酸洗、烘烤、分选、单晶装料.ppt

1、1、所需化学药剂及辅助材料： 1.1氢氟酸 1.2硝酸 1.3盐酸 1.4冰醋酸： 纯乙酸在16.6以下时能结成冰状的固体，所以常称为冰醋，乙酸是规定的一种酸度调节剂。,酸 洗,1.5氨水 1.6漏斗 1.7量杯 1.8花篮 1.9搅拌棍 1.10冲洗槽,酸 洗,酸 洗,2、使用的劳保防护用品： 2.1防酸服 2.2防酸雨鞋 2.3防酸围裙 2.4口罩 2.5防酸面罩 2.6防酸手套,酸 洗,3、准备工作： 3.1检查劳保防护用品是否穿戴规范。 3.2检查通风效果是否良好。,酸 洗,4、操作步骤： 4.1当班负责人根据物料的不同性质安排相应的生产工艺。 4.2当硅料装入酸洗花篮中，装料时注意轻

2、拿轻放。容量不得超过该花篮高度的三分之一。,4.3根据各种原料配置不同比例的酸。清洗时应注意勤搅拌，若有大量黄烟说明氢氟酸比例过高，此时应加入硝酸或在通风口处加氨水。待硅料与酸反应不大时应及时换酸。回收的废酸不得超过该桶的三分之二，且桶盖不可拧的太紧，一般二圈半到三圈，再标示该酸的名称。以备再使用。,酸 洗,酸 洗,4.4用清水冲洗硅料上残留的酸防止硅料中有酸残留与碱起反应，转交给碱煮环节。 4.5碱煮过后的硅料必须用5%的氢氟酸加高纯水浸泡3分钟以上，冲洗干净后再进入烘房。 4.6清洗多晶硅时如有U型料，必须将U型部位敲开后作业，因为U型部一般含有石墨。,酸 洗,5、注意事项： 5.1不得擅

3、自更改清洗工艺或盲目生产。 5.2所有原料在清洗过程中不得赤手接触。 5.3水龙头以要用即开，不用即关为原则，杜绝浪费现象。,烘 房 作 业,1、使用工具及设备： 1.1烘箱 1.2超声波 1.3电导率测试仪 1.4花篮 1.5烘车 1.6水池 1.7锦纶网布,烘 房 作 业,2、使用防护用品： 2.1无尘服 2.2无尘帽 2.3防酸雨鞋 2.4口罩 2.5防酸手套,烘 房 作 业,3、准备工作： 3.1检查洁净服，手套，雨鞋，口罩是否穿戴整齐，头发是否暴露。 3.2检查超声波及烘箱的电源是否正常，设备性能是否有异常情况。 3.3检查酸洗入烘房的硅料中是否有酸碱残留并起冲洗干净。,烘 房 作

4、业,4、操作步骤： 4.1对交接班的产品批次、性质、超声时间进行了解。 4.2超声波放入三分之二的高纯水并铺上网布。 4.3将硅料倒入超声波、超声，每台超声波小料不得超过7kg，大料不得超过15kg 4.4启动超声波电源调节所需要的时间。,烘 房 作 业,4.5每隔十分钟搅拌一次，30分钟换一次水。 4.6关闭超声波用高纯水冲洗，硅料连过四个冲水池。 4.7脱水两分钟，待脱水机不在转动时，取出硅料放在花篮上铺开，装烘车推进烘箱。,烘 房 作 业,4.8启动烘箱，设定时间，根据料不同所设定不同的时间。 4.9待到达预设的时间后，戴上PVC手套、尼龙手套检查硅料是否烘干，主要表现为没有成团与叠片现

