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文档简介

CSTM团体标准《电子级氨水》编制说明

(立项阶段□征询意见阶段√审定阶段□报批阶段□)

1、目的意义

1.1项目提出的背景

电子级异丙醇主要用于液晶面板、集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品,

如清洗液。

随着信息技术的大力发展,对芯片、显示屏等需求量巨大。目前,半导体芯片主要依赖

于进口,但是由于中美贸易战的发生导致其电子化学品等相关行业出现发现受限且由于国际

市场的限制严重的影响了其相关企业的发展,电子级异丙醇作为电子化学品行业尤其是半导

体行业清洗环节必不可少的清洗剂,其高品质、高要求的电子级异丙醇成为其在清洗环节举

足轻重的关键点。目前研究数据表明,电子级异丙醇的品质严重影响其电子化学品成品的合

格率。随着国内电子级异丙醇市场需求量不断攀升,需要建立与该行业适应的质量标准控制

要求,可以更为有效的满足客户和市场对其质量的高标准需求。同时,高标准、高质量的电

子级异丙醇对于电子化学品以及其他行业的发展,建立电子级异丙醇的团体标准对于该行业

的有序发展、规范必将起到重要的助力作用。

当前电子级异丙醇市场需求稳定,生产能力逐年提高,主要产能集中在滨州载元裕能新

材料科技有限公司、浙江建业微电子材料有限公司、深圳新宙邦科技股份有限公司、江阴江

化微电子材料股份有限公司、江苏达诺尔科技股份有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司等

企业中。

目前国内外生产工业级异丙醇的生产方法主要分为丙烯水合法、丙酮加氢法、乙酸异丙

酯氢化法。工业用异丙醇目前发布实施的国家标准为GB/T7814-2017工业用异丙醇。

电子级异丙醇以工业级异丙醇为原料,经加热气化、精馏提纯、过滤纯化制得。电子级

异丙醇主要用于液晶面板、集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品,如清洗液。

1.2标准制定可行性

1.2.1标准所采取的技术符合行业主流发展方向和国家发展战略.

