GB-T14604-1993 电子工业用气体 氧

中华人民共和国国家标准

GB/'r14604一93

电子工业用气体氧

Gasesforelectronicindustry-Oxygen

飞主题内容与适用范围

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标

志、运输、贮存及安全要求。

电广「业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体

蚀划和剥离。也可用于光导纤维。

分f式:0

卞!{对分子质量:31.999(1989年国际相对原子质量表)

2引用标准

‘”190危险货物包装标志

(;B3863L业用气态氧

GB4844氦气

GB5099钢质无缝气瓶

GB5832.2气体中微量水的测定露点法

GB668。液体化工产品采样通则

G136681气体化工产品采样通则

GB7144气瓶颜色标记

(:137445氢气

GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

GB8991气体中微量氢的测定气相色谱法

GB/T14605氧气中微量氢、氮和氢含量的测定气相色谱法

GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法

3技术要求

电子工业用气体氧的质量应符合下表的要求

项目

】指标

超大规模集成电路级半导体及集成电路级电子级和散装液态氧

氧纯)变，川“)

"K含址.1o6(

袱含缺.JO’·(

99.9853

1

100

，:59:5

国家技术监督局1993-0s-26批准1994一07一01实施

GB/T14604一93

续表

项目

指标

超大规模集成电路级半导体及集成电路级电子级和散装液态氧

氮含量,10s蕊

一氧化碳含量,10‘(

二氧化碳含量,10-G蕊

一氧化碳和二氧化碳含量,10-巧夏

总烃含量(以甲烷计),10‘蕊

氧化亚氮含量,10”镇

氟含撼,10蕊

水含傲,10‘蕊

总杂质含量(包括稀有气体),1。一‘毛

30

1

1

1

1

10

2

147

100

5

5

2

2

5000

100

5

25

2

2

5000

注:0)本标准不包括对颗粒的技术要求，该技术要求由供需双方商定。

②纯度及含量均以体积分数表示

4检验方法

4"1采样

4.1.1瓶装气态氧的采样应符合GB6681的规定。采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不

得转移

4.1.2管道输送的气体氧，采样时尽可能使用短的金属管将样品气直接送人分析仪。

4.1.3液态氧的采样应符合GB668。的规定。液态氧必须从液相取样并保证使液态氧完全气化后恢

复到常温方能进样

4.2氧气纯度的测定

4.2.1超大规模集成电路级氧纯度的测定

用扣除杂质含量的差减法，按式((1)计算氧的纯度(v/V):

9,=100一(叭+99e+乳+P4+R+91+妈+丹+"4)X10-'··⋯⋯(1)

式中:91-氧的纯度，10一，;

9)-氢含量,10-1;

"k氢含量,10-`;

外—氮含量,10-s;

外—一氧化碳含量，10-`;

帆—二氧化碳含量,10-0,

叭—总烃含量,10-s,

外—氧化亚氮含量,10-s;

