砷化镓半导体晶圆生产线项目环评报告表

PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANIII目 录一、建设项目基本情况 1二、建设项目工程分析 22建设内容 22项目概况 22建设规模 23建设内容 24平面布置 29主要设备、原辅材料及燃料 29水平衡分析 41工艺流程和产排污环节 45本项目各生产工序介绍及产排污情况 47清洗工序及产污环节分析 47化学气相沉积（CVD）工序及产污环节分析 49快速升降温（RTP）工序及产污环节分析 50热氧化工序及产污环节分析 52物理气相沉积（PVD）工序及产污环节分析 54电化学沉积工序及产污环节分析 56光刻工序及产污环节分析 57刻蚀工序及产污环节分析 61离子注入 63背面减薄/划片工序及产污环节分析 65BUMP凸块工序及产污环节分析 66电学测试工序 68大宗气站工艺简述 68各类污染物排放情况汇总 70平衡分析 76氯平衡 76氟平衡 78氨平衡 80硝酸平衡 82磷平衡 83硫平衡 84硅烷平衡 85挥发性有机物平衡 85砷平衡 89金属平衡 90三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 96四、主要环境影响和保护措施 122废气环境影响和保护措施 125废气产生与收集系统 125废气污染物排放及治理情况 127全厂废气排放速率达标分析 141非正常工况废气排放分析 142全厂废气排放量及排放口情况 145大气污染物年排放量核算 146废气污染防治措施 147废气环境影响分析 157废水环境影响和保护措施 157废水处理系统类型及规模 158废水污染物排放及治理情况 158事故状况下污染物排放 166全厂废水排放量及排放口情况 168废水污染防治措施 171依托污水处理厂的环境可行性分析 176噪声环境影响和保护措施 178噪声污染源及防治措施 178噪声环境影响分析 180固体废物环境影响与保护措施 182固体废物产生情况 182固体废物暂存及处置情况 186地下水环境影响和保护措施 188地下水污染源及污染途径 188地下水环境保护措施 189土壤环境影响和保护措施 190环境风险分析 192环保投资 193环境监测计划 194污染物排放情况汇总 195五、环境保护措施监督检查清单 198六、结论 201附表 202建设项目污染物排放量汇总表 202附图 207附图1 地理位置图 207附图2 珠海市香洲区环境管控单元图 208附图3 广东省“三线一单”生态环境分区管控图 209附图4 珠海市高新区金鼎组团A305C06管理单元控制性详细规划修改用地规划图 210附图5 珠海市高新区金鼎永丰片区区域规划范围图 211附图6 环境质量功能区划图（声环境） 212附图7 珠海市环境空气质量功能区划分图 213附图8 珠海市生态控制线分级管制区图 214附图9 环境质量功能区划图（水环境） 215附图10 珠海市饮用水源地及保护区划分现状图 216附图11 项目周边关系图 217附图12 环境保护目标分布图 218附图13 总平面布置 219附图14 本项目环境大气、噪声监测点位示意图 220附图15 1号生产厂房平面布置图（工艺区划） 221附图16中山市环境空气质量区划图 222附图17雨水管网、消防废水收集管线、事故切换阀示意图 223附图18污水管网图 224附图19项目运营期环境监测计划监测位置图 225附图20本项目噪声预测等值线图 226附件 227附件1营业执照 227附件2项目备案证 228附件3《关于电子行业使用低VOCS含量清洗剂替代乙醇、丙酮的可行性专家咨询意见》 229附件4类比项目产污情况说明 230附件5纯废水化学品种类和预估用量 232附件6拟采用的纯水系统制备流程图 233PAGEPAGE1一、建设项目基本情况建设项目名称砷化镓半导体晶圆生产线项目项目代码2309-440402-04-05-859152建设单位联系人联系方式建设地点珠海市高新区金瑞二路（道路建设中、龙图科技旁）（珠海高新技术产业开发区）地理坐标（31分56.690秒，22度23分33.030秒）国民经济行业类别建设项目行业类别建设性质新建（迁建）□技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目（核准/备案（填）珠海高新区发展改革和财政金融局项目审批（核准/备案）文号（选填）/总投资（万元环保投资（万元）环保投资占比（%）施工工期是否开工建设■否是： 用地（用海）面积（m2）39534.77专项评价设置情况500米范围内有敏感保护目标，因此设置大气专项评价。因此无需设置海洋专项评价。规划情况规划名称：《珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改》审批机关：珠海市人民政府批准文号：珠府批[2018]97号规划名称：《珠海市高新区金鼎组团A305c06管理单元控制性详细规划修改》审批机关：珠海市人民政府批准文号：珠（高新）府自然资批[2021]94号规划环境影响评价情况无规划及规划环境影响评价符合性分析与《珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改》符合性分析A305c编制单元控制性详细规划修改》（以下简称“规划”）A305c编制单元，东至京珠高速公路珠海段313.22公顷。