6009弹性薄板气浮垫的研抛工艺和研抛机结构设计

1、摘要随着精密、超精密技术的发展日益进步,机器及检测仪器等的精度要求越来越高,对气浮垫的制造精度也提出更高的要求。目前,由于气浮垫精密加工技术的研究还不够深入,因此,研究气浮垫的精密制造技术是气浮垫领域函须解决的课题。针对研磨抛光过程，本文深入研究了磨料种类、粒度、抛光液溶剂、研抛压力、研抛加工时间等因素对加工表面粗糙度的影响。根据气浮垫研磨设备对研磨工艺的要求，本文设计了一种专门的研磨机，并对研磨机的各个部分进行分析和说明，并对部分零件进行验证和校核。关键词：气浮垫；研磨；抛光；机械结构abstractwith the development of precision and ultra-pr

2、ecise technology, the accuracy of the machinery and the detecting instrument become higher, the production accuracy of cushion needed also more higher. at present, the research about the cushion precision finishing technology is not enough. so how to enhance the accuracy it is one of needing to reso

3、lve problem of the research area of the floatation cushion.on the surface roughness effects of abrasive type, grain size, polishing liquid solvents, polishing pressure, polishing machining time and so on, are researched in-depth for the process of mechanical polishing. according to gas floating pad

4、grinding equipment requirement for grinding process, this paper designed a kind of special grinding machine, and analyze the various parts of the grinding machine and instructions, and to verify and check parts.keywords ：gas floating cushion; grinding; polishing; the mechanical structure气浮垫的研抛工艺及研抛机

5、结构设计前言研究背景及意义 近年来，功能陶瓷、石英晶片、平面或多面体晶体和光学器件等硬脆材料的精密加工提出了很高要求，不仅要求这些材料有极小的平面度、极小的表面粗糙度、超平滑的表面1-3，还要求材料两端面严格平行、无晶向误差、表面无变质层等，有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量，由于研磨抛光技术可以获得很高的精度和超光滑表面，上述的材料均需采用精密研磨抛光技术3-8。利用研抛工具的亚口径机械式研抛是目前加工创成复杂光学曲面主要方法，但无论是在创成原理还是在加工装置上，都存在着难以逾越的固有缺陷。目前，许多研究主要是针对回转对称非球面光学零件的加工技术及装备。 对于有复杂

6、几何特征的光学曲面，研抛去除量总是非均匀变化的。这使得研抛工具与被加工工件之间的变形不一致。难以获得均匀一致的面形精度研抛工具去除工件材料所形成的加工表面残高也总是非均匀变化的9-11。因而难以获得均匀一致的加工表面。质量为了使所获得加工表面质量和面形精度满足加工要求，同时机构的设计简单实用性能可靠势，必将增加研抛加工时间降低研抛加工效率。研磨和抛光硬脆材料去除机理比较复杂，硬脆材料的表面完整性、亚表面层损伤、零件几何形状受很多因素的影响12-15。研磨和抛光加工工艺参数成为欧美各大企业的机密，而且针对不同材料以及不同设备，其参数变化非常大，使其难以复制和模仿16-19。目前，我国高档次精密研

7、磨设备设计制造水平不高，国外对高档次精密加工工艺严格保密，这严重制约了我国精密加工技术的发展。为了加强我国精密研磨、抛光技术的发展，除了开发拥有自主产权的精密研磨抛光设备之外，研磨、抛光加工工艺也成为了研究重点20-23。气浮垫研磨抛光机理 气浮垫压力产生的原理:利用压缩气体的粘性,提高工作间隙中气体的压力从而将物体悬浮起来。如图所示,气浮垫可以分为三种:动压型,静压型和压膜型。如图(a)所示,动压气浮垫是两个面相对移动,且间隙呈楔状,沿移动方向间隙逐渐变小。由于相对移动,气体因其粘性作用,被拖带压入楔形间隙中,从而产生压力,构成动压悬浮。如图(b)所示,静压型气浮垫是将外部的压缩气体通过节流

