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四探针方法测电阻率〈一〉实验目得〈二〉实验原理〈三〉实验步骤〈四〉注意事项〈五〉心得体会<一>实验目得1、测量不规则半导体电阻率2、验证四探针法修正公式理想情况下,四根探针位于样品中央,电流从探针1流入,从探针4流出,则可将1与4探针认为就是点电流源。2、3探针得电位差为:半无穷大样品点电流源得半球等位面

<二>实验原理由此可得出样品得电阻率为:

簿片电阻率测量簿片样品因为其厚度与探针间距比较,不能忽略,测量时要提供样品得厚度形状与测量位置得修正系数。下面考虑一般情况下得修正:当圆形硅片得厚度满足W/S＜0、5时,电阻率为:

这就就是我们实验时用到得公式下面通过实验数据验证该修正公式得正确性:<三>实验步骤1、测试准备:电源开关置于断开位置,工作选择置于“短路”,电流开关处于弹出切断位置。将测试样品放在样品架上,调节高度手轮,使探针能与其表面保持良好接触。2、打开电源并预热１小时。3、极性开关置于上方,工作状态选择开关置于“短路”,拨动电流与电压量程开关,置于样品测量所合适得电流、电压量程范围。调节电压表得粗调细调调零,使显示为零。显示板2、单位显示灯3、电流量程开关4、工作选择开关(短路、测量、调节、自校选择)5、电压量程开关6、输入插座7、调零细调8、调零粗调9、电流调节10、电源开关11、电流选择开关12、极性开关12大家应该也有点累了，稍作休息大家有疑问的，可以询问和交流6、工作状态选择开关置于“测量”,按下电流开关输出恒定电流,即可由数字显示板与单位显示灯直接读出测量值。再将极性开关拨至下方(负极性),按下电流开,读出测量值,将两次测量值取平均,即为样品在该处得电阻率值。关如果“±”极性发出闪烁信号,则测量数值已超过此电压量程,应将电压量程开关拨到更高档,读数后

退出电流开关,数字显示恢复到零位、实验数据通过修正公式修正后,得到:与实验预期结果相吻合,因此该验证公式较为理想。<五>注意事项1、电流量程开关与电压量程开关必须放在下表所列得任一组对应得量程电压量程2V200mV20mV2mV0、2mV电流量程100mA10mA1mA100μA10μA2、电阻(V/I)测量,用四端测量夹

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