光伏电池评价报告

1 总论 1.1 项目背景 XX 有限责任公司成立于 1994 年 9 月,是以新能源、新材料、新 技术为发展方向，以中西制药（生物工程）、玻璃新材料、太阳能光热 光伏系列产品、油漆涂料、有机化工为主导产业，并涉及金融、投资、 物流、外经贸领 域的多元化产业民营企业集团。经集团董事会决议， 于 2006 年底成立电池片项目组，筹建集团 300MW 电池片项目，该项 目已经获得省发改委的重点批复。为了使该项目能顺利上马，于 07 年的 9 月 12 日注册成立 XXXX 太阳能电力股份有限公司，公司在 XX 市经十东路 XX 科技园内规划有生产基地 136 亩， 拟建太阳能电 池片及组件生产线。 按 照 中 华 人 民 共 和 国 职 业 病 防 治 法 规 定 ，XXXX 太 阳 能 电 力 股 份 有 限 公 司 为 预 防 、控 制 和 消 除 建 设 项 目 可 能 产 生 的 职 业 病 危 害 ，防 治 职 业 病 ，保 护 劳 动 者 健 康 及 其 相 关 权 益 ，促 进 企 业 经 济 发 展 ，在 可 行 性 论 证 阶 段 委 托 取 得 XX 省 卫 生 厅 认 证 的 建 设 项 目 职 业 病 危 害 评 价 资 质 （乙 级 ）的 XX 市 疾 病 预 防 控 制 中 心 ，对 其 “300MW 光 伏 电 池 片 项 目 ”进 行 职 业 病 危 害 预 评 价 。XX 市 疾 病 预 防 控 制 中 心 接 受 委 托 后 ，组 织 评 价 人 员 对 “XXXX 太 阳 能 电 力 股 份 有 限 公 司 300MW 光 伏 电 池 片 项 目 ”建 设 地 点 进 行 了 考 察 ，通 过 工 程 分 析 及 类 比 项 目 调 查 、资 料 收 集 等 工 作 ， 对 本 项 目 生 产 过 程 和 作 业 环 境 中 可 能 产 生 的 职 业 病 危 害 因 素 进 行 了 识 别 ，确 定 了 评 价 范 围 、内 容 、方 法 等 ，在 此 基 础 上 开 展 了 本 项 目 的 职 业 病 危 害 预 评 价 工 作 。 1.2 评价依据 1.2.1 法律、法规、 规章 中华人民共和国职业病防治法 主席令第 60 号2001 使用有毒物品作业场所劳动保护条例 国务院令第 352 号2002 突发公共卫生事件应急条例 国务院令第 376 号2003 建设项目职业病危害分类管理办法 卫生部令第 49 号2006 职业健康监护管理办法 卫生部令第 23 号2002 职业病危害因素分类目录 卫法监发2002第 63 号 职业病目录 卫法监发2002第 108 号 高毒物品目录 卫法监发2003第 142 号 1.2.2 规范、标准 工业企业设计卫生标准 GBZ12002 工作场所有害因素职业接触限值 GBZ22002 建设项目职业病危害评价规范 卫法监发2002第 63 号 工作场所空气中有害物质监测的采样规范 GBZ1592004 工作场所空气有毒物质测定无机含氮化合物 GBZ/T160.29-2004 工作场所空气有毒物质测定氟化物 GBZ/T160.36-2004 工作场所空气有毒物质测定氯化物 GBZ/T160.37-2004 工作场所空气有毒物质测定醇类化合物 GBZ/T160.48-2004 工作场所空气有毒物质测定钠及其化合物 GBZ/T160.18-2004 职业健康监护技术规范 GBZ188-2007 工作场所职业病危害警示标识 GBZ1582003 劳动防护用品选用规则 GB116511989 工业企业总平面设计规范 GB501871993 生产设备安全卫生设计总则 GB50831999 生产过程安全卫生要求总则 GB128011991 采暖通风与空气调节设计规范 GB500192003 建筑照明设计标准 GB500342004 建筑采光设计标准 GB/T500332001 工业企业噪声控制设计规范 GBJ871985 建筑设计防火规范 GB50016-2006 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 3 页 共 37 页 1.2.3 基础依据 XX 有 限 责 任 公 司 300MW 光 伏 电 池 片 项 目 环 境 影 响 评 价 表 国 家 环 境 保 护 总 局 ，2007 年 9 月 300MW 光 伏 电 池 片 项 目 工 程 分 析 专 项 XX 大 学 ，2007 年 9 月 1.3 评价目的 1.3.1 贯彻落实国家有关职业卫生的法律、法规、规章、标准和国家的 产业政策，从源头控制和消除本项目在生产过程和作业环境中产生或 存在的职业病危害，防治职业病，保护劳动者健康。 1.3.2 通过职业病危害预评价工作，识别和分析本工程项目在生产过 程和作业环境中可能产生或存在的主要职业病危害因素及其主要环 节，预测可能造成的职业病危害及其程度，确定本工程项目职业病危 害类别。 1.3.3 根据评价依据，论证和评价本项目拟采取的职业病危害防护措 施的可行性、有效性和完整性，提出合理可行的职业病危害防护补充 对策和建议，做出科学、客观、真 实的职业病危害预评价结论，为本工 程项目的职业病防护设施设计和施工提供参考和依据。 