5、象。 4.10戴上防烫手套拉出烘车关闭电源。 4.11等硅料冷却后装入干净周转箱，填写制程流转卡，并称出流出料的实际重量。,烘 房 作 业,5注意事项： 5.1清洗过程中，不能赤手接触产品，对正在超声的产品要勤搅拌。 5.2产品装入烘车时由上往下装，卸车时由下往上卸，避免铁锈掉入硅料中。 5.3保证周装箱的清洁度。对于较大的块料，必须轻拿轻放，不得直接倒入箱中。 5.4烘箱出料时，必须用耐高温操作以防烫伤，严禁用棉质防护用品与硅料接触。,无 尘 分 选,1、作业使用的工具： 1.1竹镊子 1.2分选盒,无 尘 分 选,2、使用的劳保用品： 2.1无尘服 2.2无尘帽 2.3无尘鞋 2.4口罩

6、2.5手套,无 尘 分 选,3、作业前准备工作： 3.1检查劳保用品是否穿戴规范。 3.2检查洁净房进出口设备是否正常，防止紧急出口的堵塞。进洁净房时必须经风淋十五秒左右。 3.3检查洁净房各处电源开关是否正常，电子称、封包机等各种生产工具性能是否正常。,无 尘 分 选,4、操作步骤： 4.1从烘房口交接产品，并由当班负责人检查产品是否有异常，如有异常情况，需填写“腐蚀车间不良品跟踪表”交至酸洗当班班长处理。 4.2由组长将货分发给线上员工，根据产品性质的不同挑出不良品及垃圾，分选时必须严格把好质量关，杜绝任何含杂质或氧化、蓝/白雾、水印等因酸洗不到位的不良品转入下道工序。,无 尘 分 选,4

7、.3将分选出的不合格品再交至酸洗工序重新作业，合格的产品由品检处进行检查。 4.4经品检后的合格品按相应的重量用无尘袋进行包装，然后用封包机封口存放。并在无尘袋上贴上标签注明相应的品名、批号和总量。 品质部抽检： 主要是对电阻率进出抽检，如果有强电流的要进行剔除,无 尘 分 选,5、注意事项： 5.1穿戴无尘劳保用品时，头发不允许外露、戴三层手套，由内到外顺序依次是一次性尼绒手套、一次性皮手套、棉手套。 5.2净化设备必须定期检修，确保车间内作业温度适宜，如出现呼吸困难等异常现象，立即撤离现场至安全区。,无 尘 分 选,5.3分选作业时，严禁作业人员赤手接触免洗料、严禁不戴口罩近距离对硅料部讲

8、话，以防止硅料中沾有唾液、头发、油脂污染，从而确保免洗料的质量。 5.4打包作业时，操作现场物品需严格区分，以防止笔套、钥匙、竹镊子、标签等非硅料物品混入产品中。,单晶装料,石墨坩埚放在炉内，石英坩埚放在石墨坩埚内，石英坩埚是盛放硅料的容器，一定要注意干净，用时要检验是否干净，里面是否有气泡。,单晶装料,1、作业目的： 为更防止原料在操作过程中玷污，规范员工在装料时使用正确的操作方法，避免因不规范操作影响原料的品质。 2、作定范围： 适用于单晶车间装料作业。,单晶装料,3、作业内容： 3.1、领取原料时保证包装表面干净整洁、无损伤，如果包装袋表面灰尘太多，必须清洁后再领取（防止表面灰尘在装料时

9、掉落在坩埚内）。 3.2、把备好的硅料及石英坩埚放在操作平台上，穿上装料工作服、戴好口罩、无尘帽及PVC手套（防止上身除了脸部之外的其他部位外露，戴好装料手套后只允许碰内包装袋、石英坩埚及原料）。,单晶装料,3.3、打开真空包装取出石英坩埚，检查有无异物，并对光检查石英坩埚有无气泡、黑点、裂纹，如有直径大于2的气泡拒绝使用。确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要抣匀，确认后放置保温盖及装料护板（防止衣袖与保温盖摩擦）。,单晶装料,3.4、取碎料35kg平铺于埚底，大块料放置边上，为了稳固可放一些小块料。中等块的料放置中间，将剩下的小块料放入，尽量填满缝隙。最后整理上部硅料，高出石英坩埚的要向内倾斜（禁止使用金属物品和放在地板上敲料）。,单晶装料,3.5、装料完毕后，用吸尘器吸尽装料时掉