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文档简介

PAGEPAGE12中华人民共和国国家标准液晶显示器件生产设备安装工程施工与质量验收规范条文说明目次1总则 23安装工程施工 43.1一般要求 43.2安装前的贮存 43.3施工条件 53.4施工准备 53.5设备搬运 63.6设备开箱 63.7设备安装 73.8二次配管配线 84设备试运行 94.1一般要求 94.2试运行前的准备 104.3设备试运行 105工程验收 115.1一般规定 115.2交接验收 125.3竣工验收 121总则由于节能、环保、轻薄和便于携带等特点,在数字显示时代,液晶显示器件已广泛应用于手机、移动DVD、工控仪表、个人电脑监视器、数码相框、笔记本电脑、显示屏和液晶电视等数字终端产品。自2007年以来,中国液晶显示产业发展的主要特点是,产品发展迅速,并呈现多元化发展的趋势;产品链建设取得明显进展;中、小尺寸生产线十分活跃;整机企业开始介入上游领域;中、西部地区的平板显示产业开始起步,这些都为液晶显示器件生产设备的研发和生产提出了更大需求。随之,投资规模逐年扩大,近年来国产液晶显示器件生产设备已进入大生产线,并逐步替代进口。目前液晶显示器件的主流技术是薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)。TFT-LCD是使用薄膜晶体管有源矩阵型的液晶显示器件。为满足液晶显示器多路驱动性能,在每个显示像素位置制作一个薄膜场效应三极管(薄膜晶体管),通过对薄膜场效应管的控制,控制驱动液晶显示器的像素,可大大改善液晶显示器性能。TFT-LCD是一种三端有源器,a-Si-TFT-LCD是目前技术最为成熟、生产规模最大的平板显示器件。TFT-LCD是一种可以实现视频、真彩、高品质图像显示的液晶显示器,在手机、个人掌上电脑、车载导航仪、笔记本电脑、个人台式电脑、高清晰度电视以及公共显示中被广泛采用。由于液晶显示器件生产设备属于专用生产设备,其生产、包装、搬运、运输、储存、安装、调试等对人、机、料、法、环和检测诸方面都有不同于其他设备的特殊要求。搞好该类设备的安装工程施工与质量验收,才能确保其可靠运行,从而生产出高质量的产品,并提高其生产效率、经济效益和社会效益,以促进电子信息产业的又好又快发展和社会进步。本条规定了该规范的适用范围。对于液晶显示器件生产设备,主要是进行阵列、成盒和模组等三个工艺过程,具体包括清洗与干燥、光刻、取向排列、制盒、切割、灌注液晶、目测、电测、贴片、上引线、包装等工艺设备。有关专家指出,当前国内企业应从TFT-LCD后序设备入手,重点是在TFT-LCD移载设备、清洗设备、摩擦线设备、COG设备和TFT薄膜沉积设备等方面形成配套能力,积极开展6代面板生产线阵列等前道工艺设备的研究开发,重点提高湿/干法刻蚀机、液晶灌注机等研制水平。目前,涉及到的液晶显示器件生产设备有:清洗机、干燥机、摩擦机、划线机、刻蚀机、液晶灌注机、邦定机、光固化机、整平机、偏光片除泡机、偏光片贴片机、涂布机和曝光机等,该规范将适用于这些设备和其他相应设备。3安装工程施工3.1一般要求3.1.1微电子生产设备是按生产流程布置、其位置由工艺决定,不能任意更改,故规定应按批准的设计图纸施工,修改设计应有设计单位的变更通知。3.2安装前的贮存3.2.1该条对普通液晶显示器件生产设备在暂不安装就位进行贮存前的检查事项做出规定。3.2.2该条对普通液晶显示器件生产设备中转库的结构及库内环境要求做出规定。3.2.3该条对普通液晶显示器件生产设备的贮存规则做出规定。