3504欧路表操作指南

3504欧路表入门简介：初步认识3504欧路表是一种可以通过调节功率、电压或者电流等实现对设备温度的控制仪器。其按键如图1所示A/MAN自动/手动PROG选择常用程序参数RUN/HOLD启动/暂停换页键，选择新的菜单选择菜单中新的参数减小参数数值或改变程序状态增大参数数值或改变程序状态该欧路表中共有4个访问等级，不同访问等级具有不同参数设置和作用，如表2所示：操作等级初始菜单全部操作参数配置控制Level1YESLevel2YESLevel3YESConfigaration基本操作=1\*GB3①在任何显示界面下，可通过长时间按住进入访问菜单：在该菜单下主要有以下一些参数：GotoLevel1Level2Level3Configration分别进入不同访问等级A/MANFuncONOFF使用自动/手动按键禁止自动/手动按键RUN/HOLDFuncONOFF使用程序启动/暂停按键禁止程序启动/暂停按键IRMODEONOFF允许使用红外接口禁止使用红外接口KeylockALLNONE禁止所有面板按键使用允许面板按键使用在参数Goto可通过按住上下选择键分别进入4个不同访问等级：Level1，Level2，Level3，Config注意：千万别在机器工作时进入Config等级中=2\*GB3②在进入不同访问等级后，可以在该等级中访问各个菜单以及菜单下的各个参数。如进入Level2后，你可以通过访问到以下几个主要菜单：菜单名注解ProgramStatus程序状态菜单ProgramEdit程序编辑菜单AlarmSummary报警摘要菜单AlarmSettings报警设置菜单ControlPage控制摘要菜单WSP/MANOP主菜单，显示实际工作设定值以及功率输出比一．在菜单Programstatus中通过可以访问以下几个重要参数：参数参数取值意义Program1到最大允许程序数程序序号Segment1到最大允许段号数段号SegtimeLeft时间数值段剩余时间Status分别为RUNHOLDENDRESET四个取值程序状态PSP设定数值曲线设定值Cur.Seg.Type当前段类型SegmentTarget设定数值段目标值Segmentrate设定数值段斜率注：1在该菜单下有些参数值需要程序运行时才会出现，即Status为RUN时。2.SegmentTarget和Segmentrate取值分别为当前段目标设定值和变化速率，可以直接通过增大或减小数值来重新修改当前段目标值和变化速率。二．在菜单ProgramEdit中可以访问以下主要的参数Program程序号SegmentsUsed所用的段号数Segment该段段号TargetSP该段段号目标值RampRate斜率（单位时间里电压数值变化多少）PIDSet当前段相关的PID设置SegmentType该段类型注：1该菜单主要是用于程序编辑所用.2还有一些用于程序编辑的参数这里没有列出。三．在菜单ControlPage中主要有以下一些重要参数：SPSelect选择SP1或者SP2来设定值的选择范围SP1设定SP1的值SP2设定SP2的值SPRate设定值的变化速率OutputHi输出上限OutputLo输出下限SafeOP开路时传感器的输出注：其中OPHi为设定的最大功率输出，所以当实际显示值与当前设定值差距较大时，可能是由于OPHi值有关，此时可修改OPHi值达到实际显示值与当前设定值一致目的。3.一些快捷键的使用=1\*GB3①按住后，再按住实现向前翻菜单。=2\*GB3②按住后，再按住实现向前翻参数。=3\*GB3③同时按住和可实现回到初始页。=4\*GB3④在初始页同时按住和可实现确认所有的报警。关于触摸屏的简介：该触摸屏主要有如图所示的8个页面，分别为主画面、真空系统、温度控制、运动系统、循环水系统、数据曲线、报警记录以及报警音响。下面一一介绍主画面在主画面中可以看到设备及晶体的各种主要参数：=1\*GB3①各个循环水管的水温，=2\*GB3②晶体的温度，=3\*GB3③晶体位置、拉伸运动速度、旋转速度、籽晶杆重量，=4\*GB3④加热器电流、电压、电阻和功率，=5\*GB3⑤真空度和阀门启动情况真空系统在该界面中可以实现打开机械泵和扩散泵来控制设备的真空度，直接在阀门位置通过触摸即可打开阀门，也可以设置好连锁条件设置参数实现自动控制。抽真空步骤大体顺序可在画面中“启动运行状态”显示出来，当处于自动控制时会按照启动顺序启动。“停止运行状态”中为关闭阀门停止抽真空时的运行顺序。3．温度控制当真空度达到要求时，可以在该温度控制菜单界面下启动加热系统。=1\*GB2⑴首先点击“本地控制”，此时会变为“远程控制”，=2\*GB2⑵然后点击“启动”。就可以实现设备按照欧路表中设定的程序进行加热。界面中还显示欧路表的程序状态部分参数以及不同热电偶的温度值。“自动控制参数设置”可以通过输入工艺配方参数来实现自动控制温度。目前该控制设置还是无效状态（根据厂家说法）。4．运动控制在运动控制界面下，可以看到籽晶的当前位置，运动速度，旋转速度以及在籽晶上已生长晶体的重量。当选择“手动控制”时，在“手动控制参数设置”中可以手动实现籽晶杆位置的定位、运动速度、旋转速度的设定。当选择“自动控制”时，籽晶会按照“自动控制参数设置”的步骤来运行。5.循环水系统循环水系统主要有以下几个循环水路的监控：=1\*GB2⑴上下盖循环水=2\*GB2⑵水冷电极1循环水=3\*GB2⑶水冷电极2循环水=4\*GB2⑷籽晶杆循环水=5\*GB2⑸循环水总管循环水；该菜单界面下可以看到主要的循环水温度以及循环水流量报警，同时水流量不足或水温过高报警参数可以在该页面中设置6.数据曲线在数据曲线菜单中可以看到主要包括：=1\*GB2⑴温度曲线=2\*GB2⑵运动曲线=3\*GB2⑶真空曲线=4\*GB2⑷加热曲线上图所示的分别为温度曲线加热曲线以及运动曲线不同界面。=1\*GB2⑴在温度曲线中可以看到T1，T2,T3随时间的温度变化曲线。=2\*GB2⑵在运动曲线中可以看到晶体重量、旋转速度、籽晶杆位置、拉伸速度、定位速度随时间的变化曲线。=3\*GB2⑶真空曲线中可以看到真空度、真空变化率以及氩气流量随时间的变化曲线。=4\*GB2⑷在加热曲线中可以看到功率、电压、电流以及电阻随时间的变化曲线。在各个曲线中，为了更好的观测和分析数据曲线，可以直接通过输入数值设置纵坐标和横坐标的范围。查看具体某段时间的曲线，首先点击“曲线开始时间”输入曲线的开始时间，然后调节好曲线的上下坐标范围和时间跨度，即可读出该曲线的变化趋势图。7.报警记录该菜单主要由“实时报警”和