1.3.4 为卫生行政部门进行本工程项目职业卫生审查和职业病危害分 类管理提供科学的技术依据。 1.4 评价范围 本报告的评价范围主要包括本项目的光伏电池片生产（包括硅片 受入、清洗、制绒、磷 扩 散、等离子刻蚀、去 PSG、等离子化学气相沉 淀、 丝网印刷、烧结、分类检测、包装等）系统 及其辅助设施和污水（中 和）处理设施，主要针对项目投产运行后可能产生或存在的职业病危 害及防治内容进行评价。 1.5 评价内容 主要包括选址、总体布局、建筑卫生学要求、生产工艺和设备布 局、职业病危害因素和危害程度及对劳动者健康的影响、职业病危害 防护设施、 辅助用室基本卫生要求、应急救援与预案、个人使用的职 业病防护用品、职业卫生管理措施、职业卫生专项经费概算等。 1.6 评价方法 1.6.1 类比法 通过对本项目现有生产单元及相似项目的职业卫生调查、工作场 所职业病危害因素浓度（强度）检测、既往职业卫生资料以及对评价项 目有关的文件、技术资料的分析，类推本项目运行过程中可能产生或 存在的职业病危害因素的种类和危害程度，对职业病危害的隐患和后 果进行风险评估，预测拟采取的职业病危害防护措施的防护效果。 1.6.2 经验法 根据实际工作经验和掌握的相关专业知识，对照职业卫生有关法 律、法规、标准等，借助 经验和判断能力直观 地对本项目运行期间可 能存在的职业病危害因素进行识别、分析。 1.7 质量控制 类比工程现场样品的采集、实验室分析以及评价报告编制过程的 质量控制，均按国家现行标准检测方法、 XX 市疾病预防控制中心质 量手册和XX 市疾病 预防控制中心程序文件 的有关要求执行。所 有测试仪器均经过计量部门检定认可。 图 1-1 本项目评价过程质量控制程序 1.8 评价程序 1.8.1 准备阶段 主要工作为接受建设单位委托、收集和研读有关资料、进行初步 调查分析、 编制预评价方案并进行技术审核、确定质量控制原则及要 评价方案 质控审查 组织实施 报告编制 报告校对 技术负责人审核内部审核 送审稿 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 5 页 共 37 页 点等。 建设项目职业病危害预评价应收集的主要资料见附录 E。 1.8.2 实施阶段 依据预评价方案开展评价工作。主要工作为工程分析、职业卫生 现场调查、 类比调查，并进行职业病危害因素定性、定量评价及风险 评估。 1.8.3 完成阶段 主要工作为汇总、分析实施阶段获取的各种资料、数据，通过分 析、评价得出 结论，提出对策和建议，完成 职业 病危害预评价报告书 的编制,对职业病危害预评价报告书进行专家评审。 图1-2 本项目职业病危害预评 价工作程序 准备阶段 实施阶段 完成阶段 接受建设单位委托 1 收集有关资料（法规、标准、技术资料） 2 初步调查分析 3 确定评价单元，筛选重点评 价因子 筛选重点评价项目 拟订预评价方案 确定预评价方案 质控审查 依据预评价方案开展评价工作 职业病危害因素定性、定 量评价及风险评估 筛选重点评价项目 建设项目 工程分析 职业卫生调查 (现场、类比) 汇总、分析资料 得出结论 提出对策和建议 国家、地方有关法规、标准 编制预评价报告书 提交正式报告 专家评审 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 7 页 共 37 页 2 工程分析 2.1 工程概况 2.1.1 工程基本情况 项目名称：X XXX 太 阳 能 电 力 股 份 有 限 公 司 300MW 光 伏 电 池 片 项 目 项目性质：新建 建设单位：X XXX 太 阳 能 电 力 股 份 有 限 公 司 拟建地点：XX 市经十 东路 8168 号 XX 科技园内 投资总额：13.8 亿元 建设规模：项目总用地面积 122819.28 m2（约合 184.1 亩），建设用地 90559.07 m2（约合 136 亩）， 总建筑面积 54426 m2。一、二 期工程设计建设三条生产线，年生产 300MW 光伏电池片。 2.1.2 生产制度及劳动定员 本项目生产实行三班工作制。劳动定员根据产品方案和生产规模 确定为 500 人。其中管理人员 40 人，研发人员 20 人，生产车间 440 人，人力资 源配置见表 21。 表 21 劳动定员表 序号 人员组成 人数 1 管理及营销人员 40 2 生产人员 440 3 研发人员 20 4 合计 500 2.1.3 地理位置（见附件 1） 本项目拟建厂址位于 XX 市经十东路 8168 号 XX 科技园内，北 依 XX 市主要交通道路 经十东路，西南 临神武村，东邻三联新型建材 有限公司，西邻神武村生产路。 2.1.4 自然环境概况 拟建厂区所属地貌单元为第四系山麓斜坡堆积地貌，总体是北高 南低，东高西低。 气候属暖温带湿润大陆季风气候，XX 市区年平均气温 13.5， 湿度 65.45，降水 665.3 毫米，常年主导风向为西南和东北风。 2.1.5 项目主要工程内容 本项目主要工程内容 本项目拟总体规划，分期实施。