对设备存放做出的这些规定目的在于保证设备出库时不致因设备存放混乱而造成倒库,增加设备损坏的风险,浪费设备出库的时间,这也是保证设备安装进度的措施之一,并明确规定禁止存放具有腐蚀性、易燃易爆物品,严禁火种接近的要求,其目的除从通常的人身及设备的安全考虑外,设备的价格特别昂贵也是重要原因。所以在设备安装的任何一个环节,对设备的安全都是重点考虑的问题之一。3.3施工条件3.3.1条文列出了液晶显示器件生产设备安装工程施工应具备的技术文件。其中除施工组织及施工方案由施工单位提供外,其余的技术文件应由建设单位提供。3.3.2提出洁净厂房空态验收合格,且空调系统连续正常运行24h以上,目的是保证各洁净室(区)的洁净度、温湿度、房间压差,等环境参数达到设计要求,从而满足液晶显示器件生产设备在洁净室(区)安装就位后对环境的要求,所以将这一条定为液晶显示器件生产设备搬入安装的基本条件之一;提出安装生产设备时,人流已进入受控阶段,为确保洁净室(区)净化指标不被破坏,人员进入洁净室(区)应经过已启用的风淋室,其它临时入口一概封堵,故条文规定人员净化室已启用,并有专人按洁净厂房管理制度进行管理的规定;建筑结构振动特性已验收测试及分析合格,及规定要先对防微振设施进行测试验收,目的是为满足有防微振设备的要求;规定在设备搬入前厂房的消防设施、防雷设施已安装验收完成,防止设备搬入以后发生火灾或雷击情况无法对设备进行有效保护。3.4施工准备3.4.1该条对进入洁净厂房设备安装的作业人员、技术人员及管理人员作出规定,其中包括净化施工培训、特殊工种持证上岗、着装要求、限制人数要求、作业人员、技术人员及管理人员安装前需熟悉的技术资料及有关注意事项。这些规定的目的均是为确保洁净厂房环境参数不受破坏,也是确保工艺产品达到设计能力的前提,所以这些规定均很重要,施工人员应严格执行。3.4.2为防止对洁净室(区)和开箱后的设备造成污染,凡在洁净室(区)内使用的设备如手动液压搬运车、搬运坦克车、门式起重架、手动葫芦、簿型千斤顶、起道器、镀锌撬杠、橡胶垫块或经防尘处理的垫木、水平尺、筐式水平仪或合像水平仪、冲击电钻、手电钻、铝合金人字梯、无尘室专用吸尘器等都应遵守本条第1款规定。第2款对室外搬运用机具从可靠性及吊具的强度、索具的柔软性方面提出要求,防止在捆绑和吊装、运输中对设备造成损伤。3.4.3条文对安装设备用的材料做作出规定,其中1~6款的核心内容是为防止任何材料上附着的尘埃、铁锈、铜锈、油腻被带入洁净室(区)而破坏工艺环境所作的相关规定;并要求所用材料在使用过程中也不生锈、不散发尘埃,使用的紧固件、易老化的密封材应有产品合格证都是出于同一目的;第7款式对进入洁净室(区)的文件资料要求。3.5设备搬运3.5.1为分清责任,所以在设备搬运前要由有关方共同对设备进行检查,确认设备件数、包装状态及设备超倾钭装置的状态,并在出现异常时应留下法律认可的证据。3.5.2~3.5.4该条文对液晶显示器件生产设备在室外搬运过程中,对设备安全和任何一个环节都不得产生对设备有害的振动而作出的相关规定。3.5.6国家现行标准GB6067《起重机械安全规程》中规定,在架空输电线路一侧工作时,不论在任何情况下,起重臂、钢丝绳或重物等与1kV以下架空输电线路的最近距离不小于1.5m。3.5.7条文对搬运通道采取的防护措施做出规定,包括为防止对搬运通道、墙、地的刮伤而采取的铺垫措施和防止损坏架空地板结构、确保设备安全地搬运到位而提出的有关活动地板加固要求,选用的材料都是目前常用的防护材料。3.5.83.5.9从平稳性和省力的角度考虑,气垫搬运法是在平地搬运精密、重型设备较理想的方法,但由于其装置价格相对昂贵且利用率低,使用尚不普遍。