中位置II为测量头架在测量时的位置，此时，尾座有倾角 ，由此而引起 的尾杆零位变动量为 （见图312a），其中h为尾杆轴线离底座导轨面的 距离。 测量光束一路：由测量角隅棱镜到分光镜之间的距离为（L1 L），其中L 为被测零件长度。由于仪器布局满足上述、两个条件，故固定角隅棱镜的 位置也有一个和尾杆方向相同、大小相等的零位变动量 。 参考光束一路：由固定角隅棱镜到分光镜的距离为（Sd） 。 在测量时，两种相干光束的光程差为 （34） 式（34）减去式（33），就得到测量时和对零时两个光程差的变化量为 （35） 即光程差的变化的正好正比于被测长度L。 1

31、1 h 1 1 )(2)( 2)(2 11112 LLdSLLdS nL2 12 （2）光电光波比长仪消除力变形的结构布局）光电光波比长仪消除力变形的结构布局 为减小力变形的影响，仪器布局如下： 第一，第一，采用了工作台、床身、基座 三层结构的形式。工作台1在床身2上移 动，床身2通过三个钢球支承在基座3上， 基座则用三个支点支在地基上。钢球支 承和基座支点位置上重合。这样，工作 时，无论工作台1怎样移动，工作台及 床身的重量始终通过三个球支承作用在 基座上，即基座受到的三个垂直力只有 大小的变化，而无方向和位置的变化， 而且这三个力又通过基座底下的三个相 对应的支点直接作用在地基上。因此，

32、在工作过程中，基座变形基本稳定不变。 图313 三层结构形式的设计 1工作台 2床身 3基座 4V形槽支承面 5平支承面板 6圆锥形球窝支承面 第二，第二，在光电光波比长仪中，光电显微镜、固定参考镜和干涉系统的分光镜三 者之间的相对位置，要求严格保持不变。因此布局上把这三者都装在与基座相 连的构件上。由于基座变形稳定不变，故这三者之间相对位置也保持稳定不变。 从而保证了测量精度。 第三，第三，前面提到，床身2是通过三个钢球支承在基座3上的。这三个钢球的支承， 其支承座结构各不相同。一个支承座是平支承面5（布置在后面），前面两边的 两个，其中一个是圆锥形球窝支承面6，另一个是V形槽支承面4。V形

33、槽的方向 与基座纵方向相平行。采用这种支承座结构后，床身一经放到基座上，就符合 定位原则。这时，床身在纵向、横向及转角方向均无需再加诸如螺钉、夹板等 的限制，避免产生不良的约束所带来的附加内应力。此外，如果温度有所变化， 这种结构也并不限制床身相对于基座的自由伸缩，所以也不会因热变形而带来 内应力。这种设计，既能自动定位，又无附加内应力，在有些资料中，把它称 之为无附加内应力的自动定位设计，或称为符合运动学原理的设计。作为一种 设计原理，在仪器设计中应用很广。 2减小热变形影响的技术措施减小热变形影响的技术措施 减小热变形影响的技术措施有： 采用恒温条件，以减小温度变化量 ； 选择合适的材料，

34、以减小线膨胀的影响，或选用线胀系数相反的材料在某些 敏感环节上进行补偿； 采用补偿法补偿温度变化的影响，如测出被测件与标准件的温度 和 ，查 得被测件与标准件的线胀系数 与 ，则温度误差的修正公式为 （3-6） 式中，L为被测件的标准长度。 也可采用实时补偿法，例如：也可采用实时补偿法，例如： t 1 t 2 t 1 2 )20()20( 0 22 0 11 CtCtLL 1)如丝杠动态测量仪，由于温度的影响，被测丝杠将伸长或缩短，此外，当 环境温度、气压、湿度偏离标准状态时，激光波长也将发生变化，这些都将带 来测量误差。因此，可以采用在激光一路信号中增减脉冲数的办法来进行补偿 的方案。在补偿

35、时， 先测出环境的温度、气压和湿度， 再计算出每米需累积补偿量 ， 再计算每米补偿量的脉冲数 ，1m长度内的激光脉冲数 为 ，则每隔 脉冲，对激光一路增减一个脉冲信号。 N)2/( )2/(101 6 M/101/ 6 NM 图314 分频补偿原理 1分频器 2补偿器 3与门 2) 扩散硅压力传感器零点温漂的补偿 扩散硅压力传感器是在硅材料的基片上，用集成电路的工艺制成扩散电阻并 组成桥路。由于采用了半导体材料的扩散技术，不可避免地产生了如下问题： 扩散电阻的离散性很大，桥路的四个电桥臂阻值R1R2R3R4； 扩散电阻的各个电阻温度系数不等，即 ； 扩散电阻随温度的非线性变化。因此，将产生严重