一期工程建筑面积 9176m2,主要 建设一座电池厂房（9000 m2）；2 个门卫室（分 别为 126 m2、50 m2）。二 期工程建筑面积 45250m2,主要建设一座电池及 组件厂房（24000 m2）； 一座成品仓库和一座原材料仓库（建筑面积均为 6300 m2）；变电室 （200 m2）；一座 动力厂房（ 3000 m2），内设车间变电 站、 纯水站、真空 泵房和空压机房等；水泵房（300 m2）；危险品仓库（400 m2）；地下水池 （1250 m2）；酸碱中和池；太阳能科普馆（5000 m2）。 公用辅助设施 给水工程 本项目生产用水主要为生产用水和循环冷却水，其他用水包括卫 生清洁用水和职工生活用水。生产用水需采用软化水、去离子水和自 来水，需配套建设水处理设施。 排水工程 项目排水采用有组织排放，设雨污两套管网。场内雨水经汇集由 雨水管网排出；生活污水、生产污水（经废水处理设施中和处理后）排 入 XX 科技园污水处理站。 供电工程 本项目电气系统分为强电和弱电系统。电源由场址西侧潘家庄变 电站引入，在车间内建双回路变配电室，经变压器降压后，由埋地电 缆输送到各用电单元。本项目总装容量为 800KW,配电室内设两台 500KVA 变压器。照明网 络电压为 380/220V，检修照明 36V。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 9 页 共 37 页 其他设施 本项目生产用压缩空气、氮气等气体，根据需要设立空气压缩机 等设备及管道系统。 供热 光伏车间内拟设供热系统。 2.2 本项目拟使用原材料及辅料情况 本项目所耗主要原材料为晶体硅片和银铝浆，晶体硅片是太阳能 或半导体工业下脚料，由国内外市场供给，年耗用量约为 8700 万片， 银铝浆年消耗量约 99 吨。 辅助材料有盐酸、三氯氧磷、氢氟酸、 氢氧化钠、氮气、氧气、氨、 硅烷（SiH 4）等。 表 2-2 拟使用原材料及辅料 序号 名称 单位 消耗量 备注 1 硅片（125125 ） 万片/年 8700 2 银铝浆 吨/年 99 3 氢氧化钠 吨/年 900 以 1%氢 氧化钠 计 4 盐酸 吨/年 180 以 5%HCI 计 5 氢氟酸 吨/年 180 以 2%HF 计 6 三氯氧磷 公斤/年 54 7 氨 升/小时 792 8 硅烷（SiH4） 升/小时 1215 9 四氟化碳（CF 4） 毫升/分钟 600 一天 6 小时 10 氮气 立方米/天 7650 11 氧气 升/分钟 16.2 一天 20 小时 2.3 厂区总平面规划布置（见附件 2） 本项目在 XX 科技园内 实施，建 设生产车间、生产辅助用房及办 公科研用房。根据生产工艺要求，生产车间布置力求简捷、顺畅，避免 相互交叉。生产车间内分为生产及空调区，区内布置有金相显微镜、 扩散炉、等离子体刻蚀机、 烧结炉、 绒面腐蚀 清洗工作台、PECVD 、等 离子切边系统等。 临近生产车间布置生产辅助用房，在场址入口迎面 布置办公科研楼，布置有办公室、控制室、研发实验室、检测室等。 2.4 生产工艺流程及生产设备 2.4.1 生产工艺流程 硅片清洗 采用超声方法对硅片表面可能玷污的杂质进行清洗。主要目的是 除去硅片上的污物。将硅片放入清洗机后加入纯水，并按配比添加适 量的中性清洗液，清洗机将会自动对硅片进行清洗。 单晶硅绒面的制备 单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀，在每平方厘米硅表 面形成百万个四面方锥体。由于入射光在表面的多次反射和折射，增 加了光的吸收，提高了电池的短路电流和转换效率。 制备绒面前，硅片须先进行初步表面腐蚀，用碱性腐蚀液蚀去约 2025m，在腐蚀绒面后，采用酸液 进行一般的化学清洗。 磷扩散 制结过程是在一块基体材料上生成导电类型不同的扩散层，它和 制结前的表面处理都是电池制造过程中的关键工序。现用制结方法有 热扩散、离子注入、外延、激光及高频电注入法等。本项目用热扩散法。 热扩散制 p-n 结法就是在高温情况下将 p 掺入 p 型硅。硅太阳 电 池所用的主要热扩散方法有涂布源扩散、液态源扩散，固态源扩散等。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 11 页 共 37 页 硅片扩散后，在片子的两面和周边都形成 n+扩散层。硅片光照面 形成的 p-n 结成为前结，是实现光电转换所必 须的。对于涂源扩散法， 通常用涂源面作为前结，对于三氯氧磷液态源及其它气体携带法扩散， 可选取表观较好的一面为前结。在硅片背面形成的 p-n 结称为背结， 光照时背结的存在将产生与前结相反的光生电压。对于常规的非卷包 式电池来说，硅片周边的扩散层和周边扩散层出去。 等离子刻蚀 扩散完后，为了将边缘的 PN 结去掉，通常采用等离子刻蚀。 去磷硅玻璃 (PSG) 该工序是对刻蚀后硅片上的磷硅玻璃用氢氟酸腐蚀的方法进行 清除。 等离子化学气相沉淀（PECVD） PECVD 被使用在硅片上沉积氮化硅材料，是在 400的温度下 通过物理化学反映产生 SiNx:H 的过程 等离子体的激励频率对 Si-SiNx:H 的界面特性影响大。