S0-氢含量,1。一‘，

外—水含量,10-6,

4.2.2半导体及集成电路级，电子级和散装液态级氧纯度的测定

.按GB3863中3.1规定的方法进行测定。

4.3氢含量的测定

按GB8991的规定进行测定。

GB/T14604一93

4.4氢、氮及氢含量的测定

按GB/T14605中的规定进行测定。

4.5一氧化碳和二氧化碳的测定

按GB8984的规定进行测定。

4.5.1测定一氧化碳时，吸附剂采用。.25-0.20mm的13X分子筛，在350℃下通氢气活化4h;色谱

柱温度为50C;进样量为3mL;最低检恻量为0.5X10-e(V/V),

4.5.2测定二氧化碳时，采用长40cm、内径2mm的不锈钢管柱，内装。.20-0-15mm的TDX，在

130℃下通氢气活化4h;色谱柱温度为40"C;进样量为3mL,

4.5.3允许采用预切割除氧法测定一氧化碳和二氧化碳的含量。

46总烃含量的测定

按GB/T14606的规定进行测定。

4.了水含量的测定

按GB5832.2的规定进行测定。

4.8氧化亚氮含量的测定

4.8.1方法及原理

采用氦离子化气相色谱法。

本方法基于潘宁效应原理。载气氦进人检测器时，在氮源辐射的p粒子作用下，部分氦原子被激发

到亚稳态。样品气经色谱柱分离后随载气一起进入检测器，当样品中含有电离能比亚稳态氦原子的激发

能低的组分时，该组分即与亚稳态氦原子发生碰撞而被电离，在外加电场作用下，形成离子流、在一定范

围内，输出的离子流与该组分浓度成正比。

4.8.2仪器

带有氦离子化检测器的气相色谱仪。要求该仪器对氧化亚氮的最低检测量为0.5x1o-s,

4.8.3操作参考条件

4.8-3.1载气:氦气，GB4844中的高纯氦，流量为30^-40mL/min,

4.8.3.2操作气:氦气，GB4844中的纯氦一级品，主机压力表示值。.3MPa,

4.8.3.3渗杂气:氢气，GB7445中的高纯氢，主机压力表示值0.05MPa,

4.8-3.4色谱柱:长4m、内径3mm的不锈钢管，内装0.20^-0.15mm的porapakR，在180℃下通氢

气或氦气活化4卜。

4.8.3.5色谱柱温度:300C,

4.8.3.6极化电压:500-600V,

4.8.3.7记录仪:1^2.5mV,

4.8.3.8进样量:1.5mL,

4.8.4标准混合气的规定

标准混合气以氧为底气，组分含量应与待测组分含量接近。标准混合气应具有国家标准化行政主管

部门批准的编号。

4.8.5操作步骤

4.8-5.1按仪器使用说明书及操作条件开启仪器直至稳定。

4.8.5.2将样品气经针形阀及金属管道与仪器紧密连接，开启样品气瓶阀，用针形阀调节流量，充分置

换取样系统后切换六通阀进样，测出峰面积A,(或峰高h,).

4.8.5.3将符合4.8.4规定的标准混合气经针形阀及金属管道与仪器紧密连接，按4.8.5.2操作，测

出峰面积A,(或峰高h}),

4.8.6结果计算

4.8.6.1氧化亚氮含量(V/V)按式((2)计算:

几81

GB/`f14604一93

X。(或。

h,{

=1厂x叽RI

11,1

(2)

式中:仍—样品气中氧化亚氮的含量，10-

R—标准混合气中氧化亚氮的含量.10-s

A,(或h,)—样品气中氧化亚氮的峰面积(或峰高),mm,(或mm);

A,(或h,)—标准混合气中氧化亚氮的峰面积(或峰高),mm}(或mm).

4.8.6.2取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，平行测定结果的相对偏差不得大于100o,