36、的各不相同的零点温度漂 移和灵敏度温度漂移。 为了解决扩散硅压力传感器零点温度漂移的补偿，提出了串并联、双并 联、双串联等几种补偿方案，下面以串并联为例，叙述其补偿原理。 （1） 桥路的平衡条件桥路的平衡条件 图3-15为四个扩散电阻所组成的桥路 若使桥路在所要求的温度点和温度变化 后均能平衡，则平衡条件应有二个， 即 （3-7） （3-8） 式中， 、 、 、 为在所要求温度点的电阻 、 、 、 的阻值 t 4321 R RR R 10402030 aaaa 1423 10 R 20 R 30 R 40 R 1 R 2 R 3 R 4 R 图315 电阻式桥路 图316 电阻的串联或并联形式

37、 a) 串联形式 b）并联形式 即并联后亦能降低其电阻温度系数。即并联后亦能降低其电阻温度系数。 得 可见 ，即串联电阻后其电阻温度系数降低。 a R RR a s aa s R R R RRRs s RtaRtaR)1 ()1 ( R （2） 串、并联电阻对电阻温度系数的影响。串、并联电阻对电阻温度系数的影响。 在电阻为 的扩散电阻上串联电阻 。设串联后的等效电阻温度系数为 ，等 效电阻为 ， 的电阻温度系数为 。如图3-16a，则有： 在扩散电阻上并联电阻 。如图3-16b所示，并联后其等效电阻为： p R 即 p p RtaR RtaR taR )1 ( )1 ( )1 ( 得 tRaR

38、R aR a p p 因 RRRa t p R RR RR p p 故 a R a RR p p 可见 aa RRR a R RR a s s 1010 1 10 10 1 桥臂2上的等效电阻和等效温度系数分别为： 2 20 2 20 20 20 a RR R a RR RR R p p p p （39） （310） （3） 串并联电阻补偿原理串并联电阻补偿原理 见图3-17，在 上串联 ，在 上并联 。这样， 桥臂1上的等效电阻和等效温度系数分别为 p R 1 R s R 2 R 将式（3-9）、式（3-10）代入电桥平衡公式（3-7）及（3-8），得： （311） （312） 令 ，故 （

39、313） ()RRRR R R RR s p p 10402030 20 0 0 3 20 24 10 10 1 a RR R aa RR R a p p s K R RR p p 20 RR K K p 20 1 图317 串并联电阻补偿原理 p R s R 又由式（3-11）得 （3-14） 将式（3-13）、（3-14）代入式（3-12），解得 由K的定义知K0，故取上式根号前的正值得 （3-15） 在此，将桥路的各电阻和 值代入(3-15)便可求得K值，再将K值代入式（3- 13）、式（3-14）就可以求出 和 。这样求出的 和 值能够同时满足式（3- 11）和式（3-12），也就是说

40、在有温度变化时，电桥总是处在平衡的条件下，这就 达到了补偿温度漂移的目的。 R R R R KR s 2030 40 10 K aa a aa a R R R R a a 43 2 43 2 2 1040 2030 1 2 22 K aa a aa a R R R R a a 43 2 43 2 2 1040 2030 1 2 22 p R s R 三、测量链最短原则三、测量链最短原则 测量链定义：仪器中直接感受标准量和被测量的有关元件，如被测件、标 准件、感受元件、定位元件等均属于测量链。 在精密测量仪器中，根据各环节对仪器精度影响程度的不同，可将仪器中的 结构环节区分为测量链、放大指示链和

41、辅助链三类。 测量链的误差对仪器精度的影响最大，一般都是1:1影响测量结果。因此，对 测量链各环节的精度要求应最高。 因此测量链最短原则显然指一台仪器中测量链环节的构件数目应最少，即测 量链应最短。因此，测量链最短原则作为一条设计原则要求设计者予以遵守。 四、四、 坐标系统一原则坐标系统一原则 以上设计原则，一般都是从某台仪器总体出发考虑的。而坐标系统一原则,则 是对仪器群体之间的位置关系,相互依赖关系来说的,或主要是针对仪器中的零件 设计及部件装配要求来说的。 对零部件设计来说，对零部件设计来说，这条原则是指：在设计零件时，应该使零件的设计基面、 工艺基面和测量基面一致起来，符合这个原则，才