本项目位于广东省珠海高新技术产业开发区，属于珠海市高新区金鼎组团A305cA305c06此规划的强制性内容包括编制单元及管理单元主导属性、人口规模、单元用地面积、总建筑面积、公共服务设施、市政公用设施、道路交通设施、绿地与广场和历史文化保护等内容。根据规划的要求，本项目所在地为工业用地，不涉及公园绿地、防护绿地、水域等其他用地类型。承担金鼎组团重要高新科技产业园区、公共服务中心、居住职能。规划的发展目标为践行生态文明，推动创新驱动，将规划区建设为珠海市创新产业园区建设、TOD与《珠海市高新区金鼎组团A305c06管理单元控制性详细规划修改》符合性分析A305c06管理单元控制性详细规划修改》的规划范A305c06管理单元，本项目选址为广东省珠海高新技术产业开发区，位于中珠渠北路北侧，金鼎西路的东侧，项目用地位于管理单元A305c0604-5内，属于工业用地，符合规范的规划范围要求。其他符合性分析一、产业政策符合性分析1 （2019年本190.8微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装（BGA）、插针网格阵列封装（PGA）、芯（CSP）（MCM)（LGA）（FC）（WLP）（MEMS）等先进0.82、根据国家发展和改革委员会公布的《市场准入负面清单（2022年版）》，本项目不属于负面清单中禁止准入事项，亦不属于许可准入事项，属于市场准入负面清单以外的行业，且不涉及与市场准入相关的禁止性规定。3 依据《珠海市产业发展导向目录（2020年本1.由上分析，本项目的建设符合国家、珠海市的相关产业政策。二、选址合理性分析本项目位于广东省珠海高新技术产业开发区。项目租用珠海格创投资股份有限公司在建“珠海格创智能元件厂房及配套建设项目”的厂房。厂房的用地性质为工业用地，已取得建设用地规划许可证（地字第4404022023YG0003326号）。本项目对产生的污染物进行综合治理后，污染物均能达标排放，项目对周围环境影响较小。在严格执行本评价要求的环保措施的条件下，项目选址可行。三、环境功能区划的符合性分析本项目位于广东省珠海高新技术产业开发区，项目地块位于管理单元A305c06，位于中珠渠北路北侧，金鼎西路的东侧。根据《珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改》及其他规划文件，周边环境功能区规划见下表。1与周边环境功能区划的符合性分析要素环境功能区划文件环境标准执行情况地表水环境《珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改》（珠府批[2018]97号）本项目所在区域执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）Ⅲ类标准地下水环境《广东省地下水功能区划》（GB/T14848-93）Ⅲ类标准饮用水源保护区饮用水水源保护区的请示》（〔2018〕51号）及《广东省人民政府关于调整珠海市部分饮用水水源（2018314号）本项目不在珠海市饮用水源保护区范围内，详见附图9。大气环境《珠海市生态环境局关于印发<珠（2022年修订（珠环[2022]197号）《珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改》（珠府批[2018]97号）本项目所在地环境空气质量二类区，详见附图7；声环境《珠海市生态环境局关于印发珠海市声环境功能区区划的通知》(珠环[2020]177号)本项目所在地声环境质量功（GB3096-2008）3类区，详见附图6。四、“三线一单”符合性分析本项目正在申请节能评估的审批，根据项目节能评估报告，项目能耗情况汇总如下：表2 本项目能耗情况一览表（2021〕368号调整。根据目广东省“两高”项目范围以《广东省“两高”项目管理目录（2022年版（20221363号3973集成电路制造业，不属于目录列明的8项两高项目范畴。表3 与《广东省“三线一单”生态环境分区管控方案》（粤府[2020]71号）相符性分析表内容相符性分析相符性项目消耗能源品种项目消耗能源品种能源种类计量单位年需要实物量折标系数折标煤量（tce）电力万kW▪h7593.421.229tce/万kW▪h（当量值）9332.312.93tce/万kW▪h（等价值）20435.40天然气万m386.413.30tce/万m31149.12柴油t5.231.4571tce/t7.62新水万t69.282.571tce/万m3（等价值）178.11氮气m3120730680.0004tce/m3（等价值）4829.23氧气m312840.0004tce/m3（等价值）0.51项目年综合能源消费总量（tce）当量值10489.05等价值26600.00生态保护红线全省陆域生态保护红线面36194.3520.13%；一般生态空间面27741.6615.44%。全省海洋生态保16490.59平方根据规划及《广东省环境保护规划纲要（2006~2020年）》，本项目所在区域不属于生态红线区域，符合生态保护红线要求。