• 现行
  • 正在执行有效
  • 2005-09-27 颁布
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【正版授权】 IEC 62047-1:2005 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC 62047-1:2005 EN-FR
  • 标准名称：半导体器件-微机电器件-第1部分：术语和定义
  • 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2005-09-27

文档简介

IEC62047-1:2005EN-FRSemiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part1:Termsanddefinitions涉及到的是半导体器件中微机电系统的术语和定义。

IEC62047是一个国际电工委员会（IEC）的标准系列，专门针对微电子机械系统（MEMS）和相关产品。这个标准规定了各种类型的MEMS设备的术语和定义，以便在产品开发、测试、评估和认证过程中使用。

具体到IEC62047-1:2005EN-FR，这是该标准的一部分，主要涉及MEMS设备的术语和定义。以下是一些主要术语和定义的解释：

***MEMS设备**：微电子机械系统设备，通常是指在一个或多个微米级尺寸的微小结构上执行特定功能的设备。

***微结构**：MEMS设备中的微小结构，通常由材料制成，其物理或化学特性在微小尺寸下发生变化。

***微机械加工**：一种制造技术，用于在微小尺寸范围内制造和组装MEMS设备。

***柔性MEMS**：一种类型的MEMS设备，其结构可以弯曲或变形，以执行所需的功能。

***传感器**：一种MEMS设备，用于检测和转换物理量（如温度、压力、气体浓度等）为电信号。

***执行器**：另一种类型的MEMS设备，它接收电信号并产生机械输出（如位移或力）。

***系统集成**：将多个MEMS设备、电子电路和其他组件集成在一起，以实现特定功能的过程。

***自供电MEMS**：一种通过设备自身产生的能量来运行或充电的MEMS设备。

以上是IEC62047-1:2005EN-FR的部分术语和

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