主要原因 是等离子体的频率低于 4MHz 时，离子运动能够跟上等离子体的激 励频率，离子在电场的作用下具有较大的能量，从而对器件表面造成 大的轰击损伤，因此低频直接 PECVD 法沉积的 SiNx:H 薄膜紧紧对 器件表面能够提供中等质量的表面钝化，而且这样的表面钝化层在紫 外光照射下性能不稳定。但当等离子体的频率大于 4MHz 时，由于加 速周期短，离子吸收的能量小，不至于对器件表面造成大的轰击损伤， 因此当电磁场的激励频率为高频时，用直接 PECVD 法在晶体硅太阳 电池迎光面沉积的纳米 SiNx:H 减反射膜具有 较好的表面钝化作用和 较好的抗紫外性能。 对远距 PECVD 法来说，等离子体的激励区和放样品区是分开的， 等离子体的激励可以在真空室外进行，被激励的气体通过窄的石英管 引导样品表面，远距 PECVD 法的有点是具有较高的沉积速率，这有 利于提高生产效率。ISFH 的研究表明：对晶体硅太阳电池来说，不管 是高频直接 PECVD 法还是远距 PECVD 法都能够制备出性能优良且 稳定的纳米 SiNx:H 减反射膜。 PECVD 法沉 积的 SiNx:H 薄膜对硅片表面有很好的钝化作用， 能使晶体硅太阳电池的表面复合速率降至 10cm/s 左右，这使获得开 颅电压超过 650mv 成为可能，2.02.1 的折射率也有效地减小了光 学反射，且给予 SiNx:H 减反射膜之上地烧穿工 艺不仅免去了电池焊 接中的 ARC 工艺，而且 SiNx:H 中大量的原子 氢也会扩散到 SiO2/Si 界面，饱和了 悬挂键，减少了态度密。 丝网印刷 该工序是过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片 上，作为太阳能电池的正负电极和背场。 烧结 该工序通过高温合金的过程，使硅片上的电极合金化。 测试分档 成品电池按电性能进行测试分档。 图：2-1 本项目生产工艺 流程 0 污水（中和）处理 本项目生产产生的含酸含碱废水通过管道输送至公用工程厂房 的废酸和废碱槽，通过中和槽进行中和处理。废碱量不足时使用氢氧 硅片受入 清洗 制绒 磷扩散 （PN） 等离子刻蚀去 PSG（HF） PECVD丝网印 烧结 分类检测 包装 出货 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 13 页 共 37 页 化钙，氢氧化钙与氢氟酸和盐酸反应生成氟化钙和氯化钙，反应物做 定时清理。污水中和处理达标后进入 XX 污水处理站。 2.4.2 拟采用的生产设备 表 23 国内采购设备表 序号 工序 设备名称 外形尺寸 (mmm) 数量 （台 /套） 一 主要生产设备 1 绒面检查 金相显微镜 9 2 高温扩散 扩散炉及净化台（撞骗工作 台、石英件） 18 3 石英管清洗槽 9 4 方块电阻测试 四探针测试仪 桌面办公型 9 5 边缘 PN 结腐 蚀 等离子体刻蚀机 （装片工作台） 36 6 PN 结去除效果 测试 冷热二探针测试仪 桌面办公型 9 7 膜厚测试 椭偏仪 桌面办公型 9 8 硅片包装 包装机 30.81.2 9 9 区 PSG（HF） 去磷硅玻璃设备 9 10 合计 117 二 辅助生产设备 1 去离子水站 1 2 净化空调 1 3 液氧罐、液氮罐、废水废气 处理装置 各 1 表 24 国外进口设备表 序 号 工序 设备名称 外形尺寸 (mmm) 数量 （台/套） 生产厂家 1 绒面制作 绒面腐蚀清洗工作 台（装片工作台） 9 捷克 svcs 公司 2 涂镀减反射膜 PECVD（装片工作 台） 6.41.3 2.3 9 德国 RothRau 公司 3 丝网印刷、烘 干、测试、分档 丝网印刷机 9 意大利 Baccini 公司 4 烧结 烧结炉 9 美国 DESPATCH 公司 合计 36 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 15 页 共 37 页 3 类比调查 3.1 类比企业概况 类比企业地址：晶龙集团宁晋县产业园区。 类比性质：不同地区相似生产性质的企业作为类比。 类比项目投产年月： 2005 年。 产品方案及规模： （1）单晶硅棒：单晶炉 100 台，由于受电力等因素的影响，至今开 展生产的 60 台，年产 200 余吨； （2）硅片：日产 9 万片(125125mm)； （3）太阳能电池片：年产 75MW 太阳能电池片； （4）太阳能电池组件：年封装 75MW 太阳能电源板。 类比企业工人数：现有员工约 3000 名。 3.2 类比的可比性分析 表 3-1 拟 评 价 的 拟 建 工 程 与 类 比 工程可 比 性 对 照 表 项目类别 类比工程 拟建工程 名 称 晶龙集团宁晋县太阳能生产厂区 XXXX 太阳能电力股份有限公司300MW 光伏电池片项目 项目地点 宁晋县产业园区 XX 经十东路 8168 号 XX 科技园 自动化程度 单晶硅棒以单机自动化作业为主， 硅原料清洗是手工作业；硅片生 产类似机械加工作业，切割机是 单机自动化生产；太阳能电池片 以自动化流水作业为主，部分清 洗流水线为手工操作；太阳能电 池组件以手工作业为主，人工 焊 接封装 光伏电池片以自动化流水作业 为主，清洗机采用超声方法自 动对硅片表面可能玷污的杂质 进行清洗；部分岗位为手工操作。 