3.5.10由于活动地板的承载能力有限,在活动地板上吊装设备,要根据设备重量和地板结构情况编制安全可靠的吊装技术方案。3.6设备开箱3.6.1条文明确了开箱责任人员的组成,目的在于设备一旦发现问题,便于分析产生的原因、分清责任,做出正确的处理意见。3.6.2对拆除外包装的地点做出规定,是为避免在地面拆除外包装后进行垂直吊运对设备增加的风验;规定要完整保留内包装的目的是不让室外空气中尘埃污染设备。3.6.3该条文对设备开箱的步骤和应注意的事项作出了明确的规定,也是为确保生产设备安全的措施之一。3.6.43.6.5本条规定了拆除内包装的场所,同时规定了拆除內包装后应立即由参加开箱的各方代表共同进行检查和清点,发现异常时应及时照相或录像,为分析、解决问题留下有效依据;设备拆除內包装后应尽快搬入洁净室(区),这是因为设备裸露以后不允许长时间置于亚洁净的气闸室。3.6.6该条文对设备开箱后需要检查的事项作出了规定,并明确要求及时办好附件、技术文件移交手续,做好详细记录,做到有据可查。3.7设备安装3.7.2对液晶显示器件生产设备的安装环境做出了规定,安装环境应和规定的环境要求相一致,是为了避免设备间的相互干扰3.7.3放线不能用一般机械设备采用弹墨线的方法,而采用贴标记的方法,目的是为了不污染工艺环境;设备不应跨越地坪伸缩缝及沉降缝3.7.4~3.7.6液晶显示器件生产设备如曝光机等各种制造、检查等精密设备,它们的安装,是否采用良好的防微振措施,对它们的性能影响很大,是能否充分发挥设备所具特性的关键。条文仅就精密设备的防微振基础和重型设备的独立基础的制作、安装要求按近十几年的经验做出基本的规定。3.7.73.8二次配管配线3.8.1~3.8.2中对二次配管配线的范围作出了明确的规定。3.8.3规定了二次配管配线必须在设备找平、调平验收合格后再进行,主要是为了减少因设备移位而造成的二次配管配线拆除工作。3.8.4二次配管配线与一次管线工程的施工要求基本相同,因此二次管线工程除遵守本节规定外,还应遵守《洁净厂房施工及验收规范》中的配管工程、电气工程及净化空调工程的相关规定;二次配管中的压力管道虽然数量小,但仍然存在严重的安全隐患,所以规定还应执行国务院颁发的《特种设备安全监察条例》的相关规定。3.8.6二次配管配线明管较多,设备周围管线布置得不合理,将给设备的使用和维修带来不便,还可能占用操作人员的活动空间,为避免这类情况的发生,规定管线的走向和排列应按二次配管配线图施工。3.8.8液晶显示器件生产用的大宗气体为高纯度气体,如被污染,对电子产品质量影响很大,甚至不能生产出合格的电子产品,钨极氩弧自动焊不仅焊缝成型好,又能确保管子内外壁不被氧化,是目前较普遍使用的理想的焊接方式,故在条文中规定输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管,当采用焊接连接时,应采用钨极氩弧自动焊机施焊。3.8.9高纯介质二次配管应先在专设的防尘、防静电的洁净小室内预制成组件,再搬入洁净厂房安装,其目的是将洁净厂房内的施工焊接作业减至最少。为使组件在预制过程中不受到污染,要求洁净小室具有必要的洁净度,严格地讲,洁净小室的洁净等级应与其安装场所的洁净等级相同,但这在国内目前条件尚不成熟,因此,在条文中采取适中的做法,即洁净小室的洁净度不应低于5级。3.8.10为防止碳钢支吊架生锈污染洁净室(区),条文明确规定碳钢支架应采用镀锌材料;支吊架制作时的切割端面常被忽视而未作防锈处理,故在条文中明确规定切割端面要求不产尘。3.8.11二次配管配线是在洁净室(区)已经达到生产要求的工艺环境内进行的,这时环境不允许受到污染,但又不能完全排除锯、锉、钻等轻度发尘作业,在这种情况下,个别情况不可避免时,应在作业前作好围护,并在作业时用中央集尘系统或无尘室专用吸尘器不间断地吸除尘埃。