相符全省水环境质量持续改项目所在区域空气环境功能为二类区，声环境功能3类区，项目纳污水体金星门水道执行《海水水质标准》（G3097199准，不在水源保护区内。本项目在运营过程的废水、废气、固体废物和噪声影响经有效的治理措施治理后对周围环境产生的影响甚小。符合环境质量底线要求。善，国考、省考断面优良环境质量底线水质比例稳步提升，全面V境质量继续领跑先行，PM2.5年均浓度率先达到世界卫生组织过渡期二阶段目标值（25微克/立方米），臭氧污染得到有效相符遏制。土壤环境质量稳中向好，土壤环境风险得到管控。近岸海域水体质量稳步提升。强化节约集约利用，持续本项目通过采用纯水回用、纯水制备废水再利用等措施提高工业用水效率，单片排水量满足基准排水量限值要求，不会超出区域资源利用上线，符合资源利用上线要求。提升资源能源利用效率，资源利用上线水资源、土地资源、岸线资源、能源消耗等达到或相符优于国家下达的总量和强度控制目标。从区域布局管控、能源资源利用、污染物排放管控环境准入负面清单和环境风险防控等方面明确准入要求，建立“1+3+N”三级生态环境准入清单体系。“1”为全省总体管控要求，“3”为“一核一带一区”区域管控要求，“N”为1912个陆域环境管控单元和471个海域环境管控单元的管控要求。项目不属于区域布局管控、能源资源利用、污染物排放管控和环境风险防控等方面明确禁止准入项目，符合环境准入负面清单要求。相符“一核区域布局管控要求禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电不属于禁止建设项目，用电、用气均由市政提供。本项目所使用的有机物原辅材料一站，推进现有服役期满及带落后老旧的燃煤火电机组一区”总有序退出；原则上不再新建燃煤锅炉，逐步淘汰生物质锅炉、集中供热管网相符体覆盖区域内的分散供热锅管炉，逐步推动高污染燃料控要扩建水泥、平板玻璃、化求——珠学制浆、生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。推厂应用低挥本项目为密闭机台，且设置机台的抽风系统，做到全部收集后经沸石转轮+焚烧系统处理，最大限度减少挥发性有机物的排放。符合区域布局管控要求。三发性有机物原辅材料，严角格限制新建生产和使用高核挥发性有机物原辅材料的心项目，鼓励建设挥发性有区机物共性工厂。能源资源利用要求本项目通过采用清洗水回用等措施提高工业用水效推进工业节水减排，重点率。生产废水经厂区污水在高耗水行业开展节水改处理站处理后排入市政污造，提高工业用水效率。水处理厂。本项目位于广加强江河湖库水量调度，东省珠海市高新技术产业相符保障生态流量。盘活存量开发区，项目规划用地为建设用地，控制新增建设工业用地，属于珠海市土用地规模。地利用总体规划的允许建设区，符合能源资源利用要求。污染物排放管控要求在可核查、可监管的基础根据要求，本项目为新建项目，氮氧化物实施等量替代、挥发性有机物两倍削减量替代，制定并落实项目运营期环境监测计划。本项目生产厂房、化学品库等均为密闭厂房，化学品存于密闭的气瓶、储罐等。本项目生产过程产生的一般固体废物收集后交由回收公司处理，危险废物交由具有危险废物处理资质的单位处理。上，新建项目原则上实施氮氧化物等量替代，挥发性有机物两倍削减量替代。以臭氧生成潜势较大的行业企业为重点，推进挥发性有机物源头替代，相符全面加强无组织排放控大力推进固体废物源头减量化、资源化利用和无害“市”试点建设。环境风险防控要求本项目环境风险事故发生概率较低，在落实相关防建立完善突发环境事件应急管理体系.险应急预案。提升危险废范措施后，项目生产过程的环境风险总体可控。本项目有危险废物产生，项物监管能力，利用信息化目建成后将依法编制事故手段，推进全过程跟踪管应急预案，并严格落实应相符理；健全危险废物收集体急预案及环评中提出各项系，推进危险废物利用处措施和要求。项目产生的置能力结构优化。危险废物经集中暂存后，定期交由有资质的单位处处置过程严格按照相关规定进行管理，符合环境风险防控要求。表4与《珠海市“三线一单”生态环境分区管控方案的通知》（珠府[2021]38号）相符性分析表环境管控单元编码环境管控单元编码单元名称ZH44040220013香洲区唐家湾镇重点管控单元内容相符性分析相符性生态保护红线全市陆域生态保护红线面202.59平方公里，占全市陆域国土面积的11.66%；一般生态空间面积131.57平方公里，占全市陆域国土面积的7.57%全市海域生态保护红线3281.06平方公里。府办公室关于印发珠海市生态控制线划定工作方案的通知》珠府办函[2015]2048。相符，环境质量底线到国家和省下达的水质目地水质达到或优于Ⅲ类水体比例为项考核指标达到省下达的目标要求。项目所在区域空气环境功划为3类区。本项目污水纳入纳污水体金星门水道执行《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标有效的治理措施治理后对周围环境产生的影响甚小。符合环境质量底线要求。相符资源利用上线能源消耗等达到或优于省下达的总量和强度控制目标。本项目通过采用纯水回用、纯水制备废水再利用等措施提高工业用水效率，单片排水量满足基准排水量限值要求，不会超出区域资源利用上线，符合资源利用上线要求。