DB11-T 1764.8-2021 用水定额 第8部分：集成电路

ICS13.060.25

CCSP41

备案号：86337-2022

DB11

北京市地方标准

DB11/T1764.8—2021

用水定额第8部分：集成电路

Normofwaterintake—Part8:Integratedcircuit

2021-12-28发布2022-04-01实施

北京市市场监督管理局发布

DB11/T1764.8—2021

用水定额第8部分：集成电路

1范围

本文件规定了集成电路用水定额的计算方法、用水定额和管理要求。

本文件适用于集成电路制造企业的用水管理。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T12452企业水平衡测试通则

DB11/T343节水器具应用技术标准

DB11/T1769用水单位水计量与统计管理规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

芯片制造chipmanufacturing

将硅片制成集成电路芯片成品的过程。

注：芯片制造工艺过程主要包括硅片研磨、清洗、薄膜电极、均胶、光刻、显影、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、

扩散/离子注入、气相沉积（包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD））、金属化、化学机械抛光(CMP)

等，经过多次类似的工艺加工过程，形成晶体管等元器件图形结构，并通过金属化连接以构成某种预期的功能，

通过测试最终成为集成电路芯片成品。

封装package

将集成电路芯片封装成集成电路成品的过程。

注：封装工艺过程主要包括对晶圆成品进行来料检查、贴膜、磨片、贴片、划片成为单芯片，并对单芯片进行装片、

键合、塑封/固化、打印/切筋、切割、引线电镀，通过测试检验最终成为集成电路成品。

4计算方法

取水水源

1

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取水水源包括自来水、自备井水、市政再生水，以及从市场购得的其他水或水的产品（如蒸汽、热

水、地热水等）。

取水量供给范围

4.2.1集成电路取水量包括芯片制造取水量和封装取水量。

4.2.2芯片制造取水量的供给范围包括主要生产用水（包括工艺设备用水、工艺冷却用水等）、辅助

生产用水（包括废气洗涤塔用水、POU净化循环系统用水、冷却塔补水用水、空调系统用水等）和附属

生产用水（包括办公生活用水、食堂用水、绿化用水等），不包括外供水、基建用水、消防用水和生活

区用水。

4.2.3封装取水量的供给范围包括主要生产用水（包括工艺设备用水、工艺冷却用水等）、辅助生产

用水（包括冷却塔补水用水、空调系统用水等）和附属生产用水（包括办公生活用水、食堂用水、绿化

用水等），不包括外供水、基建用水、消防用水和生活区用水。

单位产品取水量

单位产品取水量按式（1）计算：

V

V=i·········································································（1）

uiQ

式中：

3

Vui——单位产品取水量，芯片制造产品单位为立方米每片（m/片），封装产品单位为立方米每万

块（m3/万块）；

3

Vi——在一定计量时间内的取水量，单位为立方米（m）；

Q——在同一计量时间内的合格产品产量，芯片制造产品单位为片，封装产品单位为万块。

5用水定额

表1规定了集成电路用水定额。

表1集成电路用水定额

单位产品取水量

产品类别产品规格单位

先进值a通用值b

65nm及以上线宽m3/片7.28.6

芯片制造产品c

60nm～20nm线宽m3/片8.111.5

封装产品-m3/万块4.66.4

a先进值用于新建（改建、扩建）企业的水资源论证、取水许可审批和节水评价。

b通用值用于现有企业的日常用水管理和节水考核。

c芯片制造产品是指300mm（12英寸）芯片制造产品。

6管理要求

2

DB11/T1764.8—2021

再生水输配水管线覆盖地区内，满足使用要求的，应使用再生水。

用水计量器具的配备和管理应符合DB11/T1769的要求。

企业水平衡测试应符合GB/T12452的要求。

节水型生活用水器具应符合DB11/T343的要求，安装率应达到100%。

集成电路制造企业应每年统计用水信息，年度用水信息统计参见附录A。

3

DB11/T1764.8—2021

A

A

附录A

（资料性）

北京市集成电路制造企业年度用水信息表

北京市集成电路制造企业年度用水信息表见表A.1。

表A.1北京市集成电路制造企业年度用水信息表

填表日期：年月日

单位名称

填表部门水量计算起止时间

联系人联系电话

一、基本信息

产品名称产品规格

投产时间占地面积m2

职工人数人建筑面积m2

产线数条绿化面积m2

年产能片（万块）宿舍面积m2

本年度年产量片（万块）下一年计划产量片（万块）

二、设施情况

循环冷却水设备£有£无循环利用率%

废水处理设施£有£无设计处理量m3/d

实际年废水总量m3废水处理回用率%

雨水收集利用设施£有£无蓄水池容积m3

三、用水信息

自来水m3主要生产用水m3