洁净室噪音要求

1、洁净室噪音要求洁净室不仅对室内空气洁净度有严格的要求，而且对操作环境的噪音也有国家标准参数。洁净室车间是比较封闭、压抑的环境，噪音控制不当容易引起车间职员和生产环境的恶化。噪声测量方法：如果房间面积不大于50m2，则仅测量房间中心的一个点。如果房间面积很大，则每次添加50m2时，测量点都会增加一个。测量点距离地面1.0米。如果有条件，应测量房间静态条件的噪音和背景噪音。及格标准：必须满足设计要求，根据(清洁厂设计规范)的要求，洁净室空状态的非定向流式洁净室的噪声不能大于60dB(A)。单向流和混合流洁净室的噪音不应大于65 dB(A)。洁净室噪声控制洁净室噪音标准的开发主要考虑了噪音的苦恼效果

2、、语言通信干扰以及对生产率的影响。据国内对噪音对健康影响的研究，一般产业噪音低于80dB(A)，对健康没有太大影响。国外洁净室噪声标准研究始于20世纪60年代。1966年制定的美国联邦标准209a和1974年修订的209b规定：“洁净室的噪音控制可以进行必要的呼叫，满足操作或产品的要求，将人员保持在舒适安全的范围内。”ISO/DIS14644-4标准(草案)规定：“必须根据洁净室内个人的舒适性和安全要求及其他设备等环境的背压级别选择适当的声压级别。洁净室的声压级别范围为40-65dB(A)。从收集的国内外洁净室的噪声标准来看，有以下几个特点。洁净室的噪音标准一般严格于健康保护标准。在洁净室环境

3、中，噪音条件主要在于保证正常运行，满足必要的对话联系，提供舒适的工作环境。大多数标准提供的范围是65-70dB(A)，医疗保健行业很低。现行标准大部分以a声音水平为评价指标，部分标准也限制了各波段的声压水平。几个标准分别按不同的空气洁净度等级提供噪声容限，而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出了统一的容限。对国内不同行业不同气流型洁净室的静态和动态噪声进行了分析，结果表明，不同气流模式的静态噪声存在很大差异。单向流洁净室的静态噪声测量值为41-64 dB(A)，平均54 dB(A)；单向流，混合流洁净室的静态噪声测量值为51-75 dB(A)，平均65 dB(A)。单向流洁净室比单向流洁

4、净室的静态噪声平均值低约11 dB(A)。单向流洁净室和单向流、混合流洁净室静态噪声的差异与送风(或通风次数)和净化空调系统的特性有关。控制装置噪音应从声源开始，设计时使用低噪音装置。由于技术或经济原因难以做到的情况下，应在噪声输送路径上采取降噪措施。例如，将高音调工艺设备移出洁净室或在隔声之间放置隔离。使用需要放置在干净的室内的高音调设备或隔音罩，可以隔绝噪音。国内部分洁净室将机泵等高噪声设备放在洁净室外套之间，或者位于技术混乱或服务区域内，洁净室噪音明显减少。洁净室的静态噪声主要来自净化空调系统和局部净化装置运行噪音，静态噪声的大小与洁净室气流模式、通风次数等有关。但是空调系统的合理布局和

5、合理的降噪对策是核心。国内外有关资料提出了减少洁净室净化空调系统噪音的措施，并提出了以下几个有效措施。现代洁净室概念文章强调：“应选择满足气流要求的噪音最小的风扇，并采用弹性减振基础。”关于消声器的使用，他说：“管道消声器在高频和中频范围内减少噪音是有效的，风管布置长度在15米以内时，最好使用消声器。”风管连接说明：“通风机和送风管道必须用柔性连接管道分隔。”还需要风扇罩、正压送风系统和管道内衬.对风管系统采取无声和管道固体麦克风预防等措施，可以大大减少洁净室噪音。排气系统噪音对洁净室有很大影响。以集成电路生产为例，在生产过程中，要在外延、扩散、腐蚀、清洗等多个工序上安装排气系统。近年来，清洁