相符全市生态环境准入共性清单区域布局管控要求禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站不得新建专业电镀、冶炼、发酵等重污染项目。禁止在磨刀门水道两岸及线水平外延五百米范围内设活动。，属于鼓励发展产本项目不属于磨刀门水道两岸或流域范围内，产生的废水通过厂区自建废水站处理后经市政管网排入北区污水处理厂再处理，最后地不属于自然保护地核心区，符合区域布局管控要求。相符能源资源利用要求按照“控煤、减油、增气、”原则，构建绿色低碳能源体系。对生产生活废水进行深度在高耗水行业开展节水改造，提高工业用水效率。项目用气为市政提供天然符合能源资源利用要求。处理厂区内生活污水；此外，本项目自建污水处理目出水水质满足北区污水处理厂进水水质标准、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）后排入北区污水处理厂进行处理。相符污染物排放管控要求实施重点污染物总量控制，重点污染物排放总量指标“两高”项目应依据区域环有效的污染物区域削减措施，腾出足够的环境容量。严格落实国家产品VOCs珠海市高新区金鼎组团A305c相符无VOs目录（2022年版）”中涉及的“两高”项目。库等采取有效的防雨、防目所在厂区地面进行硬底相应的保护层，不存在土目产生的危险废物经集中管控要求。性有机物两倍削减量替代。加强土壤和地下水污染源点类别金属污染防治和减物收集处理。环境风险防控要求加强危险化学品、重金属、项目产生的危险废物经集中暂存后，定期交由有资质的单位处理。危险废物暂相符照相关规定进行管理，符合监控。环境风险防控要求。香洲区唐家湾镇重点管控单元区域布局管控【产业/励工业用地集中布局于金，位于广东省珠海高新技鼎工业片区和科创海岸片术产业开发区，符合产业要求。散的一般性加工工业和村本项目不在划定的生态控级工业规划期内逐步向工制线管制范围内，符合生态保护红线要求，本项目不属于自然保护地核心区，符合相符能制造等高新技术产业为要求。主导。【生态/，本项目不使用溶剂型涂料、固化剂、胶黏剂等原土空间规划中统筹划定落辅材料，本项目产生的非甲实三条控制线的指导意见》烷总烃主要来源于光刻工序中使用光刻胶等材料，由PAGEPAGE11态功能不造成破坏的8有限人为活动。【生态/还可开展国家和省规定不纳入环评管理的项目建设，【生态/【生态/新凤凰山地方级自然保护区按照自然保护地相关管理要求进行管控。【大气/气环境布局敏感重点管控进区域内行业企业提标改造。1-7.【其他/禁止类】禁止在单元区域内建设畜禽养殖场、养殖小区。废气的收集、废气处理设有效降低污染物的排放量本项目不属于畜禽养殖场、养殖小区，符合区域布局管控的要求。能源资源利用【其它/能耗达到国际国内先进水平。【水资源/污三条红线刚性约束。本项目在建设过程中将采用节能新技术、新工艺，将低能耗作为建设方案选择的主要考虑因素，项目符合能源资源利用的要求。本项目不在饮用水水源保足基准排水量限值要求。相符污染物排放管控【水/旧工业厂房改造项目要实【水/采取控源截污、内源治理、生态修复、活水循环等措生的生产废水经厂内自建废水处理站处理后再排到满足污水处理厂的纳管要求。相符鸡山排洪渠黑臭水体沿岸浮物、河床底泥。环境风险管控【水/处理厂和一体化生活污水处理设施应采取有效措施，防止事故废水直接排入水体。本项目厂区内产生的生产废水经厂内自建废水处理站处理后再排到市政污水处理厂，排水水质满足污水处理厂的纳管要求。相符五、与环境保护规划相符性分析1、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822—2019）相符性分析“VOCs质量占比大于等10%VOCs产品，其使用过程应采用密闭设备或在密闭空间内操作，废气VOCs废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气VOCs废气收集处理系统。”本项目光刻工序的涂胶、前烘、曝光后烘以及清洗工序、回流焊工序中的有机洗焙等会产生有机废气。项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集并排入有机废气处理系统，经沸石浓缩转轮焚烧系统/活性炭吸附系统处理后通过排气筒排放。因此，本项目与《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822—2019）的要求相符。2、《广东省涉挥发性有机物（VOCs）重点行业治理指引》（粤环办〔2021〕43号）相符性分析根据《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》中的规定，本项目挥发性有机物10VOCsC3973集成电路制造（VOCs）本项目不涉及胶粘剂、网印油墨、无溶剂涂料、辐射固化涂料的使用。使用VOCs原辅材料主要为清洗工序使用的有机溶剂。本项目以拟采取过程控制（VOCs）重点行业治理指引》的要求，具体见下表：本项目不涉及胶粘剂、网印油墨、无溶剂涂料、辐射固化涂料的使用。使用的含VOCs原辅材料主要为清洗工序使用的有机溶剂。本项目以拟采取过程控制措施、末端措施、环境管理要求均符合《广东省涉挥发性有机物（VOCs）重点行业治理指引》的要求，具体见下表。