5检验规则

5.1电子工业用气体氧应由生产厂的质量监督部门按本标准的规定进行验收检验。生产厂应保证所有

出厂的产品符合本标准规定的要求。

5.2超大规模集成电路级氧应逐瓶检验。检验结果若有一项指标不符合本标准要求时，则该瓶产品为

不合格品。

5.3半导体及集成电路级氧，电子级和散装液态级氧应成批检验，每批的瓶数不得超过一个生产班的

产品。在每批产品中随机抽取5%的样品进行检验。检验结果，若有一项指标不符合本标准要求时，应重

新随机加倍抽样检验，若仍有一项指标不符合本标准要求时，则该批产品为不合格品。

5.4当液态氧用贮罐或槽车装运时，则每个贮罐或每辆槽车为一批，检验应从每个贮罐或槽车中取样

检验。

5-5当用管道输送气体氧时，sh内至少应进行一次取样检验。

56用户有权按本标准的规定进行验收。

5.了当供需双方对产品质量发生异议时，可由双方共同验收或提请仲裁。

6标志、包装、贮存和运输

6，1气瓶的使用、贮存和运输应符合《气瓶安全监察规程》和《危险货物运输规则》等有关规定。

6.2液态氧用液化气贮罐或槽车的包装、贮运等应符合《压力容器安全监察规程》及《危险货物运输规

则》等有关规定。

6.3气瓶颜色及包装标志应符合GB7144和GB19。的规定。包装容器外表面应标上“电子工业用气

体氧’，等字样。

6.4气瓶及最高工作压力应符合GB5099的规定。

6_5瓶装氧气的压力，在20℃时不得低于15.。士。.5MPa,测量瓶内压力时，应确认气体温度与环境

温度相等，测量用压力表精度不得低于2.5级。

6.6

6.7

6.8

6.9

6.10

6，11

气瓶瓶阀与瓶颈螺纹联接处，瓶阀的出口及瓶阀杆间隙处不得泄漏。

充装有氧气的钢瓶，必须戴好安全帽。

用户将空瓶返回生产厂时，要求瓶内余压不得低于0.4MPa,

氧气的充装体积按附录A计算。

液态氧的重量换算为20"C,101.

氧气出厂时，应附有质量合格证

a.产品名称和级别;

b·生产厂名称;

c.生产日期或批号;

d.气瓶号码;

3kPa状态下气态氧的体积，按附录B计算。

，其内容包括:

GB/T14604一93

氧气的数量(m')，或重量(kg)，或压力(MPa);

执行标准代号。

了安全要求

7.1氧气是无色、无味、无嗅、无毒、不燃的气体。它是一种强氧化剂，能助燃。它与可燃性气体混合有

爆炸危险。压缩氧气禁止与油脂接触。

7.2氧气在室内聚集有发生火灾的危险，因此在氧浓度有可能增加的地方应设有通风装置，必要时设

氧气报警仪，对氧气浓度进行监测。工作场所内氧气的体积浓度不得超过23%.

7.3检修或处理盛氧容器之前，必须先将氧吹除，使氧气浓度降到23%以下时方可进行工作。

了.4在富氧环境内工作时，不准抽烟，不准使用明火。

7.5充装氧气的容器禁止充装其他气体。

7.6在装卸、贮存和运输气瓶时，应特别小心，严防气瓶跌落发生事故。

GB/T14604一93

附录A

气瓶内权气体积的计算

(参考件)

气瓶内氧气体积按式(A1)计算

V二K。V}

(A1)

式中

式中

:v—气瓶内氧气的体积

Vo—气瓶的水容积，LI

K—换算为在20'C,101

，m3

.3kPa状态下氧气的体积换算系数。K值按式(A2)计算

。一{P，)、，293、，10-3

J、一1二一了-二门「11入只言二-气尸甲八-下;-

\V.IU101413,卜L乙

(A2)

:P—气瓶内气体的压力，MPa;

t测量压力时，气瓶内气体的温度，℃;

Z-温度为t时，氧气的压缩系数。

在不同温度和压力下的换算系数K值可以从表A1中查得

表A1换算系数K

瓶内气体温度IC

压力，MPa

13.714.214.715.2

15.716.2

一50

一40

一35

一30

一25

一20

一15

一10

一5

0

十5

+10

+15

+20

+25

十30

+35

+40

0.232

0.212

0.203

0.195

0.188

0.182

0.176

0.171

0.165

0.161

0.157

0.153

0.149

0.145

0.142

0.139

0.136

0.133

0.242

0.221

0.211

0.202

0.195

0.188

0.182

0.177

0.172

0.167

0.162

0.158

0.154

0.150

0.147

0.143

0.140

0.137

0.251

0.299

0.291

0.211

0.202

0.195

0.189

0.183

0.178

0.172

0.168

0.163

0.159

0.156

0.152

0.148

0.145

0.142

0.260

0.236

0.226

0.217

0.209

0.202

0.196

0.189

0.184

0.179

0.174

0.169

0.165

0.160

0.157

0.153

0.150

0.147

0.269

0.245

0.234

0.225

0.217

0.209

0.202

0.195

0.190

0.184

0.179

0.174