8、器导入间隙中,借助其静压使之悬浮起来。节流器的作用是当间隙变化时,调整间隙内的压力,从而使气浮垫具有一定的刚度。如图(c)所示,压膜型气浮垫利用了相互接触的面沿垂直方向的振动,使间隙内的压力的平均值高于周围环境压力这一原理。由于气体具有粘性,间隙内的气体不能快速出入,从而压力增高。例如,让一块玻璃板平行地落在一块平滑的板上时,玻璃板会轻轻地落下,从这一现象,就能够理解压膜气浮垫的原理。 图.气浮垫的工作原理在上述结构的气浮垫形式中,动压型和静压型得到更加广泛的应用。在气浮垫实际设计中,气浮垫的节流方式也不同。分别利用喷嘴、毛细管、缝隙的阻抗起到供气孔节流的作用,而固有孔节流器是由供气孔和气浮垫

9、间隙所形成的假想圆柱面起到节流器的作用。表面节流器是在气浮垫面上设置与供气孔连同的极浅的沟槽,沟槽的阻抗就构成了节流。多孔质节流器是气浮垫的承载面采用了具有透气性的多孔质材料,多孔质材料的阻抗起到了供气孔节流器的作用。传统的研磨一般利用铸铁研磨盘，采用手工实现无规则的运动或靠机床实现模模拟手工的运动轨迹。传统的抛光一般利用沥青、聚氯乙烯和无纺布等抛光盘，采用摆动、行星运动和环行运动等运动方式。研磨和抛光都是根据不同的加工条件涂敷不同的磨料，工件至于研磨盘或抛光垫上，用夹具装夹工件并对工件施加一定的压力，通过机床的主轴带动磨盘转动，利用磨盘和工件间的相对运动和磨料的切削作用从工件表面去除一层很薄

10、的材料，从而达到加工的目的，加工示意图如图12所示。图研磨抛光示意图按照磨料的附着方式，研磨抛光方法可以分为两种：固结磨料研抛和游离磨料研抛。固结磨料研磨工件主要以耕犁方式去除材料，具有加工效率高、成本低等优点，但研磨工具磨损大，容易在工件上留下划痕，难以得到无损伤表面；游离磨料研磨抛光工件是利用磨料颗粒在研磨盘和工件之间对工件表面滚压，使工件表面产生微小破碎这种方式来去除材料，能获得无损伤平滑表面。研磨抛光加工工艺磨料的选取 磨料一是研磨加工的“刀具”,在加工中的起着切削作用。因此,首先磨料一要有较高的硬度,这是其磨削作用的关键所在,一般情况下磨料硬度大于被磨削工件硬度,再次要具有良好的韧性

11、,保证和其他刃具一样变钝后能够自锐。同时磨料的形状和粒度应该均匀,这由研磨抛光加工的特殊性所决定的,另外还要有高温稳定性和化学稳定性,这样在加工的过程中保持自身的优良机械和化学性能。 磨料的粒度也是一个很关键的因素,一般磨料的粒度指磨料的粗细程度。在相关的标准中都有规定,磨料的粗细用粒度表示,粒度号数越大,颗粒越小。粗颗粒用于粗加工。研磨液的选取此处省略xxxxxxxxxx。如需完整文档，请联系发布者账号中的企鹅号75，免费赠送文档，配套相关图纸、源文件可以咨询购买。第二章 气浮垫抛研机结构设计气浮垫抛研机的结构总体设计平面研磨机为精密研磨抛光设备，被研磨、抛光材料放在研磨盘上，研磨盘逆时钟旋