3.8.13经过十几年的工程实践发现,大多数洁净厂房设备的二次配管都会采用PFA、PU管等软管,故而本条对设备二次配管采用软管的安装作出了要求。软管的弯曲同软管接头的安装及其运动平面在同一平面上,是为了防止扭转。3.8.143.8.173.8.184设备试运行4.1一般要求4.1.2本条规定设备单机调试及试运转的组织和分工是根据现实情况沿用目前普遍的做法制定的。因为微电子生产设备安装、二次配管配线及设备单机试运转专业性特别强,往往需要几个单位来共同完成。主要是由生产厂或设备供货单位进行生产设备调试,安装单位配合进行,所以由建设单位组织生产厂或设备供货方为主进行较好4.1.3鉴于目前国内液晶显示器件技术水平有限,本条中所列出的典型国产液晶显示器件生产设备4.1.4本条所涉及到的通用检测器具有1)耐压测试仪测量范围(0~3000)V,准确度:±(3%+2个字)2)绝缘电阻测试仪测量范围(1~50000)MΩ,准确度:±(3~5)%3)钳形电流表测量范围:交流电压(0~750)V,准确度:±1.2%交流电流(0~400)A,准确度:±1%直流电压(0~1000)V,准确度:±0.8%4)电接点压力表测量范围:(0~1)MPa,准确度:±1%4.2试运行前的准备4.2.1本条列出液晶显示器件生产设备单机试运行应具备的环境、动力、安全设施等必备条件,只有这些条件均具备方可进行单机试运转。4.2.2安全性测试1绝缘电阻测试:设备的电源输入端与机壳之间(电源开关置于接通位置)用绝缘电阻测试仪500V直流电压,稳定10s,有绝缘要求的外部带电端子与机壳之间的绝缘电阻在正常大气条件下应不小于100MΩ,在潮湿环境条件下应不小于2M2耐压测试:除使用低压元、器件的电子、电气电路或另有规定外,设备电源输入端子与机壳之间(电源开关置于接通位置)、有绝缘要求的外部带电端子与机壳之间,以及其他有绝缘要求的载流电路与机壳之间应有足够的绝缘抗电强度。设备抗电强度应符合GB4793.1-1995《测量控制和试验室用电器设备的安全要求》的规定。试验时,不应发生击穿、飞弧和闪烁等现象。3泄漏电流测试:设备工作期间,其金属外壳(包括外壳上的金属构件)与地之间的开路电压超过规定的安全限值(36V)时,应测量外壳与地之间的泄漏电流。4.2.3设备噪声测试设备不应产生有损于人员听力和心力的强噪声。对于限制噪声以避免对器件生产产生影响的设备,噪声测试按产品规范或合同的具体要求进行。声级计用A声级、慢速档。然后计算平均值。4.3设备试运行4.3.2根据液晶显示器件生产设备需要,选择380V或220V交流电源供电。设备应具有良好的电源适应性,以保证设备在电源电压或频率变化时能正常工作。若无其他规定,当电源电压在额定值的90%~110%、电源频率在额定值的95%~105%范围内变化时,设备变化时,设备应满足规定的性能指标要求;当电源电压为额定值的80%时,设备应能工作(性能指标允许下降到规定值);当输入电压为额定值的115%时,设备不应损坏。设计液晶显示器件生产设备时应尽量提高设备效率、降低功耗。对于所使用的工作气体应做到充分利用,气源管路精简、气流畅通、密封良好、保证整个系统稳定高效地运行。具体要求在产品规范中规定。5工程验收5.1一般规定5.1.1交接验收是指对生产设备安装及二次配管配线的质量进行检测和评定。竣工验收是在设备单机试运转后对生产设备技术性能进行检验、评定。该条规定微电子设备安装工程分为交接验收和竣工验收

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