6、工厂排气系统噪声管理越来越受到关注，同时也关注低噪声风扇的选择。洁净室的密封性能较好，噪音不易衰减，清洁室内的工作环境要求比较安静，按规定减少风管风速，减少净化空调系统的阻力，降低风扇压头和速度，减弱风扇噪音，防止风速过重引起的额外噪音。洁净室除了在使用过程中对各位的洁净度、温度和湿度进行测试和控制外，还需要控制噪音标准。人和净化分析洁净室噪声标准及洁净室噪声控制方法。洁净室噪音标准的开发主要考虑了噪音的苦恼效果、语言通信干扰以及对生产率的影响。据国内对噪音对健康影响的研究，一般产业噪音低于80dB(A)，对健康没有太大影响。国外洁净室噪声标准研究始于20世纪60年代。1966年制定的美国联邦

7、标准209a和1974年修订的209b规定：“洁净室的噪音控制可以进行必要的呼叫，满足操作或产品的要求，将人员保持在舒适安全的范围内。”ISO/DIS14644-4标准(草案)规定：“必须根据洁净室内个人的舒适性和安全要求及其他设备等环境的背压级别选择适当的声压级别。洁净室的声压级别范围为40-65dB(A)。从收集的国内外洁净室的噪声标准来看，有以下几个特点。洁净室的噪音标准一般比健康保护标准严格。在洁净室环境中，噪音条件主要在于保证正常运行，满足必要的对话联系，提供舒适的工作环境。大多数标准提供的范围是65-70dB(A)，医疗保健行业很低。现行标准大部分以a声音水平为评价指标，部分标准也

8、限制了各波段的声压水平。几个标准分别按不同的空气洁净度等级提供噪声容限，而大多数标准对不同的空气洁净度等级洁净室提出了统一的容限。对国内不同行业不同气流型洁净室的静态和动态噪声进行了分析，结果表明，不同气流模式的静态噪声存在很大差异。单向流洁净室的静态噪声测量值为41-64 dB(A)，平均54 dB(A)；单向流，混合流洁净室的静态噪声测量值为51-75 dB(A)，平均65 dB(A)。单向流洁净室比单向流洁净室的静态噪声平均值低约11 dB(A)。单向流洁净室和单向流、混合流洁净室静态噪声的差异与送风(或通风次数)和净化空调系统的特性有关。控制装置噪音应从声源开始，设计时使用低噪音装置。

9、由于技术或经济原因难以做到的情况下，应在噪声输送路径上采取降噪措施。例如，将高音调工艺设备移出洁净室或在隔声之间放置隔离。使用需要放置在干净的室内的高音调设备或隔音罩，可以隔绝噪音。国内部分洁净室将机泵等高噪声设备放在洁净室外套之间，或者位于技术混乱或服务区域内，洁净室噪音明显减少。洁净室的静态噪声主要来自净化空调系统和局部净化装置运行噪音，静态噪声的大小与洁净室气流模式、通风次数等有关。但是空调系统的合理布局和合理的降噪对策是核心。国内外有关资料提出了减少洁净室净化空调系统噪音的措施，并提出了以下几个有效措施。现代洁净室概念文章强调：“应选择满足气流要求的噪音最小的风扇，并采用弹性减振基础。

10、”关于消声器的使用，他说：“管道消声器在高频和中频范围内减少噪音是有效的，风管布置长度在15米以内的时候，最好使用消声器。”风管连接说明：“通风机和送风管道必须用柔性连接管道分隔。”还需要风扇罩、正压送风系统和管道内衬.对风管系统采取无声和管道固体麦克风预防等措施，可以大大减少洁净室噪音。排气系统噪音对洁净室有很大影响。以集成电路生产为例，在生产过程中，要在外延、扩散、腐蚀、清洗等多个工序上安装排气系统。近年来，清洁工厂排气系统噪声管理越来越受到关注，同时也关注低噪声风扇的选择。洁净室的密封性能较好，噪音不易衰减，清洁室内的工作环境要求比较安静，按规定减少风管风速，减少净化空调系统的阻力，降低风扇压头和速度，减弱风扇噪音，防止风速过重引起的额外噪音。洁净厂房设计规范的噪声控制标准1、洁净室的噪音级别(空)；单向流洁净室不能大于60dB(A)；单向流；混合流洁净室不能大于65 dB(A)。2、洁净厂房平面、剖面设计应考虑控制要求。洁净室的维护结构应具有良好的隔音性能，接近各部分的隔音量。3、各种清洁室内设备应选择低噪音产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许