表5 与《广东省涉挥发性有机物（VOCs）重点行业治理指引》（粤环办〔2021〕43号）相符性VOCs治理指引环节控制要求实施要求项目情况相符性源头控制清洗剂有机溶剂清洗剂：VOCs含量VOCs≤900g/L；要求本项目使用异丙醇、丙酮作为有机溶剂清洗剂，采用电子级产品相符过程控制VOCs物料储存物料应储存要求项目使用的有机溶剂等VOCs物料均存储余密闭的容器中，存放于化学品库房内。相符盛装VOCs物料的容器是否VOCs在非取用状态时应加盖、封口，保持密闭。要求项目使用的有机溶剂等VOCs物料均存储余密闭的容器中，存放于化学品库房内。化学品库房地面均采取防渗措施。容器在非取用时均为密封保存。相符VOCs物料转移和输送液体VOCs物料应采用管道采用密闭容器或罐车。要求有机溶剂等VOCs物料采用密闭容器转移。配送过程均采用密闭管道输送相符工艺过程UV固质量占比大于等于10%物料的过程应采用密闭设备或在密闭空间VOCs废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气排至VOCs废气收集处理系统。要求本项目工艺设备均安装在正压洁净室内，所有设备均为密闭设备，反应过程均在密闭腔室中完成。产生的废气全部负压收集。排至废气收集处理系统。相符废气收集VOCs无组0.3m/s要求本项目产生废气均采用密闭管路收集方式，无无组织排放。相符废气收集系统的输送管道应对管道组件的密封点进行泄要求所有设备均为密闭设备，反应过程均在密闭腔室中完成。产生的废气全部负压收集。排至废气收集处理系统。相符500μmol/mol，亦不应有感官可察觉泄漏。废气收集系统应与生产工艺工艺设备不能停止运行或不气应急处理设施或采取其他代替措施。要求本项目废气收集系统与生相符非正常排放载有VOCs物料的设备及其管道在开停工（车）、检维修和清洗时，应在退料阶段将残存物料退净，并用密闭容器盛装，退料过程废气应排至VOCs废气收集处理系统；清洗及吹扫过程排气至VOCs废气收集处理系统。要求料等过程产生废有机溶剂均采用密闭管路收集排入产生的废气均为密闭管路收集后排入VOCs处理系统。清洗及吹扫过程排气也经废气收集处理系统。相符末端治理排放水平年1月1日前的建设项目排放的工艺有机废气（DB4427-2001）第一时段限值；2002年1月1日起的建设项目排放的有机（DB4427-2001）初始排放速率≥3kg/h时，建设VOCs处理设施且处理效率≥80%。（2）厂区内无组织排放监控点NMHC的小时平均浓度值不超过6mg/m3，任意一次浓度值不超过20mg/m3。要求本项目废气排放执行生产设施排气中非甲烷总≥3kg/h，VOCs处理设施且处理效率≥80%,厂区内无组织排放监控点非甲烷总烃执行广源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）厂区内VOCs无组织排放限值，满足小时平均浓度值不超过6mg/m3,任意一次浓度值不超过20mg/m3。相符治理设施设计与运行管理VOCs治理设施应与生产工治理生产工艺设备不能停止运行其他替代措施要求本项目废气收集系统与生32023年大气污染防治工作方案》工作目标：2023年，全省空气质量优良天数比例（AQI）达到94.1%，细颗粒物（PM2.5）23.5ug/m3。珠海市空气质量优良天数比例（AQI）90.4%，可吸入颗粒物（PM10）37ug/m3，PM2.522ug/m310市，年均二氧化氮（NO2）20ug/m3的国控、省控站点，2023NO22020-20222-3ug/m3。经沸石浓缩转轮焚烧系统/VOCs的VOCs的排放，符合方案要求。2023VOCsVOCs含量原辅材料应用，严格执行涂料、油墨、胶VOCsVOCs治理设施清理整VOCs企业分级管控措施。2023VOCs年103VOCs企业完成分级。VOCs（VOCsVOCs异丙醇和乙醇使用功能基本相似，化学性质相近，因此异丙醇在电子行业中也暂VOCs含量清洗剂替代方案。VOCs32.28VOCs新建有机废气的收集、废气处理设施，采用沸石转轮燃烧，可有效降低污染物的VOCs治理设施，项目废气可实现达标排放，符合要求。4、《广东省大气污染防治条例》相符性分析条例规定重点大气污染物排放总量控制指标。”“第十七条珠江三角洲区域禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组或者企业燃煤燃油自备电站。珠江三角洲区域禁止新建、扩建国家规划外的钢铁、原油加工、乙烯生产、造纸、水泥、平板玻璃、除特种陶瓷以外的陶瓷、有色金属冶炼等大气重污染项目。火电、钢铁、石油、化工、平板玻璃、水泥、陶瓷等大气污染重点行业企业及锅炉项目，应当采用污染防治先进可行技术，使重点大气污染物排放浓度达到国家和省的超低排放要求。”第二十六条新建、改建、扩建排放挥发性有机物的建设项目，应当使用污染防治先进可行技术。下列产生含挥发性有机物废气的生产和服务活动，应当优先使用低挥发性有机物含量的原材料和低排放环保工艺，在确保安全条件下，按照规定在密闭空间或者设备中进行，安装、使用满足防爆、防静电要求的治理效率高的污染防治设施:无法密闭或者不适宜密闭的，应当采取有效措施减少废气排放：(一)石二)三)四)五)其他产生挥发性有机物的生产和服务活动。