产品 单晶硅棒、硅片、太阳能电池片、太阳能电池组件 光伏电池片 生产规模 单晶硅棒：200 吨/年硅片： 1989 万片/年(125125mm) 设计年生产 300MW 光伏电池片。 项目类别 类比工程 拟建工程 太阳能电池片：75 MW 太阳能电池组件：75 MW 生产区域分布 单晶硅棒、硅片、太阳能电池片、 太阳能电池组件分成四家企业 生产车间内分为生产及空调区，区 内布置有金相显微镜、扩散炉、等离 子体刻蚀机、烧结炉、绒面腐蚀清洗 工作台、PECVD 、等离子切边系统 等。临近生产车间布置生产辅 助用 房，在场址入口迎面布置办公科研 楼，布置有办公室、控制室、研发实 验室、检测室等。 生产工人数 3000 500 化学物料 盐酸、硝酸、氢氟酸、 氢氧化 钠、三氯氧磷、四氟化碳、硅 烷、乙醇、异丙醇、氨水、氮 气、氩气 矽尘、煤油、盐酸、氢氟酸、氢 氧化钠、三氯氧磷、氯气、五氧 化二磷、氨、硅烷、氢氧化钙、 氟化钙、磷化氢、四氟化碳、 物理因素 噪声、工 频、超声波 噪声、工频、超声波 3.3 类比项目职业卫生防护措施调查 对晶龙集团宁晋县产业园区太阳能生产厂区的职业卫生管理情 况卫生学调查结果如下： 3.3.1 职业卫生管理机构 无专职的职业卫生管理机构，员工的健康管理由人事部门负责。 未能提供相关各部门的职业卫生工作分工及职责。 3.3.2 职业卫生档案管理 有部分建立，但不够完善。 3.3.3 职业危害因素检测 未能提供。 3.3.4 职业健康体检 能提供员工上岗前健康检查档案。但检查单位无职业病健康体检 资质，属于普通健康检查，而非职业性健康体检。 3.3.5 安全卫生培训 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 17 页 共 37 页 未提供员工安全卫生培训资料。 3.3.6 应急救援预案和措施 该企业涉及使用危险化学品，需要制订化学中毒应急救援预案， 但企业未提供相关资料。 3.3.7 个体防护用品 现场调查发现洁净车间员工基本都佩戴了个体防护用品。 防护用品的发放及管理制度未能提供，防护用品的配备资料未能 提供。但是现场配备了防护用品柜及防护用品，配备的品种基本符合 职业卫生要求。 3.3.8 辅助卫生用室 厂区及车间分别设有食堂、浴室、更衣室、洗衣房、厕所等，辅助 卫生用室配备符合职业卫生要求。 3.3.9 职业病危害因素识别 类比项目主要存在氢氟酸、三氯氧磷、四氟化碳、硅烷、盐酸、氯、 氨、氢氧化 钠以及噪声、工频电场等职业病危害因素，与拟建项目的 职业病危害因素相似。 3.3.10 职业病危害警示标识的设置状况 太阳能电池的生产设备主要进口，设备上均贴有警示标志。另外 化学品储存间及特气室等接触有毒物品和气体的部位有警示标志。 3.3.11 现场接触状况分析及防护措施调查 单晶原料清洗，使用硝酸和氢氟酸，单独布置，清洗池上方有吸风 罩，车间地面设置了围堰。职业病防护主要是防酸烧灼伤，以作业 人员穿戴个体防护用品为主。 单晶棒生产车间，将单晶炉生产场所与配套的真空系统和电源系 统隔离布置，避免职业病危害因素噪声和工频的影响，单晶炉密 布生产，拉单晶车间空调环境，该车间基本不接触职业病危害因 素。 单晶棒的切、磨加工车间，有数控自动化切割机，也有人工操作的 普通机床和磨床，作业方式与普通机械加工相似，但均采用了湿 式作业方式，因此切、磨过程基本不产生粉尘和噪声。 单晶棒切片，使用全密闭和自动化切割机，用钢线、金刚砂和乳化 液进行切割，基本不产生粉尘，但是噪声强度较大。 单晶片清洗，采用超声波和清水，有人工清洗机和自动化清洗机， 基本不接触职业病危害因素。 单晶硅的制绒工艺是通过 NaOH 和异丙醇（或乙醇）反 应，制绒车 间还有表面腐蚀，表面腐蚀加入盐酸和氢氟酸。制绒生产环境采 用准洁净环境，制绒和清洗采用全自动化和密闭化进口流水线， 流水线安装有吸风设施。清洗加氢氟酸需要人工加入，每班一次， 加入量不大于 500ml(包装 500ml/瓶)，员工有严格的防酸烧灼伤 个体防护用品。 磷扩散，使用三氯氧磷，生产环境为洁净环境，选用全自动化流水 线，流水线安装有吸风设施，员工主要将单晶片架装上和取下，扩 散前的单晶片清洗是人工作业。 刻蚀：使用四氟化碳，生产环境为准洁净环境，选用全密闭化机器， 安装有吸风设施。 去磷硅相：该工序是对刻蚀后硅片上的污物用氢氟酸清洗的方法 进行清除。生产环境为准洁净环境，选用全自动化流水线，流水线 安装有吸风设施，员工主要将单晶片架装上和取下。 等离子化学气相沉积(PEVCD) ：使用硅烷，是在 300-900的温度 完成，生产环境为准洁净环境，选用全密闭化机器，安装有吸风设 施。 丝网印刷：通过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅 片上，生产环境为准洁净环境，选用全密闭化机器，安装有吸风设 施。但是银浆或银铝浆的调配为人工作业，使用乙醇，无防护设施。