1.2.2国内企业具备制订本标准的技术基础。

1.3制定标准的目的和意义

1.3.1确保产品质量

对产品技术要求、相应的检测方法及包装、运输、贮存等提出要求。

1.3.2促进生产企业质量管理的科学化和规范化

目前我国同类型生产企业经营管理水平及条件设备参差不齐。实施产品标准将会提高生

产企业加强自身质量管理的自觉性,提高质量管理水平。

1.3.3有利于产品进入国际市场

产品的质量可以成为衡量一个企业经营管理优劣的重要依据,产品标准的发布实施将会

提高我国同类型产品在国际贸易中的竞争力。

1.3.4提高相关部门对生产企业进行监督检查的水平

14

可使相关部门对产品生产企业的监督检查工作更具科学性和针对性,提高对行业企业的

监督管理水平。

1.3.5促进生产企业的公平竞争

产品标准势必提高产品的质量,从而带来良好的市场信誉和经济效益,同时也能起到样

板作用,调动落后企业执行产品标准的积极性。通过加强产品的监督检查,还可以淘汰一些

不具备生产条件的企业,起到扶优劣汰的作用。

以市场需求为导向,围绕标准与创新技术相结合,开展新业态、新技术、新产品或新应

用及高质量、高效率标准的制(修)定,达到引领市场、规范市场、促进创新成果产业化落

地的目的。主要介绍标准的立项背景,包括国内外概况、社会需求、存在问题、技术优势等。

2、预期的社会效益、经济效益

2.1拟解决主要问题

随着国内电子级异丙醇市场需求量不断攀升,需要建立与该行业适应的质量标准控制要

求。

建立和规范产品要求,有助于有效指导工艺生产、产品市场推广,提高产品质量,从而

进一步提升行业品质水平,满足下游客户不断提升的品质需求,推动产业升级和可持续发展,

减少贸易摩擦和提高国际市场竞争力。可以更为有效的满足客户和市场对其质量的高标准需

求。

本拟定标准依据行业内最新技术水平制定,性能指标通过大量的试验验证,选择的试验

方法具有可行性。充分考虑了用户的需求,符合我国当前的技术发展要求。

2.2预期的社会效益、经济效益

目前虽有该产品的工业级国家标准,但半导体行业发展迅速,半导体芯片产业对电子级

异丙醇从技术指标和试验方法提出了更为严格的要求,以至于各企业依据客户要求组织生

产,但是未形成统一的指标要求。制定该行业的团体标准对于我国工业发展质量的提高以及

电子化学品中高端价值链的实现将有事半功倍的推动作用。

实现电子级异丙醇生产标准的自主化且实现与国际市场标准的一致性,有利于提高其在

国际市场中的竞争力,有效的减少其电子化学品行业对于该产品依赖于进口的局面。同时,

能有效缓解由于贸易战引起国内企业生产发展受限的问题,实现下游企业原料的国产自主化

替代问题,有效促进国内企业发展的良性循环。该标准的建立能有效遏制其高端产品依赖于

进口的局面,对于整个电子化学品行业乃至下游企业的发展会产生良好社会效益和经济效

益。

3、工作简况

3.1任务来源

标准项目名称:电子级异丙醇。

根据CSTM标准委员会的文件《关于CSTM标准<电子级异丙醇>的立项公告(材试标字

[2022]192号)》的要求,由滨州载元裕能新材料科技有限公司作为主起草单位承担本标准

的制定工作。计划编号为CSTMLX050001041-2022,完成时间为2023年。

3.2协作单位

接到任务后,本标准牵头单位组建了本拟定标准起草工作组。

主要承办单位:滨州载元裕能新材料科技有限公司、浙江建业新材料有限公司、江化微

(镇江)电子材料有限公司等单位。

协作单位:晶瑞(湖北)电子材料有限公司、联仕昆山化学材料有限公司、濮阳迈奇化

学股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、浙江联盛化学股份有限公司。

3.3主要工作过程

3.3.1起草阶段

本拟定标准经过了前期的调研、查阅国内外相关标准及技术资料,于2022年6月召开

的CSTM/FC05/TC04化学试剂标准化技术委员会团体标准立项会议上立项,6月CSTM标委会

批准立项并进行公示,随后我们成立标准起草工作组,制定工作计划,工作步骤及工作进度,