12、转，修正轮带动工件盘自转，重力加压的方式对工件施加压力，工件盘与研磨盘作相对摩擦运动来达到加工的效果。图为本设计初步设计的平面研抛机原有的结构示意图。其工作原理是研磨盘由电机通过减速机构带动旋转，研磨盘上有三个加工工位，并在工件盘上放置加载砝码，这样研磨盘在旋转，由于摩擦力矩的作用带动工件盘的也在旋转，在砝码加压的情况下两者的相互转动摩擦起到材料去除的作用，达到研磨的效果。 图抛研机结构总体设计气浮转台的设计在精密研磨抛光加工工艺中,离不开研磨盘的存在,研磨盘是加工的场所,几乎所有的研磨抛光加工都是在研磨抛光盘上进行的,对于研抛盘的选择也至关重要。在加工中,磨料对被加工件进行磨削,同时研磨盘也

13、同样在受到磨损。研磨抛光盘自身的精度对气浮垫的表面精度影响很大,甚至会把这种精度关系“复印”到气浮垫表面上,故要求研磨盘的加工面要有较高的几何精度。气浮转台主要包括直流力矩电机。气浮轴承以及轴承所需要的供气系统等组成。气浮转台的各部件在设计时考虑了结构对称性原则，以提高转台轴系回转时的平稳性。转台轴系选用气浮轴承支承轴系上，同轴安装进口无刷直流力矩电机作为直接驱动元件，转台部件在设计制造时力求在形状尺寸和质量分布上对各自的正交坐标平面对称。并且要求在满足结构件强度和刚度的前提下同时力求内环轴系质量最小尽量减小轴系转动惯量，气浮转台利用多孔喷射气浮垫产生静压 支撑待研抛工件由于采用多孔喷射技术，

14、 平台表面压力分布均匀， 具有承载能力强刚度好抗气振等优点 。主要应用于精密测量和超精加工等精密气浮转台如图所示。图 精密气浮垫床气浮转台中的核心部件就是气浮轴承气浮轴承，又称为空气轴承，指的是用气体。通常是空气，但也有可能是其它气体。作为润滑剂的滑动轴承空气轴承消除了由摩擦力引起的阻力。磨损提供了极高的径向和轴向旋转精度由于旋转的转子和静态支撑部分之间没有机械接触，磨损程度降到了最低，从而确保精度始终保持稳定，空气轴承内部的低剪切力能够在提供极高转速的同时，将动力损失降到最低，使产生的热量非常小并能同时保持较低的振动水平。在高精度和高速领域上优势十分明显.气浮垫研磨机传动机构设计 本设计所设

15、计的电动机到研磨台的传动才用链传动。链传动具有带传动和啮合传动的一些特点，其优点是：链传动没有弹性滑动和打滑，能保持准确的平均传动比；传动尺寸比较紧凑；不需要很大的张紧力，作用在轴上的载荷较小；承载能力大；效率高（=）。同时；链传动能吸振与缓和冲击，结构简单，加工成本低廉，安装精度要求低，适合较大中心距的传动，并能在温度较高、湿度较大、油污较重等恶劣环境中工作。链传动的缺点是：高速运转时不够平稳；传动中有冲击和噪声；不宜在载荷变化很大和急促反向的传动中使用；只能用于平行轴间的传动；安装精度和制造费用比带传动高。 图 链传动figure chain链传动的适用场合：广泛应用于中心距较大、多轴、平

16、均传动比要求准确的传动。环境恶劣的开式传动、低速重载传动及润滑良好的高速传动，均可采用链传动。滚子链传递的功率通常在100kw以下，链速在15m/s以下，传动比i=7。目前其最大传递功率可达500kw，最高中心距可达8m。综合分析各种传动方案，从传动效率、传动比、传动速度、制造成本和安装精度、传动装置外廓尺寸等方面综合考虑，本设计课题的传动方案采用链传动。 选用电动机 电动机的容量（功率）选得是否合适，对电动机的工作和经济性都有影响。当容量小于工作要求时，电动机不能保证工作装置的正常工作，或电动机因长期过载而过早损坏；容量过大则电动机的价格高，能量不能充分利用，且因经常不在满载下运动，其效率和

