单晶炉石墨件安装与装料准备作业指导书

文件名称单晶炉石墨件安装与装料准备作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件的安装与装料准备签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范石墨件的安装与装料准备，确保装料的工艺卫生。适用范围适用于装炉作业作业内容一·安装石墨件1、安装前需检查：1.1、热场的所有石墨器件必须是经过锻烧合格方可使用。1.2、检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端面上没有石英、石墨碳毡及硅粉颗粒。2、底盘安装：将热场底盘放在主室底座上，底盘安装须平稳。底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、对正。3、装电极柱：装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。装电极柱时要检查两个电极柱是否在同一水平面上。4、装石英环：在装石英环时，先用吸尘设备吸除电极周围的粉状杂物。确保石英环在电极和底盘之间起到绝缘作用。5、装石墨加热器：安装加热器时，电极螺丝必须拧紧，加热器与电极的接触部分须垫碳箔，否则会引起放电、打火事故。必须注意的是，每次清炉时电极螺丝先松掉后再拧紧。以防硅蒸汽进入电极螺丝和加热器脚之间的缝隙使之粘住无法拆卸。检查加热器上口是否处于同一水平面。6、安装石墨中轴连接杆：安装连杆时，紧固连杆的螺丝必须加垫片，连杆上下左右晃动的间隙小于1mm。连接杆必须处于正中心位置。安装石墨埚托、三瓣埚：埚托安装须平稳，下降坩埚轴至最低位置时距离加热器脚应不少于2cm。埚托与三瓣埚装配时必须紧密配合（装配时主要检查三瓣埚的底部与埚托是否因加工误差造成高度不一致，装配不紧密）。下降并转动坩埚轴，检查托身上口与加热器上口是否在同一平面。如不在同一平面，检查连杆的锥度与下轴的锥度配合是否紧密，如不紧密须修正连杆的锥度或由设备维修人员检修下轴调节下轴的垂直度。当三瓣埚上口和加热器上口在同一平面时,将此时的埚位记录在运行记录本上。检查三瓣埚与加热器之间的间隙是否均匀(三瓣埚与加热器之间的间隙相差应小于3mm)。7、装保温筒:保温筒必须平稳地安装在底盘止口上,并须检查保温筒与加热器之间的间隙是否均匀。用丝光毛巾或无尘纸蘸少许无水乙醇擦净主室底座与主室接触的密封部位。转回主室直至主室上的导向孔对准导向柱为止。按下控制面板上”下降”按钮,使主室平稳地停在底座上。8、对准温度信号孔:保温筒上的温度信号孔必须和主室炉筒温度信号孔对正，如不对正可旋转保温筒调节9、装上保温罩：上保温罩必须平稳地装在保温筒上,所有止口必须到位；装好隔气环压盖；10、石墨件安装完毕后，如热场需要煅烧，则进入《安装导流筒及大盖》、《合好炉盖》、《副室的清扫、安装》、《安装籽晶》、《抽空》和《煅烧》工序；注意事项及原由装埚杆、埚底、埚盘时要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器；一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动；确认埚杆、埚底、埚盘是否吻合，若有异常及时处理并报告班长或车间主管；二·装料准备认真打扫炉体周围地面，炉筒、炉盖的外侧及周边，用沾有酒精的纸巾擦拭干净；从指定的场所取指定的硅原材料及石英坩埚；将取来的硅原材料放在装料车上，并与料单对照核实下；带好防尘口罩、装料用的手套；远离操作区，用吸尘器将操作者身上浮尘吸净；穿戴好装料用的专用工作服，戴好工作帽子带好防尘口罩、装料用的手套；注意事项及原由彻底打扫炉体及周围卫生，防止装料过程中造成污染；取来的硅原材料及石英坩埚应与上次的数据对照，防止影响单晶型号及各种参数；三·石英坩埚的检查安装1、打开石英坩埚包装，取出石英坩埚，检查有无异物。对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；如有直径大于2mm里层气泡拒绝使用。2、若无异常，用氮气或氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘；3、确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要均匀。装好后开埚转看埚是否对称。注意事项及原由一定要仔细检查石英坩埚是否有异常，石英坩埚若有异常可能会导致成晶困难或漏硅；石英坩埚内残留浮尘会严重影响成晶，吹扫时不要使