并对各生产单位及委员发出标准征询函,征询各主要生产厂家的生产工艺、近三年的产量等,

然后通过实验验证,编制了电子级氨水征求意见稿、编制说明及实验报告。

3.3.2征求意见阶段

本拟定标准于2023年11完成标准征求意见稿,CSTM化工材料领域橡胶标准化技术委员会

秘书处向全体委员单位及社会上公开征求意见。

3.3.3标准起草单位和工作组成员

主要协作起草单位:滨州载元裕能新材料科技有限公司、浙江建业新材料有限公司、江

化微(镇江)电子材料有限公司、晶瑞(湖北)电子材料有限公司、联仕昆山化学材料有限

公司、濮阳迈奇化学股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、浙江联盛化学股份有限公

司。

起草工作组主要成员:宋彦磊、钟九生、顾燕玲、张啸虎、付登等。主要负责本拟定标

准项目的总体规划,各阶段标准文本的编写和修改以及实验数据收集、整理和分析工作;其

他参与单位参与各阶段标准的编写和修改,负责对标准内容的确认、审核及出具意见。

4、标准编制的原则

4.1制修订标准的依据

按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》和

GB/T20001.10—2014《标准编写规则第10部分:产品标准》的规定起草本标准。

制定本拟定标准的原则是务实求新,制定适用于电子级异丙醇的标准,性能指标通过大

量的试验验证,选择的试验方法具有可行性。通过本拟定标准的制定,适度提升产品的技术

要求并给技术的发展留有空间,使其更适合产业发展。

4.2制修订标准的原则

4.2.1标准要具有科学性、先进性和可操作性。科学性是指新标准的指标值确定应有充分依

据,新标准有利于新产品开发,有利于产品质量的提高;先进性是指新标准要尽可能采用国

际标准或发达国家标准;可操作性是指新标准不能脱离我国国情,70%企业能做到,30%企

业需要经过努力才能做到。

4.2.2与相关标准法规协调一致。与现有的相关标准,包括产品标准和检验方法以及安全生

产法、产品质量法等相关法规要相一致。

4.2.3促进行业健康发展与技术进步。制定产品标准,有利于促进技术进步,提高产品质量,

应符合企业、用户要求,保护消费者利益,成为对最终产品的被动管控转向对整个生产过程

实施主动标准化管控的标志。

5、确定标准主要技术内容的依据

5.1标准主要技术内容制定参考依据

5.1.2国内生产企业及下游用户要求,调查阶段收到的建议。

5.1.3相关产品标准、指标,企业标准。

企业标准:Q/BJY滨州载元裕能新材料科技有限公司等。

国家标准:GB/T7814-2017工业用异丙醇。

行业标准:T/JSSES12-2021电池制造、电子器件制造行业用异丙醇再生液。

国际标准参考资料:SEMI指标。韩国企业产品指标。

5.1.4生产厂家多批次试验数据、产品质量报告(参见附录)。

5.2标准主要内容

5.2.1标准的范围

本文件规定了电子级异丙醇的命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运

输和贮存。

本文件适用于以工业级异丙醇为原料,经提纯制得的电子级异丙醇。主要用作液晶面板、

集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品。

5.2.2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期

的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括

所有的修改单)适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T3143液体化学试剂产品颜色测定法(Hazen单位-铂-钴色号)

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T6324.8有机化工产品试验方法第8部分:液体产品水分测定卡尔.费休库仑电