17、功率因数都较低，造成浪费。根据机械设计1取 磨台质量： 工件所受重力： 满载时每个托轮所受切向力： 磨台线速度： 磨台所需功率： 查表得： 电动机至磨台的总效率 电动机所需功率所以选用电动机额定功率综上所述，电动机可选用ytc系列齿轮减速三相异步电动机，根据额定功率选用ytc502型。第三章 机械传动件的设计计算 链传动的设计与计算 链轮传动的示意图如下图。图 链传动 链条的设计与计算1.选择链轮齿数取小链轮齿数则大链轮齿数，取2.确定计算功率查表得为工况系数，为齿数系数，3.选择链条型号和节距根据查表3可选16a型滚子链，链条节距为p4.计算链节数和中心距初选中心距：，取p链条节数：，其中

18、取 （取偶）最大中心距为：，查表实际中心距为：,一般5.计算链条速度 有效圆周力为： 作用在轴上的力f为压轴力系数，对于水平传动 主要失效形式a）链的疲劳破坏 链在运动过程中，其上的各个元件都在变应力作用下工作，经过一定的循环次数后，链板将会因疲劳而断裂；套筒、滚子表面将会因冲击而出现疲劳点蚀。因此，链条的疲劳强度就成为决定链传动承载能力的主要因素。b）链条铰链的磨损 链条在工作过程中，铰链中的销轴与套筒间不仅承受较大的压力，而且还有相对转动，导致铰链磨损，其结果使链节距增大，链条总长度增加，从而使链的松边垂度发生变化，同时增大了运动的不均匀性和动载荷，引起跳齿。c) 链条铰链的胶合 当链速较

19、高时，链节受到的冲击增大，铰链中的销轴和套筒在高压下直接接触，同时二者相对转动产生摩擦热，从而导致胶合。因此，胶合在一定程度上限制了链传动的极限转速。d）链条的静力破坏 当链速较低时，如果链条负载不增加而变形持续增加，即认为链条正在被破坏。导致链条变形持续增加的最小负载将限制链条能够承受的最大载荷。 滚子链的静强度计算在低速（）重载链传动中，链条的静强度占主要地位。如果仍用额定功率曲线选择计算，结果常不经济，因为额定功率曲线上各点相应的条件性安全系数s为820，远比静强度安全系数大。当进行耐疲劳和耐磨损工作能力计算时，若要求的使命寿命过短，传动功率过大，也需进行链条的静强度验算。链条静强度计算

20、公式为 式中 为静强度安全系数；为排数系数； 为工况系数； 为有效圆周力；,并查表得，所以为许用安全系数，一般为4-8；如果按最大尖峰载荷来代替进行计算，则可为3-6； 所以满足要求 链轮基本参数和主要尺寸链轮齿数 配用链条的节距 配用链条的滚子外径 小链轮分度圆直径 小链轮齿顶圆直径 取小链轮齿根圆直径 大链轮分度圆直径 大链轮齿顶圆直径 取大链轮齿根圆直径 链轮齿宽 查表得 , 为内链节内宽所以 图 齿形 滚子链传动的故障与维修表 滚子链传动的故障与维修故障原因维修措施链板或链轮齿严重侧磨1.各链轮不共面2.链轮端面跳动严重3.链轮支承刚度差4.链条扭曲严重1.提高加工与安装精度2.提高支

21、承件刚度3.更换合格链条链板早期疲劳开裂润滑条件良好的中低速链传动，链板的疲劳是主要矛盾，但若过早失效则有问题：1.链条规格选择不当2.链条品质差3.动力源或负载动载荷大1.重新选用合适规格的链条2.更换质量合格的链条3控制或减弱负载和动力源的冲击振动滚子提前碎裂1.链轮转速较高而链条规格选择不当2.链轮齿沟有杂物或链条磨损严重发生爬齿和滚子被挤顶现象3.链条质量差销轴磨损或销轴与套筒胶合链条铰链元件的磨损是最常见的现象之一。正常磨损是一个缓慢发展的过程。如果发展过快则1.润滑不良2.链条质量差或选用不当1.清除齿沟杂物或换新链条2.更换质量合格的链条。续表故障原因维修措施外链节外侧擦伤1.链

