- 现行
- 正在执行有效
- 2023-11-28 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO/TS 6737:2023 EN
- 标准名称：真空技术—真空计—稳定电离真空计的特点
- 英文名称：Vacuum technology — Vacuum gauges — Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge
- 标准状态：现行
- 发布日期：2023-11-28
文档简介
ISO/TS6737:2023EN标准是关于真空技术的规定，特别是关于真空表的相关特性。该标准详细说明了稳态电离真空表（SIV）的设计、性能和校准要求。
稳态电离真空表是一种用于测量真空度的仪器，它通过测量电离辐射的强度来评估真空系统的性能。这种类型的真空表在许多高科技领域，如半导体制造、粒子加速器、真空冶金等，具有广泛的应用。
主要特性：
1.**精确度**：稳态电离真空表具有高精度，通常在±2%的范围内。这使得它成为评估真空系统性能的重要工具。
2.**稳定性**：该表在长时间使用过程中保持了高稳定性，这使得它成为长期监测真空系统性能的理想选择。
3.**响应时间**：真空表的响应时间较短，通常在几秒到十几秒之间，这使得它可以快速地反映真空系统的变化。
4.**测量范围**：该表具有广泛的可测量范围，可以在高真空（HA）至低真空（LA）的范围内进行测量。
5.**校准**：为了保证准确度，稳态电离真空表通常需要进行定期校准。这通常由专业的真空计量机构进行。
6.**安全**：该表设计为安全等级，可以在高真空环境中使用，无需担心电离辐射对操作员的影响。
ISO/TS6737:2023EN标准为稳态电离真空表的特性提供了详细的指南，包括精确度、稳定性、响应时间、测量范围、校准和安全等
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