量法

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T7814—2017工业用异丙醇

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

GB/T11446.1电子级水

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T11638电子化学品中颗粒的测试方法

GB/T13508聚乙烯吹塑容器

GB13690化学品分类和危险性公示通则

GB18564.1道路运输液体危险货物罐式车辆第1部分:金属常压罐体技术要求

GB30000.7化学品分类和标签规范第7部分:易燃液体

GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则

GB/T50591洁净室施工及验收规范

5.2.3技术要求

电子级异丙醇的技术指标应符合表1的规定。

表1电子级异丙醇的技术指标

指标

项目

I级II级III级

外观无色透明液体

异丙醇/wt,%≥99.9999.9899.95

丙酮/wt,%≤0.00020.00100.0030

正丙醇/wt,%≤0.00050.00150.0030

水分/wt,%≤0.00500.00700.0100

色度,Hazen单位(铂-钴色号)≤5510

酸度(以CH3COOH计),mg/kg≤3510

氯化物(以Cl-计),μg/kg≤11020

硝酸盐(以NO3-计),μg/kg≤11020

硫酸盐(以SO42-计),μg/kg≤11020

3-

磷酸盐(以PO4计),μg/kg≤11020

银(Ag),ng/kg≤5100300

铝(Al),ng/kg≤5100300

砷(As),ng/kg≤5100300

金(Au),ng/kg≤5100300

硼(B),ng/kg≤50300500

钡(Ba),ng/kg≤5100300

钙(Ca),ng/kg≤5200500

镉(Cd),ng/kg≤5100300

钴(Co),ng/kg≤5100300

铬(Cr),ng/kg≤5100300

铜(Cu),ng/kg≤5100300

铁(Fe),ng/kg≤10300500

镓(Ga),ng/kg≤5100300

锗(Ge),ng/kg≤5100300

钾(K),ng/kg≤10100300

锂(Li),ng/kg≤5100300

镁(Mg),ng/kg≤5100300

锰(Mn),ng/kg≤5100300

钠(Na),ng/kg≤10200500

镍(Ni),ng/kg≤5100300

指标

项目

I级II级III级

铅(Pb),ng/kg≤5100300

锡(Sn),ng/kg≤5100300

锶(Sr),ng/kg≤5100300

钛(Ti),ng/kg≤5100300

钨(W),ng/kg≤5100300

锌(Zn),ng/kg≤5100300

≥0.5μm,个/mL≤1050100

颗粒数

≥0.3μm,个/mL≤50200500

5.2.4产品分类

电子级异丙醇按纯度、金属、颗粒等指标分为Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级共3个等级。I级主要

用于半导体行业;II级主要用于高制程面板行业;III级主要用于低制程面板行业。

5.2.5指标项目的确定

通过对国内外标准资料的检索,目前没有查阅到对应的国际标准或国外先进标准,本次

标准制定主要根据搜集到的国内主要生产企业企标或产品指标、国内生产实际情况和用户的

要求确定相应的指标。

根据标准制定工作组会议讨论,拟设置外观、异丙醇、丙酮、正丙醇、水分、色度、酸

度、氯化物、硝酸盐、硫酸盐、磷酸盐、颗粒数及金属元素银、铝、砷、金、硼、钡、铍、

铋、钙、镉、钴、铬、铜、铁、镓、锗、钾、锂、镁、锰、钠、镍、铅、锑、锡、锶、钛、

钨、锌多项指标。

5.2.6指标参数的确定

5.2.6.1外观

外观用于对产品是否正常、是否有其它机械杂质混入进行直观和定性的考察。生产工艺

不同,生产出的产品颜色存在差异。大部分企业标准中均设置外观指标。

本标准规定其外观为无色透明液体,无可见机械杂质

5.2.6.2异丙醇、丙酮、正丙醇

异丙醇、丙酮、正丙醇:

异丙醇作为高纯度试剂纯度需要在99.95%以上,但是丙酮和正丙醇作为其合成过程中的

必须存在的杂质其杂质的大小会影响其纯度的降低,且会影响其在后期清洗过程中的清洗效

果。

5.2.6.3水分

水分:水分可以与某些化学物质反应,导致纯度降低。过多的水分可能会影响化学品的

物理性质,为了确保电子化学品的质量,需要对制备过程中的水分进行严格的控制。本拟定

标准中,I级≤0.0050%、II级≤0.0070%、III级≤0.0100%。

5.2.6.4色度

色度:色度的对湿电子化学品产品质量的意义主要体现在色度可以反映出产品的纯度,

因此,通过严格控制色度,可以确保产品纯度的一致性。本拟定标准中,I级≤5、II级≤5、

III级≤10。

5.2.6.5酸度

酸度:酸度控制可以确保产品的稳定性以及一致性。具有特定酸度的化学品能够更好地

满足工艺需求。良好的酸度控制还能避免产品变质或失效的可能性。本拟定标准中,I级≤

3mg/kg、II级≤5mg/kg、III级≤10mg/kg。

5.2.6.6氯化物

氯化物:氯化物等负离子污染物在半导体制程生产中会造成漏电、侵蚀和金属物质的

电离等影响,故根据半导体产业用户对产品的需求,本标准对电子级异丙醇中氯化物指标划

分为Ⅰ级≤1ng/kg、Ⅱ级≤10ng/kg、Ⅲ级≤20ng/kg三个级别。

5.2.6.7硝酸盐

硝酸盐:硝酸盐、等负离子污染物在半导体制程生产中会造成漏电、侵蚀和金属物质

的电离等影响,故根据半导体产业用户对产品的需求,本标准对电子级异丙醇中硝酸盐指标

划分为Ⅰ级≤1ng/kg、Ⅱ级≤10ng/kg级、Ⅲ级≤20ng/kg三个级别。

5.2.6.8硫酸盐

硫酸盐:硫酸盐等负离子污染物在半导体制程生产中会造成漏电、侵蚀和金属物质的电

离等影响,故根据半导体产业用户对产品的需求,本标准对电子级异丙醇中硫酸盐指标划分

为Ⅰ级≤1ng/kg、Ⅱ级≤10ng/kg、Ⅲ级≤20ng/kg三个级别。

5.2.6.9磷酸盐

磷酸盐:磷酸盐等负离子污染物在半导体制程生产中会造成漏电、侵蚀和金属物质的电

离等影响,故根据半导体产业用户对产品的需求,本标准对电子级异丙醇中磷酸盐指标划分

为Ⅰ级≤1ng/kg、Ⅱ级≤10ng/kg、Ⅲ级≤20ng/kg三个级别。

5.2.6.10颗粒数

颗粒数:在半导体制程工艺中,需要在纳米级别尺度生产和加工集成电路,极其微小的

粒子污染就会严重影响产品的质量,大大降低产品良率。本标准结合半导体产业用户对产品

的需求,对电子级异丙醇中颗粒物指标划分为Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级三个级别。

表2颗粒数

项目I级II级III级

≥0.5μm,个/mL≤1050100

颗粒数

≥0.3μm,个/mL≤50200500

5.2.6.11金属元素

金属元素:随着半导体制程线宽已达纳米级别,细微的金属污染都可能改变半导体的性

质,电子级异丙醇是芯片湿法清洗的关键材料,需要直接与硅片接触,其金属离子的控制对

于确保产品良率至关重要。结合半导体产业用户对产品的需求,本标准对电子级异丙醇金属

元素划分为了Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级三个级别。

5.2.7产品测试方法

5.2.7.1外观的测定

取适量样品置于50mL烧杯中,在日光灯或自然光下目测观察。

5.2.7.2异丙醇、正丙醇及丙酮等杂质质量分数的测定

采用气相色谱法,在选定的工作条件下,将试样气化后通过色谱柱,使待测定的各组分

分离,用氢火焰离子化检测器检测,采用面积归一法计算异丙醇、正丙醇及丙酮等杂质的质

量分数。

5.2.7.3水分的测定

样品称取量为0.5g~3g(精确至0.0001g),按GB/T6324.8的规定进行测定。

5.2.7.4色度的测定

按GB/T6324.6的规定进行测定,或按GB/T3143的规定进行测定。

GB/T6324.6规定的方法为仲裁法。

5.2.7.5酸度的测定

按GB/T7814—2017中5.7的规定进行测定。

5.2.7.6阴离子的测定

按GB/T34672的规定进行测定,相应的检测环境应符合GB50591规定的洁净度等级为5

级的要求。

5.2.7.7金属离子的测定

按SJ/T11637的规定进行,相应的检测环境应符合GB50591规定的洁净度等级为5级的

要求。直接进样,有机方法。

5.2.7.8颗粒数的测定

按SJ/T11638的规定进行,相应的检测环境应符合GB50591规定的洁净度等级为5级的

要求。

5.2.7.9等效说明

允许采用等效检验方法,但在出现争议时应以本标准规定的检验方法为基准方法。

5.2.8检验规则

5.2.8.1出厂检验

本文件第4章规定的项目均为出厂检验项目,出厂检验每批都进行检测金属含量。

5.2.9标志、包装、运输、贮存

结合行业实际特点,对标志、包装、运输、贮存、安全作出规定。

6、主要试验(或验证)情况分析

1、重点生产企业产品检验检测数据

参见附录试验报告。

2、结果分析

通过国内几家重点生产企业提供的对电子级异丙醇检验检测多批次数据进行比对,可以

得到本拟定标准的技术指标数据符合国内产品的生产现状要求,检验检测方法可以满足实际

生产、销售、下游用户的应用要求,试验方法可行。

7、与国际、国外同类标准水平的对比情况