22、条未张紧，发生跳动，从而与邻近物体碰撞2.链箱变形或内有杂物1.使链条适当张紧2.消除箱体变形、清除杂物链条跳齿或抖动1.链条磨损伸长，使节距和垂度过大2.冲击或脉动载荷较重3.链轮齿磨损严重1.更换链条或链轮2.适当张紧3.采取措施稳定载荷链轮齿磨损严重1.润滑不良2.链轮材质较差，齿面硬度不足1.改善润滑条件2.提高链轮材质和齿面硬度3.把链轮拆下，翻转180再装上，则可利用齿廓的另一侧而延长使用寿命卡簧、开口销等链条锁止元件松脱1.链条抖动过烈2.有障碍物磕碰3.锁止元件安装不当1.适当张紧或考虑增设导板托板2.消除障碍物3.改善锁止件安装质量振动剧烈、噪声过大1.链轮不共面2.松边垂度

23、不合适3.润滑不良4.链箱或支承松动5.链条或链轮磨损严重1.改善链轮安装质量2.适当张紧3改善润滑条件4.消除链箱或支承松动5.更换链条或链轮6.加装张紧装置或防振导板 根据以上链传动的滚子链传动的故障与维修，当链传动出现故障时，可以根据以上的内容来对链轮传动进行调整，从而达到链轮传动的最佳效果。4轴的设计及计算 轴的材料应用于轴的材料种类很多，主要根据轴的使用条件，对轴的强度、刚度和其他机械性能等的要求，采用的热处理方式，同时考虑制造加工工艺，并力求经济合理来选择轴的材料。轴的常用材料是优质碳素钢，如35、45和50，其中以45号钢最为常用。根据本设计的要求，选45号钢作材料。 轴的结构设

24、计轴的结构设计是确定轴的合理外形和全部结构尺寸，为轴设计的重要步骤。一般轴的结构设计原则：a）节约材料，减轻重量，尽量采用等强度外形尺寸或大的截面系数的截面形状；b）易于轴上零件的精确定位、稳固、装配、拆卸、和调整；c）采用各种减少应力集中和提高强度的结构措施；d）便于加工制造和保证精度。由材料力学可知，轴的扭转强度4条件为 式中 为轴的扭转切应力，单位为; 为轴所受的扭矩，单位为; 为轴传递的功率，单位为； 为轴的转速，单位为; 为轴的抗扭截面系数，单位为； 为许用扭转切应力，单位为。由此推得实心圆轴的基本直径为： 式中为计算常数，取决于轴的材料和受载情况，查表知，45号钢的c的范围为，取

25、所以 当轴段上开有键槽时，应适当增大轴径以考虑键槽对轴的强度的削弱：单键槽增大3%，双键槽增大7%，然后将轴径圆整。综合以上取，轴的结构设计如下图：图 主轴 轴上键的校核 根据轴和链轮配合的要求，初选平键a ，对于采用常见的材料组合和按标准选取尺寸的普通平键连接（静连接），其主要失效形式是工作面被压溃。除非有严重过载，一般不会出现键的剪断。因此，通常按工作面上的压力进行条件性的强度校核计算。假定载荷在键的工作面上均匀分布，普通平键连接的强度条件为 （5-18）式中：t传递的转矩，；k键与轮毂键槽的接触高度，此处h为键的高度，mm；l键的工作长度，mm，圆头平键，这里l为键的公称长度，mm，b为