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 19 页 共 37 页 烧结：通过高温合金的过程，生产环境为准洁净环境，选用全自动 化和密闭化机器，安装有吸风设施。 测试：生产环境为准洁净环境，选用全自动化和密闭化机器，安装 有吸风设施。 太阳能硅片封装：封装流水线尚未安装完成，未生产。 特气室：单独布置，有警示标志，有高毒气体报警装置，墙上有事 故强排风局流风机。 化学品间：单独布置，有警示标志，墙上有事故强排风局流风机。 但是制绒间的化学品间是临时布置的，建筑布局不符合化学品间 的要求，化学品进出要通过洁净车间，建筑设计不符合耐酸碱的 要求，墙和地面为普通装饰物，对高毒物品和腐蚀液体的管理制 度不符合要求。 纯水制备间：单独布置，设置了隔离的员工操作间，但是车间发现 随意堆放的化学物品，其中有固体氢氧化钠等危险化学物品。 污水处理系统：单独布置，正在改建中。 其它生产辅助实施：单独布置，与生产车间隔离良好。 3.4 类比企业应急救援设施 有紧急逃生路线，制绒工段、扩散工段及刻蚀工段均配备有抢修 人员的正压式呼吸器，在上述工段同时配有 3 套有洗眼冲淋设施。 特气室有高毒气体报警装置。 3.5、资料分析 3.5.1.体检资料 全厂员工上岗前健康体检数据有 650 名，体检机构为宁晋县中医 医院，该机构无职业病体检资质。体检结果至今未发现职业禁忌症和 职业病人。 3.5.2.工作场所职业病危害因素测试结果 晶龙集团宁晋县产业园区 2007 年工作场所职业卫生检测结果： 1）氨的测定结果 TWA(mg/m3) STEL(mg/m3) 采样地点/岗位 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 PECVD XL 机 0.3 20 - 0.3 30 - PECVD L 机 0.3 20 - 0.3 30 - 2）氟化氢的测定结果 MAC（mg/m3） 采样地点/岗位 测定浓度 接触限值 超标倍数 酸洗岗位 4 0.13 2 - 酸洗岗位 5 0.16 2 - 稀盐酸 +氢氟酸液清洗 1 0.10 2 - 稀盐酸 +氢氟酸液清洗 2 0.16 2 - 去 PSG 手工清洗 0.07 2 - 去 PSG 机洗 0.06 2 - 制绒室工作台 0.03 2 - 制绒室制绒机 0.03 2 - 3）盐酸的测定结果 MAC（mg/m3） 采样地点/岗位 测定浓度 接触限值 超标倍数 稀盐酸+氢氟酸液清洗 1 0.6 7.5 - 稀盐酸+氢氟酸液清洗 2 0.7 7.5 - 发射极扩散纯水清洗 0.4 7.5 - 4）一氧化氮的测定结果 TWA(mg/m3) STEL(mg/m3)采样地点 /岗位 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 21 页 共 37 页 酸洗岗位 4 0.41 15 - 0.53 30 - 酸洗岗位 5 0.36 15 - 0.43 30 - 5）二氧化氮的测定结果 TWA(mg/m3) STEL(mg/m3)采样地点 /岗位 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 酸洗岗位 4 0.50 5 - 0.58 10 - 酸洗岗位 5 0.50 5 - 0.60 10 - 6）异丙醇的测定结果 TWA (mg/m3) STEL (mg/m3) 采样地点/岗 位 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 测定 结果 接触 限值 超标 倍数 制绒室工作台 50 350 - 61 700 - 制绒室制绒机 49 350 - 61 700 - 7）氢氧化钠的测定结果 MAC（mg/m3） 采样地点/岗位 测定浓度 接触限值 超标倍数 纯水处理加碱点 0.09 2 - 废水处理加碱点 0.12 2 - 手工制绒 0.10 2 - 制绒室工作台 0.04 2 - 3.6 类比资料分析讨论 3.6.1 可行的职业卫生防护措施： 生产基地内生产区域与生活、办公区域分区明确，间距较大，总 平面布置合理，生产工艺及生产设备的选用比较先进，车间内生产设 备布局基本合理，建筑物设计卫生基本符合工业企业设计卫生标准 要求。 生产过程中产生的职业病危害因素较多，其中三氯氧磷、四氟化 碳、氢氟酸属高毒物品，硝酸、 盐酸、氢氧化 钠、氢氟酸属高腐蚀物品， 单晶硅粉尘属矽尘。类比企业在生产过程中，通过合理布局、适当隔 离职业病危害，以及选用先进工艺和设备，采用自动化、密闭化、有组 织吸风、湿式作业等防护措施，将生产环境的职业病危害因素浓度基 本控制在国家卫生标准的接触限值以内，类比调查现场检测未发现超 标点。再通 过辅以较完备的个体防护用品防止腐蚀物品，使作业场所 的职业病危害得到了有效控制。 调查中企业未提供应急救援预案，但现场合理配备了警示标志、 洗眼冲淋设施和抢修用个体正压式呼吸器等应急用设施，特气室配备 了高毒物品的检测报警装置。 