电子级异丙醇大多使用国际半导体设备和材料组织(SEMI)规定的标准,本标准技术水

平达到国际同类产品的先进水平。

本标准指标与国际半导体设备和材料组织(SEMI)相比,多了还原物质、颗粒度、Ag、

Au、Ba、Be、Bi等18种元素的要求。检测方法与SEMI相比仅存在一些微小差异,测定方法中

涉及有国标或行标通则的,都采用通则测定。

本标准与相关标准主要参数对比见表3。

表3本标准与相关标准主要参数对比表

企业标准

国家标准

拟立项标准指标Q-321112

GB/T7814-2017

项目CJE006-2018

III

I型II型III型-

E1E2优等品合格品

异丙醇w/%≥99.9999.9899.9599.999.999.999.999.7

丙酮w/%≤0.00020.00100.0030-----

正丙醇w/%≤0.00050.00150.0030------

水分,mg/kg≤5070100100100050010002000

色度,Hazen单位

≤551010551010

(铂-钴色号)

酸度(以CH3COOH

≤3510515152020

计),mg/kg

氯化物(以Cl-

≤110201020050--

计),μg/kg

硝酸盐(以NO3-

≤1102010------

计),μg/kg

硫酸盐(以SO42-

≤110201020050--

计),μg/kg

磷酸盐(以PO43-

≤1102010----

计),μg/kg

银(Ag),ng/kg≤5100300100--104--

铝(Al),ng/kg≤5100300100105104--

砷(As),ng/kg≤5100300100--104--

金(Au),ng/kg≤5100300100--104--

硼(B),ng/kg≤50300500100--104--

钡(Ba),ng/kg≤5100300100105104--

钙(Ca),ng/kg≤5200500100105104--

镉(Cd),ng/kg≤5100300100--104--

钴(Co),ng/kg≤5100300100------

铬(Cr),ng/kg≤5100300100--104--

铜(Cu),ng/kg≤5100300100105104--

铁(Fe),ng/kg≤10300500100105104--

镓(Ga),ng/kg≤5100300100------

锗(Ge),ng/kg≤5100300100--104--

钾(K),ng/kg≤10100300100-104--

锂(Li),ng/kg≤5100300100--104--

镁(Mg),ng/kg≤5100300100105104--

锰(Mn),ng/kg≤5100300100105----

钠(Na),ng/kg≤10200500100105----

镍(Ni),ng/kg≤5100300100105----

铅(Pb),ng/kg≤5100300100105104--

企业标准

国家标准

拟立项标准指标Q-321112

GB/T7814-2017

项目CJE006-2018

III

I型II型III型-

E1E2优等品合格品

锡(Sn),ng/kg≤5100300100--104--

锶(Sr),ng/kg≤5100300100--104--

钛(Ti),ng/kg≤5100300100--104--

钨(W),ng/kg≤5100300-----

锌(Zn),ng/kg≤5100300100105104--

≥0.5μm,个

颗≤105010020----

/mL

≥0.3μm,个

数≤50200500-----

/mL

8、与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系

本标准充分参照相关国家标准进行制定,不违背现行相关法律、法规和强制性标准。本

标准在编制过程中,有关条款参照了现有国家标准或行业标准,尽量避免重复,力求简化。

内容上力求突出电子级氨水的性能技术要求及其试验方法,层次上尽量体现与各标准之间的

衔接配套关系。

9、知识产权情况说明

经中华人民共和国国家知识产权局专利检索,本标准不涉及专利。

10、重大分歧意见的处理经过和依据

无。

11、贯彻标准的要求和措施建议

本标准为国内首次制定,建议化工材料标准化委员会秘书处在标准颁布后及时组织相

关标准宣贯活动,让相关生产企业及相关用户及时了解到标准最新信息,了解熟悉检测新

技术并能更好地应用于日常质量控制之中,推动标准的顺利实施。

12、替代或废止现行有关标准的建议

本标准是新制定评定电子级氨水的产品标准,所以不涉及废止现行相关标准的建议。

13、其他应予说明的事项

无。

附录:产品多批次检测数据

表1江阴江化微公司多批次产品检测数据

批号12345678

无色透明无色透明无色透明无色透明无色透明无色透明无色透明无色透明

外观

液体液体液体液体液体液体液体液体

异丙醇含量

99.99699.99799.99399.99299.99199.99799.99399.998

%99.99-

水份

0.0040.0040.0040.0040.0040.0040.0040.004

%-0.005

色度

黑曾(Hazen)<5<5<5<5<5<5<5<5

-5

酸度(以H+计)