42、能使工艺上或测量上能够较经 济地获得规定的精度要求而避免附加的误差。 例如，图318所示的零件，两个直径d1及d2的设计基面及工艺基面均为中 心线OO。在测量时，若用顶尖支承进行（见图3-18），则测量基准和设计基 准、工艺基准重合，此时能真正地反映d2的圆柱度等加工误差。但若以d1的外 圆柱面为测量基准时（见图3-19），则d1的形状误差也就反映到测量结果中， 带来附加的测量误差。 图318 顶尖支承法测径向圆心晃动 图319 V形支承法测径向圆心晃动 对仪器群体之间（主系统与子系统之间）的位置关系对仪器群体之间（主系统与子系统之间）的位置关系,相互依赖关系相互依赖关系 来说来说, 这条原则

43、是指：在设计某台仪器或其中的组成部件时，应考虑到该仪器或 该部件的坐标系统在主坐标系统中的转换关系与实现转换的方法。较复杂的测控 系统，常常由机械系统、光学系统和光电变换部分组成；有时一个复杂的测控系 统往往由几个子系统共同来完成同一个测量任务。这时应将各个子系统的坐标都 应统一起来，统一到表征被测件位置的主坐标系中，即在设计中要考虑各子坐标 系与主坐标系的转换关系，否则会带来测量结果的混乱。 图3-20所示为刀具预调仪的结构原理图，该仪器用于测量刀具的刀尖部分参数， 主要有刀柄长度和刀尖的旋转半径（见图3-21）。 其工作原理是：其工作原理是： 图3-20 数控加工设备用刀具预调仪 1-工作

44、台 2-床身（含X向导轨） 3-被测刀具 4-计算机监视器 5-CCD摄像头 6-立柱（含Z向导轨） 7-Z向滑架 8-光源 图321 数控加工用刀具 1-莫氏锥柄 2-刀尖 3-刀柄 T z x R Z X 式中， 为坐标转换的转角系数； 为坐标转换的平移系数。 经过转换，作到了两个坐标系统的基准统一。 RT 五、精度匹配原则五、精度匹配原则 在对仪器进行精度分析的基础上，根据仪器中各部分各环节对仪器精度影 响程度的不同，分别对各部分各环节提出不同的精度要求和恰当的精度分配， 这就是精度匹配原则。 刀具预调仪的主坐标系为 ，立柱6构成Z向坐标，并沿X向导轨位移 Z向滑架7上的CCD成像系统（

45、包括摄像头5和光源8）完成对刀尖的瞄准，刀尖 的尺寸和形状则由CCD光敏面子坐标系坐标 来确定。 为了正确给出刀尖的尺寸和形状坐标，必须将 确定的刀尖像坐标与主 坐标统一起来。即通过坐标转换矩阵将像坐标系转换到主坐标系中。通过标定 可以找到 坐标系相对 坐标系的转角转换系数 和坐标平移系数 ，则 zox XOZ zox zoxXOZ RT 六、经济原则六、经济原则 经济原则是一切工作都要遵守的一条基本而重要的原则。经济原则反映 到测控仪器的设计之中，可从以下几方面来考虑： 1）工艺性。选择正确的加工工艺和装配工艺，从而达到节省工时，节约能 源，不但易于组织生产，而且降低管理费用。 2）合理的精

46、度要求。精度的高低，决定了成本的高低。因此各环节则应根 据不同的要求分配不同的精度。 3）合理选材。合理选材是仪器设计中的重要环节之一，从减小磨损、减小 热变形、减小力变形、提高刚度及满足许多物理性能上来说，都离不开材料 性能。而材料的成本又差价很大，因此合理选材是至关重要的一条。 4）合理的调整环节。设计合理的调整环节，往往可以降低仪器零部件的精 度要求，达到降低仪器成本的目的。 5）提高仪器寿命。为提高仪器寿命要对电气元件进行老化和筛选；对机械 零部件中的易损系统采用更合理的结构型式。虽然这两方面的改进会使成本 增加，但如果仪器寿命延长一倍，等于使仪器价格降低了一半。 硬件、软件协调优化设

47、计原则 传统设计方法的局限性：传统设计方法的局限性： 过去的嵌入式系统硬件部分设计相对于软件部分来说更容易，系统开发主要是在 目标电路板上进行编程和交叉调试，所以那时的嵌入式系统开发很大精力都放在 软件上，通常认为只要软件开发质量能够很好地保证，就可以很好地满足整个系 统的功能和性能需求。传统的嵌入式系统设计流程如图1-1所示。系统软件和硬件 划分完成以后，首先进行硬件子系统的设计与实现，再进行软件子系统的设计与 实现，因此整个系统的设计与实现过程基本上是一个串行过程。 软硬件设计原则 过去的嵌入式系统硬件部分设计相对于软件部分来说更容易，系 统开发主要是在目标电路板上进行编程和交叉调试，所以

