• 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-09-15 颁布
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【正版授权】 IEC 62047-30:2017 EN Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoele_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC 62047-30:2017 EN
  • 标准名称：半导体器件-微机电器件-第3部分：微机电压电薄膜机电转换特性的测量方法
  • 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2017-09-15

文档简介

IEC62047是一个国际电工委员会（IEC）的电气设备和半导体设备标准系列。IEC标准旨在提供全球范围内可互操作的电子设备和半导体设备标准。

第30部分标准针对微机电系统（MEMS）的电气机械转换特性的测量方法，尤其是关于压电薄膜MEMS器件。此标准特别关注的是对这些设备特性的测量方法，其中包括它们的电机械转换特性。

这个标准提供了详细的测量方法，包括但不限于以下步骤：

1.设备准备：包括清洁和校准设备，以确保测量的一致性和准确性。

2.测量环境：包括温度、湿度和振动等环境因素对测量结果的影响，以及如何控制这些因素以确保准确测量。

3.测试步骤：如何对设备进行机械和电气测试，以及如何处理和解释数据。

4.数据分析：如何通过分析和解读数据来确定设备的性能和可能的误差。

该标准也涉及了一些特殊的挑战和注意事项，如测试时间、电源需求、环境稳定性和数据处理中的问题。对于一些敏感的或易碎的MEMS设备，可能还需要特殊的方法和技术。

IEC62047-30:2017EN标准提供了详细的指南和步骤，以确保准确地测量和评估MEMS压电薄膜的电机械转换特性。这对于开发

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