mmol/100g-0.0100.0120.0120.0100.0100.0100.0100.010

0.015

氯化物(Cl)

<50<50<50<50<50<50<50<50

ppb-50

硝酸盐(NO3)

<50<50<50<50<50<50<50<50

ppb-50

硫酸盐(SO4)

<50<50<50<50<50<50<50<50

ppb-50

磷酸盐(PO4)

<10<10<10<10<10<10<10<10

ppb-10

银(Ag)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

铝(Al)

<0.01<0.010.020<0.010.0510.0150.092<0.01

ppb-0.1

砷(As)

0.0110.0150.0120.014<0.01<0.01<0.010.011

ppb-0.1

金(Au)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

硼(B)

0.0920.0870.0700.0670.0700.0900.0730.066

ppb-0.1

钡(Ba)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

钙(Ca)

0.0600.0500.0500.0550.0600.0430.0910.054

ppb-0.1

镉(Cd)

<0.01<0.010.012<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

钴(Co)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

铬(Cr)

0.0120.0120.0150.0130.0160.0110.0180.021

ppb-0.1

铜(Cu)

<0.010.0130.021<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

铁(Fe)

<0.01<0.010.0190.0140.0190.0160.011<0.01

ppb-0.1

镓(Ga)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

锗(Ge)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

钾(K)

<0.01<0.010.0120.015<0.010.069<0.01<0.01

ppb-0.1

锂(Li)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

镁(Mg)

<0.010.013<0.010.0210.0120.0230.0110.020

ppb-0.1

锰(Mn)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

钠(Na)

0.0180.0260.0180.0270.0190.024<0.010.028

ppb-0.1

镍(Ni)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

铅(Pb)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

锡(Sn)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

锶(Sr)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

钛(Ti)

<0.01<0.01<0.01<0.010.013<0.010.013<0.01

ppb-0.1

锌(Zn)

<0.010.0250.070<0.010.034<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

钨(W)ppb-<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

颗粒(≥0.5μm)

4.81.51.13.51.81.83.61.7

个/mL-

颗粒(≥0.3μm)

14.34.15.313.14.85.88.65.1

个/mL-15

表2滨州载元裕能公司多批次产品检测数据

序号1234567

无色透明无色透明无色透无色透明无色透明无色透明无色透明

外观

液体液体明液体液体液体液体液体

IPA/%99.993899.995699.98799.996599.995599.996199.9946

丙酮/%000.000190000

正丙醇/%0000000

水分mg/kg49403858505236

色度Hazen1.71.20.60.700.91.6

酸度(以CH3COOH)计mg/kg4.674.925.375.484.33.786.95

0.1or0.1or0.1or0.1or

氯化物(以Cl-计)μg/kg0.420.270.34

lesslesslessless

0.1or0.1or0.1or0.1or

硝酸盐(以NO3-计)μg/kg0.190.210.79

lesslesslessless

0.1or0.1or0.1or0.1or

硫酸盐(以SO42-计)μg/kg0.320.450.91

lesslesslessless

0.1or0.1or0.1or0.1or

3-

磷酸盐(以PO4计)μg/kg0.280.620.63

lesslesslessless

1or

银(Ag)ng/kg245424

less

1or1or1or1or

铝(Al)ng/kg596

lesslesslessless

1or1or1or1or1or

砷(As)ng/kg

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