• 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-07-26 颁布
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【正版授权-英/法语版】 IEC 62047-10:2011 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC 62047-10:2011 EN-FR
  • 标准名称：半导体器件-微机电器件-第10部分：微柱压缩试验方法-MEMS材料
  • 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2011-07-26

文档简介

IEC62047-10:2011EN-FR中文版，也即IEC62047-10:2011（EN-FR）版本的微电子设备，它包含有关微机电系统材料微柱压缩测试的部分。IEC是一个国际电工委员会（InternationalElectroTechnicalCommission）的简称，它是一个国际性的标准化组织，负责制定电气工程相关领域的国际标准。IEC62047是一系列关于微电子设备的标准，这些标准涉及到微机电系统的设计、制造、测试和应用。

IEC62047-10:2011EN-FR版本的微柱压缩测试主要用于测试微机电系统的材料性能。它涉及到对微柱的加载和测量，以评估材料的强度和稳定性。微柱是一种小型结构，通常用于微电子设备中，如传感器、执行器等。通过微柱压缩测试，可以了解材料的性能和可靠性，从而为设计和制造更精确、更可靠的微电子设备提供重要依据。

在进行微柱压缩测试时，需要使用专门的测试设备和方法。这些设备通常包括精密的机械系统和电子控制系统，能够精确控制加载力和速度，并测量微柱的变形和破坏。测试过程中需要注意许多因素，如加载力的精确控制、环境条件的稳定、测试数据的准确记录等。此外，还需要考虑微柱材料的特性、加工工艺等因素对测试结果的影响。

IEC62047-10:2011EN-FR版本的标准为微电子设备制造商和研究者提供了一种重要的测试方法，用于评估微机电系统的材料性能和可靠性。通过遵循该标准进行测试，可以确

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