48、那时的嵌 入式系统开发很大精力都放在软件上，通常认为只要软件开发质量 能够很好地保证，就可以很好地满足整个系统的功能和性能需求。 传统的嵌入式系统设计流程如图1-1所示。系统软件和硬件划分完 成以后，首先进行硬件子系统的设计与实现，再进行软件子系统的 设计与实现，因此整个系统的设计与实现过程基本上是一个串行过 程。 随着微电子技术的飞速发展，硬件的集成度越来越高，嵌入式产 品大量采用soc技术，使得传统的嵌入式系统开发方法逐渐暴露出 很多不足之处：软件和硬件的开发过程割裂、缺乏沟通；设计自动 化层次低；设计过程串行化增加了设计周期；缺乏设计重用支持。 软硬件系统设计原则 软硬件设计原则 针对嵌

49、入式系统Soc设计面临的问题与挑战 ，研究者们开始探索新的设计方法学软硬件协同设计 (Hardware/Software Co-Design)方法学。软硬件协同设计方 法学的研究始于90年代初期，第一届International Workshop on Hardware/Software Codesign会议于1993年召开，它标 志着软硬件协同设计方法学的研究正式展开，软硬件协同设 计领域正式确立。软硬件协同设计不仅是一种设计技术，同 时也是种新的设计方法学，其核心问题是协调软件子系统和 硬件子系统。与传统的嵌入式系统设计方法不同，软硬件协 同设计强调软件和硬件设计开发的并行性和相互反馈，如

50、图 1-3所示，克服了传统方法中把软件和硬件分开设计所带来的 种软硬件设计原则 种弊端，协调软件和硬件之间的制约关系，达到系统高效 工作的目的，软硬件协同设计提高了设计抽象的层次，拓 展了设计覆盖的范围。与此同时，软硬件协同设计强调利 用现有资源(已经过验证的IP核和软件构件)，缩短系统开 发周期，降低系统成本，提高系统性能，保证系统开发质 量，适应Soc设计。Soc软硬件协同设计研究目前还处于 发展阶段许多技术仍未成熟和实用化，但是该技术将给嵌 入式系统设计带来革命性的变化，能够 极大地提高设计生产力，研究意义重大。 软硬件设计原则 软硬件协同设计的目的就是找到一种最优化的软硬件比例结构以

51、实现系统规范，同时满足系统速度、面积、功耗、灵活性等要求。 软硬件协同设计是一种自顶向下、自底向上的设计方法。具体流 程如图1-4所示，在系统行为描述阶段，系统将被以最直接的方 式描述出来。此时不涉及任何有关系统如何实现的问题，指描述 系统外在的行为表现，更不涉及哪些是硬件、哪些是软件。在这 个阶段，需要对整个系统的行为进行验证，以期在设计的开始阶 段就发现系统行为要求中的错误。之后，要对系统行为描述进行 功能划分。将系统划分为互连的模块，每个模块都执行功能相对 独立的特定行为，并确定模块的互连关系和接口标准，完成系统 的结构模型描述。同样在完成系统的结构描述后，也需要进行验 证，以确认结构描

52、述与行为描述的一致。 软硬件划分在结构描述完成后进行，以确定各个部分由软件或硬 件实现。更重要的是，在进行完软硬件划分后，要对系统的性能 、灵活性等参数进行预测，以评估软硬件划分，甚至功能划分的 合理性。 软硬件设计原则 如果划分不合理，就需要重新进行软硬件划分或功能划分，再进行 评估。如此反复，直至获得最优的解决方案。 在完成软硬件划分之后，就可以对各个模块进行细化、综合 (Synthesis)，直至虚拟器件原型(包括软件)。在整个细化过程中， 应多次进行软硬件的协同验证(Verification)7，以及时发现细 化中的错误。 在到达器件原型级后，需要对各硬件原型进行映射(mapping)，完 成最终的实现。对已经由厂商提供IP的器件，可直接进行例化 ；对自己设计的器件，还要进一步进行综合、布图等工作。值得 注意的是有些厂商提供较高层次的IP，这样，在较高的层次上就 可以用IP替代原型。 在整个设计完毕之前还要对设计进行底层