本项目属于新建排放重点大气污染物的建设项目，本项目按照相关规定，在报批环境影响评价文件前向珠海市生态环境局申请取得重点大气污染物排放总量控制指标。2019年本)190.8微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装（BGA）、插针网格阵列封装（PGA）、芯片规模封装（CSP）、多芯片封装（MCM)、栅格阵列封装（LGA）、系统级封装（SIP）、倒装封装（FC）、晶圆级封装（WLP）、传感器封装（MEMS）等先进封装与测试”，本项目产品0.8生产工艺，建设单位采取有效收集措施和可行高效的治理设施，收集治理项目产89%。本项目符合《广东省大气污染防治条例》的相关要求。5、《广东省臭氧污染防治（氮氧化物和挥发性有机物协同减排）实施方案（2023-2025年）》相符性分析2025600NOx减排项目，10000VOCs减排项目，2000NOxVOCs持续下降。工作要求：工作思路。坚持精准、科学、依法治污，按照近期与中长期目标NOxVOCs，NOxVOCsVOCs深度治理，加强柴油货车NOxVOCs排放监管。坚持突出重点、分区域、分行业、8-10月为重点时段，以广州、深圳、珠海、佛山、惠州、东莞、中山、江门、肇庆及清远市为省大气污染防治的重点城市，其他城市在省统一指导下开展区域联防联控。强化臭氧污染防治科技支撑和技术帮扶，完善臭氧和VOCs监测体系，加强执法监管，切实有效开展臭氧污染防治。NOx放限值》（DB44/27-2001）2第二时段工艺废气大气污染物排放限值后高空排标准》（DB44/2367-2022）13VOCs无组织排放限值后高空排放，满足固定源减排要求，切实开展抽样污染防治。其他涉VOCs排放行业控制工作目标：以工业涂装、橡胶塑料制品等行业为重点，开展涉VOCs企业达标治理，强化源头、无组织、末端全流程治理。工作要求：加快推进工程机械、钢结构、船舶制造等行业低VOCs含量原辅材料替代，引导生产和使用企业供应和使用符合国家质量标准产品；企业无组织排放控制措施及相关限值应符合《挥发性有机物无组织排放控制标准（粤20214号VOCs水喷淋（VOCs除外）VOCs治理设施（恶臭处理除外），组织排查光催化、光氧化、水喷淋、低温等离子及上述组合技术的低VOCs治理设施，对无法稳定达标的实施更换或升级改造。本项目使用光刻胶、异丙醇等均在密闭设备或密闭空间中进行，生产的过程VOCs废气全部负压收集，排至有机废气收集处理系统，无无组织排放。本项目产生的非甲烷总烃主要来源于清洗工序中使用的清洗剂以及光刻工序中使用光刻胶等材料。此外，集成电路所使用的清洗剂未被列入《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020），满足国VOCs含量（在电子行业作为清洗剂广泛使用，暂无成熟可行的低VOCs含量清洗剂替代方VOCs含量清洗剂替代方案。此外，本项目使用的异丙醇和乙醇使用功能基本相似，化学性质相近，因此异丙醇在电子行业中也暂无成熟可行的低VOCs含量清洗剂替代方案。6、《广东省碧水保卫战五年行动计划（2021-2025年）》相符性分析202-2025（，2023（达到或优于Ⅲ类90.5%，劣Ⅴ类水体比例为0%2025年，广东国家考核断面水质优良比例稳定达到90.5%，县级城市建成区基本消除黑臭水体。《计划》明确10项重点任务，首先强调优先保护饮用水水源。2023年底前，完成县级及以上城市集中式水源地规范化建设，基本完成乡镇级集中式水源保护区划定和勘界立标，并高质量保护重要江河源头生态。县级及以上城市集中式饮用水水源地达到或优于Ⅲ类比例力争保持100%。“一证式”2025年，省级以上工业园区实现污水全收集全处理。本项目所在地不属于珠海市饮用水源保护区范围，运营期废水经厂内自建污pH（GB139731-2020）1水污染物排放限值的直接排放限值，五日生化需氧量、动植物油满足广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，满足排入市政污水处理厂的水质要求。7、《城市黑臭水体治理攻坚战实施方案》（建城〔2018〕104号）相符性分析根据《城市黑臭水体治理攻坚战实施方案》的规定，要求强化工业企业污染对超标或超总量的排污单位一律限制生产或停产整治。排入环境的工业污水要符合国家或地方排放标准；有特别排放限值要求的，应依法依规执行。新建冶金、电镀、化工、印染、原料药制造等工业企业（有工业废水处理资质且出水达到国家标准的原料药制造企业除外）排放的含重金属或难以生化降解废水以及有关工业企业排放的高盐废水，不得接入城市生活污水处理设施。组织评估现有接入城市生活污水处理设施的工业废水对设施出水的影响，导致出水不能稳定达标的要分质处理、应收尽收，禁止偷排漏排行为，入园企业应当按照国家有关规定进行预处理，达到工艺要求后，接入污水集中处理设施处理。本项目运营期废水经厂内自建污水站处理后排入市政污水处理厂，本项目废pH（GB39731-2020）1水污染物排放限值的间接排放限值要求，五日生化需氧量、动植物油满足广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准。氟化物满足《电子工业水污（GB39731-2020）1直接排放标准。