3.6.2 存在的职业卫生问题 类比企业职业卫生管理机构和管理制度尚未完善，缺乏经过专业 培训的职业卫生管理人员，生产现场的部分职业卫生管理措施较好但 尚未总结提升为管理制度。职业卫生档案尚未按要求建立。未按要求 对已投产企业开展建设项目职业病危害的预评价和卫生预审核，也未 进行建设项目卫生竣工验收。 制绒工段的临时化学品库布置不合理，危险品进出要通过洁净生 产区域，部分危险品（氢氧化钠液体）存放在洁净车间过道中，危险品 库与化学品库混合存放，对氢氟酸、三氯氧磷的保包管，领用和安全 使用制度不严。 缺乏对员工的安全卫生培训，生产区域内的个体防护用品配备较 充分，但员 工的合理和正确使用尚需培训，尤其对应急呼吸器等应急 救援设施的使用尚需要培训和演练。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 23 页 共 37 页 4 拟建项目职业病危害因素识别与分析 4.1 拟建项目职业病危害因素识别 根据职业病危害因素分类目录、拟建项目的工程分析和类比 企业现场职业卫生学调查，XXX X 太 阳 能 电 力 股 份 有 限 公 司 300MW 光 伏 电 池 片 项 目 可能产生或存在的主要职业病危害因素有：矽尘（单晶硅粉 尘）、煤油（或乙醇）、 盐 酸、 氢氟酸、氢氧化钠 、异丙醇、三 氯氧磷、氯 气、五氧化二磷、四氟化碳、氨、硅烷、氢氧化 钙、氟化 钙、氯化钙、磷 化氢、噪声、超声波、工 频电磁场，夏季高温季 节在烧结、丝网印刷烘 干等岗位存在高温。 根据同类工程项目情况，结合其工艺特点，分为硅片受入、清洗、 制绒、磷扩 散、等离子刻蚀、去 PSG、等离子化学气相沉淀（PECVD）、 丝网印、烧结 、分 类检测 、包装等生 产设施、 辅助系统、污水中和处理 三个单元进行识别和分析。 表 41 本项目职业病危害因素分布一览表 评价 单元 生产工序 主要生产设备 职业病危害因素 清洗 清洗机 超声波 单晶硅绒面制备 绒面腐蚀清洗工作台 氢氧化钠、盐酸（HCI）、异丙醇、氢氟酸 磷扩散 扩散炉、净化台 五氧化二磷、氯气、高温及热辐射 等离子刻蚀 等离子刻蚀机（装片工作台） 噪声、粉尘、四氟化碳等 生产 设施 去 PSG 去磷硅玻璃设备 氟化氢、氟化物等 等离子化学气相 沉积（PECDV） 等离子化学气 相沉积机台 硅烷、磷化氢、氨、氟化氢、氟化物、高 频辐射等。 丝网印刷 丝网印刷机 噪声、高温、煤油（或乙醇）等 烧结 烧结炉 高温、硅烷、氨 水泵房 水泵 噪声 纯水处理 水处理设备 噪声、氢氧化钠 酸碱储存室 酸碱储罐 酸、碱 动力 设施 空压机、真空泵、 冷冻机 噪声、氨 化学品库 桶装或瓶装化学品 变电站 变压器 工频电磁场辅助 设施 污水中和处理 污水中和处理槽 氢氧化钠、盐酸、氢氧化钙、氟化钙等 4.2 主要职业病危害因素对人体健康的影响（见附件 3） 4.3 拟建项目工作场所主要职业病危害因素危害程度分析 拟建项目与类比项目的太阳能电池片生产相比，生产工艺和生产 原辅材料相似，拟建项目生产设备的自动化程度将有所提高，工程防 护设施相似。 拟建项目的职业病危害因素及其浓（强）度与类比企业相 似，但因自动化的提高而接触程度有所降低。因此该项目建成后职业 病危害程度将比类比项目有所减轻，职业病危害将得到有效控制。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 25 页 共 37 页 5 拟建项目职业病危害防护措施分析与评价 5.1 建设项目地址选择 本项目位于 XX 市经十路 8168 号 XX 科技园内，所用土地为规 划的备用建设用地，符合 XX 市整体规划。从环境影响、规划和产业 政策等方面分析，项目选址基本合理。 5.2 总体布置 本项目根据选定的厂址和工艺流程，结合场地自然条件及各建、 构筑物对防火、卫生、安全的要求进行综合平面布置；拟对厂区绿化 进行了全面规划。 总体布置基本符合工业企业设计卫生标准(GBZ1-2002)。 5.3 建筑卫生学 本项目主要厂房仓库为钢筋砼框架结构，辅助用房为砖混结构， 综合考虑了自然采光与人工照明；未对建筑通风、防暑降温、地面墙 面防腐措施等进行说明。 5.4 生产工艺及设备布局 本项目采用目前成熟的光伏电池生产工艺，生产设备依生产工艺 合理布局，符合工业企业设计卫生标准。 5.5 职业病防护设施 本项目根据企业的具体特点，采取了以下必要的防尘毒、防噪声 措施。 单晶片清洗采用超声波清洗机和水，基本不接触职业病危害因素； 制绒生产环境拟采用准洁净环境，制绒和清洗拟采用捷克产全自动化 和密闭化流水线并安装有吸风设施；磷扩散生产环境为洁净环境，拟 选用全自动化流水线并安装吸风设施，磷扩散工序产生的废气经各扩 散炉尾气管进入排气总管通过 25 米烟囱排入大气；等离子化学气相 沉积(PEVCD)使用硅烷 ，在 300-900的温度完成，生产环境为准洁 净环境，拟选用全密闭化机器并安装吸风设施；等离子刻蚀工序使用 四氟化碳，生产环境为准洁净环境，拟选用全密闭化机器并安装吸风 设施，四氟化碳等废气经（在每台离子刻蚀机安装的）尾气管连接排气 总管通过 15 米烟囱排入大气；丝网印刷是通过丝网印刷机将银浆或 银铝浆等导电材料印刷在硅片上，生产环境为准洁净环境，拟选用意 大利产全密闭化机器并安装吸风设施，测试生产环境为准洁净环境， 拟选用全自动化和密闭化机器并安装吸风设施；烧结工序是通过高温 合金的过程，生产环境为准洁净环境，拟选用美国产全自动化和密闭 化机器并安装吸风设施，烧结产生的废气经烧结炉尾气管与排气总管 连接通过 4 米烟囱排入大气。