26、键的宽度，mm；d轴的直径，mm；p键、轴、轮毂三者中最弱材料的许用挤压应力。在轴上传递的转矩为电动机的输出转矩 （5-19）键与轮毂键槽的接触高度 键的工作长度 轴的直径 由机械设计表6-2，选择代入公式（5-18）：满足条件。转向箱输出端键的校核结构与电动机轴端结构相似，选择 平键a 10*10*28计算公式与上式相同传递的转矩 键与轮毂键槽的解除高度 键的工作长度 l=24mm。轴的直径 代入公式（5-18）：满足条件。5 轴承的选择和润滑 轴承的选择选择滚动轴承的类型与多种因素有关，通常根据下列几个主要因素：a.负荷情况 负荷是选择轴承最主要的依据，通常应根据负荷的大小，方向和性质来选

27、择轴承。a)负荷大小：一般情况下，滚子轴承由于是线接触，承载能力大，适用于承受较大负荷，球轴承由于是点接触，承载能力小，适用于轻，中等负荷。b)负荷方向：纯径向力作用，宜选用深沟球轴承，圆柱滚子轴承或滚针轴承。纯轴向负荷作用，选用推力球轴承或推力滚子轴承。径向负荷和轴向负荷联合作用时，一般选用角接触球轴承或圆锥滚子轴承。若径向负荷较大而轴向负荷较小时，也可选用深沟球轴承和内外圈都有挡边的圆柱滚子轴承。若轴向负荷较大而径向负荷小时，可选用推力角接触轴承，推力圆锥滚子轴承。c)负荷性质：有冲击负荷时，宜选用滚子轴承。b.高速性能 球轴承比滚子轴承有较高的极限转速，故高速时应优先考虑选用球轴承。在相

28、同内径时，外径越小，滚动体越轻小，运转时滚动体作用在外圈上的离心力也越小，因此更适合于较高转速下工作。在一定条件下，工作转速较高时宜选用超轻，特轻系列的轴承。c.调心性能 当轴两端轴承孔同心性差或轴的刚度小，变形较大，以及多支点轴，均要求轴承调心性好，这时应选用调心球轴承或调心滚子轴承。d.允许的空间 径向尺寸受限制的机械装置，可选用滚针轴承或特轻，超轻型轴承；轴向尺寸受限制时，宜选用窄或宽系列的轴承。e.安装与拆卸方便 整体式轴承座或频繁装拆时，应优先选用内外圈可分离的轴承。轴承装在长轴上时，为装拆方便可选用带锥孔和紧定套的轴承。根据以上所述及本设计的具体要求，选用调心球轴承。 轴承的润滑轴

29、承润滑主要目的是减少摩擦和磨损，同时起到冷却，吸振，防锈及降噪的作用。常用的润滑剂有润滑油，润滑脂及固体润滑剂(二硫化钼)。选择润滑剂应当考虑工作温度，轴承负荷，转速及其工作环境影响。一般来说，温度高，负荷大，转速低时选用粘度高的润滑剂。润滑油选择：常用的润滑油有-机械油，高速机械油，汽轮机油，压缩机油，变压器油，汽缸油等等。一般而言，轴承转速越高，则选用较低粘度的润滑油。负荷越重，则选用粘度较高的润滑油。润滑方法有：油浴润滑，循环油润滑，喷油润滑及油雾润滑。选择润滑油或润滑脂的一般原则如表：表 选择润滑油或脂润滑的一般原则影响选择的因素用润滑脂用润滑油温度当温度超过120时，要用特殊润滑脂。

30、当温度升高到200-220时，再润滑的时间间隔要缩短油池温度超过90或轴承温度超过200时，可采用特殊的润滑油温度系数400000400000500000载荷低到中等各种载荷直到最大轴承形式不用于不对称的球面滚子推力轴承用于各种轴承壳体设计较简单需要较复杂的密封和供油装置长时间不需维护的地方可用。根据操作条件，特别要考虑工作温度不可以用集中供油选用泵送性能好的润滑脂。不能有效地传热，也不能作为液压介质可用最低转矩损失如填装适当，比采用油的损失还要低为了获得最低功率损失，应采用有清洗泵或油雾装置的循环系统污染条件可用。正确的设计可防止污染物的侵入可用。但要采用有防护、过滤装置的循环系统结论我本次