总铜、总镍、总砷、总银除满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）1厂污染物排放标准》（GB18918-2002）23排放限值要求，可不经污水厂处理达标排放。因此，本项目符合《城市黑臭水体治理攻坚战实施方案》的相关要求。8定，要求强化全过程管控。严禁工业企业排放的含重金属或难以生化降解废水、有生物毒性废水、高盐废水等排入市政污水收集处理设施。禁止向生活垃圾收集设施投放工业固体废物。加强污水处理和垃圾转运、处置过程臭气治理。重点针对污水直排、污水处理设施不正常运行、生活垃圾随意堆放、渗滤液偷排直排、恶臭扰民等问题，加强排查整治，建立问题和风险台账，制定整改方案，限期整改到位。组织开展污水垃圾处理设施建设、运行、维护、管理等技术培训。本项目运营期废水经厂内自建污水站处理后排入市政污水处理厂，氟化物满（GB39731-2020）1水污染物排放限值的直接排放限值，满足直接排放标准。总铜、总镍、总砷、总银除满足《电子工业水（GB39731-2020）1足《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）23排放限值要求，可不经污水厂处理达标排放。此外，本项目产生的生活垃圾存放在厂区东侧生活垃圾存放区，由当地环卫部门统一清运处理。因此，本项目符合《关于推进建制镇生活污水垃圾处理设施建设和管理的实施方案》的规定要求。9、与《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）相符性分析相关要求项目情况相符性VOCs物料应储存于密闭的容盛装VOCs物料的容器或包装袋应项目使用的化学品原辅料储存相符存放于室内，或存于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取于化学品库房内，化学品库房VOCs装或罐装密闭保存于危废库中，危废库地面进行防腐防渗处理。VOCs物料转移和输送无组织排放VOCs物料应当采用密闭管道输送。采用非管道输VOCs粒装VOCs物料应当采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式，或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进行物料转移。VOCs输送。相符VOCs产品的使用过程：VOCs10%VOCs产品，其使用过程应采用密闭设备VOCs废气收集处理系统；无法VOCs废气收集处理系统。本项目使用光刻胶、异丙醇等均在密闭设备或密闭空间中进行，生产的过程均在密闭腔室中完成。生产过程中产生的VOCs废气全部负压收集，排至有机废气收集处理系统。相符废气收集系统排风罩（集气罩）GB/T16758的规定。采用外部排风罩的，应按GB/T16758WS/T757—2016规定选取在距排风罩开口面最远处的VOCs无组织排放位置，控制风速0.3m/s（行业相关规范。本项目所有设备均为密闭设进行，无无组织排放。相符六、“十四五”规划相符性分析1、与《广东省生态环境保护“十四五”规划》相符性分析表6 《广东省环境保护“十四五”规划》相符性分析序号环保要求本项目情况相符性1推动工业项目入园集聚发展，引导重大产业向沿海等环境容量充足地区布局。本项目位于广东省珠海高新技术产业开发区，项目用地为工业用地，符合要求。符合2生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。、本项目符合PAGEPAGE213珠三角禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业燃煤燃油自备电站。本项目属于项目用电为市政电网供电。符合4VOCs排放企业分级管控，全面推进涉VOCs开展中小型企业废气收集的评估，强化对企业涉VOCs生产车间/工序废气治理设施升级改造。本项目生产过程中产生的本项目有机废气浓度低、风量大，芯片生产厂房采用沸石转轮+燃烧设施处VOCs排放，符合要求。符合2、与《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》相符性分析表7 《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》相符性分析序号环保要求本项目情况相符性1磨刀门水道两岸及流域内500m场；畜禽禁养区内不得从事畜禽养殖业。本项目属于，不属于新建的重污染项目。本项目污水体为金星门水道，不属于磨刀门水道及其周边流域。本项目不属于畜禽养殖符合2加强挥发性有机物综合治理。实施低挥发性有机物（VOCs）含量产品原辅材VOCs含量限值和有害物建生产和使用高VOCs含量原辅材料项目。本项目不使用溶剂型涂料、固化剂、胶黏剂等原辅材料，本项目产生的VOCs主要来源于光刻工序中使用光刻胶等材料，由于集成电路对原辅材料纯度要求极高，目前无法替代，且所使用的清洗剂GB38508-2020，转轮燃烧/排放，符合要求。符合3严格实施VOCs排放企业分级管控，全面推进涉VOCs排放企业深度治理。开展中小型企业废气收集和治理设施建设、运行情况VOCs来源于，项目新建有机废气的收集、废气处理设施，采用沸石符合的评估，强化对企业涉VOCs生产车间/工序废气转轮燃烧，封装厂房回流治理设施升级改造。