污水（中和）处理和各动力设施工人实行 巡检操作，职业病危害因素接触时间短。 根据类比调查资料和经验分析，本项目的职业病防护措施在正常 生产条件下能够满足职业病防护需要。 5.6 噪声控制 本项目未对防噪声措施进行说明。 5.7 辅助用室 本项目只提及了综合办公楼的设置位置，未对其他辅助用室进行 说明。 5.8 职业病防治机构设置 本项目未对职业病防治机构设置进行说明。 5.9 职业卫生管理、个人使用的职业病防护用品、应急救援、职业卫生 专项投资 本项目未对职业卫生管理措施、个人使用的职业病防护用品、应 急救援措施、职业卫生专项经费预算情况做具体说明。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 27 页 共 37 页 6 控制职业病危害的补充措施 6.1 设置职业卫生管理组织机构，配备专职或兼职的卫生专业人员。 6.2 建立健全职业健康教育制度，对劳动者进行上岗前职业卫生培训 和在岗期间的定期卫生培训，普及职业卫生知识，督促劳动者遵守职 业病防治法律、法规和安全操作规程；履行告知义务，将工作过程中 可能产生的职业危害及其后果，职业卫生防护条件告诉劳动者；指导 和监督劳动者正确使用职业卫生防护设备和个人职业卫生防护用品； 制定各项安全操作规程，防止职业伤害事故。 6.3 建立企业职业卫生档案和劳动者健康监护档案，对接触职业病危 害作业的劳动者，组织上岗前、在岗期间和离岗时的职业健康检查， 及时调离职业禁忌人员。职业健康检查的项目及周期应符合卫生部 职业健康监护管理办法的规定。 6.4 建立工作场所职业病危害因素监测及评价制度。职业卫生管理人 员及监测人员要熟悉生产过程中存在的有害因素的种类，强度，空间 分布；定期进行作业场所职业病危害因素的检测与评价，控制工作场 所职业病危害因素的浓（强）度，使之符合国家职业卫生标准要求。 6.5 建立职业病危害防 护设施、应急救援设施和个人使用的职业病防 护用品的使用及维护、检修、定期检测制度；按照劳动防护用品选用 规则制定相应的劳动防护用品发放和管理制度，做好防酸碱烧灼伤 等个体防护用品的发放和管理工作。 6.6 特气室、化学品间应设置高毒气体报警装置，并安装事故强制排 风风机，满足事故通风换气次数不小于 12 次/小时的要求。使用氢氟 酸、盐酸、氢氧化钠等物品的车间建筑设计应满足耐酸碱腐蚀的要求。 6.7 针对氢氟酸、盐酸、氢氧化钠等物品的储存、使用等环节，本项目 须制定安全操作规程和突发事故应急救援预案及实施方案；建立健全 应急救援队伍，定期进行应急救援演练。就近与具有一定救治能力的 医疗机构签订应急救援协议。化学品库、制绒工段、扩散工段、刻蚀等 工段应配备有维修人员使用的正压式呼吸器、洗眼冲淋设施，并设置 紧急逃生路线和泄险区域。 6.8 本项目建成后须在产生或存在职业病危害的作业岗位设置职业病 危害警示标识和中文警示说明，说明产生职业病危害因素种类、危害 后果、预防和应急救援措施等。 6.9 本项目应按照工业企业设计卫生标准要求设置医务室（或与集 团公用）、职工食堂、更衣室、休息室、盥洗室、卫生间等辅助用室， 满 足工人工作生活需要。 6.10 加强中华人民共和国职业病防治法的学习和宣传，切实落实 职业病防治法及相关配套法规要求，为劳动者创造符合国家职业卫 生标准和卫生要求的作业环境和条件；在建设过程中确保建筑方案设 计及本评价报告中各项控制职业病危害的补充措施的落实；根据中 华人民共和国职业病防治法的要求，项目建成正式运行前，应委托 取得有资质的职业卫生技术服务机构做好职业病危害控制效果评价 工作，以便进一步做好职业病防治工作。 XX 太阳能电力股份有限公司 300MW 光伏电池片项目职业病危害预评价报告书 第 29 页 共 37 页 7 结论 7.1 本项目选址符合国家的有关法律、法规和 XX 市政府的有关政策； 总体布局功能分区明确，生产工艺较为先进，设备布局合理。 7.2 本项目生产过程和作业环境中可能产生或存在的职业病危害因素 有：矽尘（单晶硅粉尘）、煤油（或乙醇）、盐酸、氢氟酸、氢氧化钠、异 丙醇、三氯氧磷、 氯气、五氧化二磷、四氟化碳、氨、硅烷、氢氧化钙、 氟化钙、磷化氢、噪声、超声波、工 频电磁场，夏季高温季节在烧结、 丝网印刷烘干等岗位存在高温。 7.3 本项目在采取相应的技术防护措施，按照本报告“控制职业病危 害的补充措施”进一步完善后 ,生产过程和作业环境中职业病危害因 素浓度或强度应能得到较好的控制。 7.4 拟建项目建筑物设计应在采光、照明、通风、防暑降温和冬季采暖 等方面满足工业企业设计卫生标准（GBZ1-2002）对建筑物卫生学 的有关要求。 7.5本项目未对职业病防治机构设置进行说明、未对职业卫生管理措 施、个人使用的职业病防护用品、应急救援措施、职