31、的毕业设计选题新颖，涉及知识面广，包括气浮垫研磨机的总体结构设计、轴承的选用、电机的选用、键的选用与校核、链轮传动的设计等各个方面的内容，基本上涉及了我大学四年所学的各项内容同时也涉及到一些书本上不曾涉及的内容，是对我大学四年所学知识的一次全面的总结，也是对我所学知识的进一步拓展。在本设计中，执行工作的从动件能满足生产工艺提出的运动形式、运动规律、功能范围和运动性能等诸方面的具体要求。结构简单，尺寸大小适度，在整体布置上占有空间小，布局紧凑。制造加工容易，维修拆装方便，工作中稳定可靠，使用安全，具有足够的寿命。滚筒与电动机的运动方式，功率、转矩及其载荷特性能够相互协调，与其他相邻机构的衔接正常

32、，传动运动和力可靠，不会发生运动干涉。本机符合生产的需要，具有较高的生产率和经济效益。致 谢为期三个多月的毕业设计已经接近尾声，回顾整个过程，我深有感受。在设计过程中，我翻阅了很多与我课题相关的资料，同时将以前所学的有直接联系的相关专业科目认真的温习了一边，丰富了许多理论方面的知识。这次设计使我四年中学到的基础知识得到了一次综合的应用，使学过的知识结构得到了科学的组合，同时也从理论到实践发生了一次质的飞跃，可以说这次设计是理论知识与实践运用之间相互过渡的桥梁，是我们即将踏上工作岗位的台阶。在毕业设计的过程中，我发现自身的许多不足，理论知识不够扎实，设计经验不足，同时又缺乏实践工作的磨砺，从而导

33、致在设计时难以做出正确的选择，对课题的内容茫然不知所措。对资料的应用也不够确切，对设计产品的具体形状、运作方式、性能指标也不能有一个准确的定位。缺乏对具体产品的想象力，当查阅有关资料时， 设计思维又受到书本内容的束搏，不能得到扩展，始终局限于个别的、单一的理论或实体。这一切都是可能导致我本次设计的不足之处，恳请老师和同学指正。由于自己能力所限，时间仓促,设计中还存在许多不足之处，恳请各位老师同学给予批评指正。参考文献1 王军单晶蓝宝石基片精密研磨工艺研究d大连：大连理工大学，20082 徐万孚，刘雨川，李广宇，等螺旋槽干运行非接触气体密封的理论分析与试验j机械工程学报，2003，39(4)：1

34、24-273 周圣人，朱维兵，王和顺节流孔特性对静压干气密封性能的影响j润滑与密封，2003，21(2)：69-734 张君安，方宗德用可变截面均压槽实现高刚度空气静压轴承的结构设计j西安石油大学学报，2006，21(6)：96-985 王伟,栾道成,陈庚.超细硬质合金研究进展综述j.西华大学学报(自然科学版),2009,28(4):1001046 郐吉才,张飞虎.elid磨削钝化膜弹簧刚度计算模型研究j.工具技术,2008,28:29-327 荣烈润.超精密研磨抛光方法j.航空精密制造技术,2005,41(2):4-7.8 简金辉,焦锋.超精密加工技术研究现状及发展趋势.机械研究与应用,2008:4-89 任敬心,黄奇.激光陀螺反射镜基片精密抛光技术的研究j.航空精密制造技术,1992, 47 (1):11-13,10 徐锋,左敦稳,王珉等.cvd金刚石厚膜的机械抛光及其残余应力的分析.人工晶体学报,33(3):437-440.11 wang cy, kuang