有效降低污染物的排放量及浓度，废气可实现达标排放。七、土地利用相关规划符合性分析（道路建设中、龙图科技旁珠海高新技术产业开发区A305c编制单元控制性详细规划修改》（珠府批[2018]97号）和《珠海市高新区金鼎组团A305c06高新[202]94号，（（地字第4404022023YG0003326号）（土地用途为一类工业用地）用途一致。PAGEPAGE26二、建设项目工程分析建设内容建设内容1 项目概况砷化镓半导体晶圆生产线项目（以下简称“本项目”），由珠海华芯微电子有限公司投资建20232(珠海)(珠海)半导体拥有丰富的化合物半导体产线建设运营的经验。。本项目租用珠海格创投资股份有限公司在建“珠海格创智能元件厂房及配套建设项目”的115000片的化合物半导体晶圆代工生产线，主要用于生产砷化镓半导体晶圆。本项目建成后兼具高速发展的市场需求价值和国内产业链补短板的战略需求价值。根据《中华人民共和国环境影响评价法（2018年修订（2021年版682（2017年（2021年版3980397-集成电路制造”，需编制环境影响报告表。本项目租用珠海格创投资股份有限公司在建“珠海格创智能元件厂房及配套建设项目”的厂区，其主要经济技术指标见下表。本项目地理位置图见附图1，周边关系图见附图10。表8本项目基本情况表项目名称砷化镓半导体晶圆生产线项目建设单位珠海华芯微电子有限公司建设地点珠海市高新区金瑞二路（道路建设中，龙图科技旁）四至范围总投资产品方案劳动定员工作制

总建筑面积72118m2新建东侧临近金鼎东路；南侧临近金瑞二路；西侧临近金鼎西路；北侧临近金环西路。.本项目劳动定员为950人，其中管理人员40人、技术人员215人、研发人员45人、普通工人600人、其他人员50人。生产线工作人员：四班两运转，每班工作12小时。生产线设备：年运行360天，每天工作24小时，设备年时基数为8400小时（考虑设备升级保养及维修）；研发及行政办公人员：单班工作制，全年工作251天；辅助生产、动力和值班按生产车间工作制度配套。2024年10月建设规模本项目厂区主要经济技术指标见下表。序号名称单位指标备注表9 本项目主要技术经济指标一览表序号名称单位指标备注.10本项目建筑物指标一览表.序 子项名称 层数 建筑高（m）地上总建筑号 积（m2）

地下总建筑面积（m2）建设内容本项目租用珠海格创投资股份有限公司在建“珠海格创智能元件厂房及配套建设项目”的厂区， 。建设1座生产厂房、1座动力站、化学品库房等。动力站设置纯水站、废水站、冷冻站等动力设施供各生产厂房使用。表11项目组成一览表序 工程项目 建设内容 备号一、主体工程1 1二、辅助工程2纯水制备系统

：4生产区为2层结构：2F4支持区为3层结构：1F:主要布置各类特气间、有机氧化酸碱等供应位于地块内西部，地上3层。1F：设置水池及泵房、纯水站、废水站等；2F：设置冷冻站、空压站、启动柜间、废水站等；3F：设置变电所、柴发机房、空调机房等。1套，制备能力24m3/h。21号生产厂房的一层。

2号综合动力站一层水冷却塔系统冷冻水系统

工艺设备循环冷却水循环量490m3/h。650m3/h，7台。6/12℃和中13/19℃

支持区站屋面2号综合动力站二层冷冻站部分热回收机组，制取38/28℃低温热水，供纯水制备及空调的使用。6压缩空气系统3570Nm3/h3+1台，同时配置与供气量相适应的干燥机、过滤器等后处理设备。2号综合动力站二层1号生产厂房7真空系统3台（21备），抽气速率：180Am3/h，真空压力：-660mmHg的真空泵机组。1号生产厂房支持区清扫真空系统仅预留空间，不设计及施工。8柴油发电系统31200KW柴油发电机，用作应急电源，2号综合动力设室外柴油储罐，容积20m3。站三、储运工程位于1号生产厂房一层西侧11号生产厂房中间仓库1号生产厂房一层单层建筑，用于储存硫酸、氢氟酸、磷酸等酸性23号甲类化学品库物质，氨水、双氧水等碱性物质，异丙醇、光刻胶等有机溶剂。34号大宗气站区大宗气体包括工艺高纯氮气和超纯氮气。这些大及大宗气体供应宗气体均需由管道供气至设备使用点。根据化学品特性在1号生产厂房一层设置有机1号生产厂房一层溶剂间、有机储罐间、酸供应间、碱供应间等。1号生产厂房的一层（洁净下夹层）配送柜，再供应至二层工艺区工艺设备使用。1号生产厂房一层供应罐设置情况：有机溶应间：去胶液1：1200L×1。4液态化学品供应系统有机储罐间：丙酮（Acetone）：20m3×1；异丙醇（IPA）：30m3×1；管道输送至生N-甲基吡咯烷酮（NMP）：10m3×1。产厂房各使用点碱供应间：氢氧化钾（KOH）：2000L×1；氢氧化四甲基铵（TMAH）：2000L×1。双氧水供应间：双氧水（H2O2）：5000L×1。5特气供应系统11号生产厂房支持区四、公用工程拟从地块南侧接入两路市政给水管，作为生产区1供水的生产、生活用水水源。接口管径为DN200，供水压力不小于0.20MPa。2排水本项目采用雨污分流制。在地块南侧设置一个DN400市政污水排放接口雨水排口：本项目地块南侧厂界设3个DN600雨水排放口全厂热水供应为低温热水系统（38/28℃），采3供热为补充和备用。4供电10kV电源。5供气本项目所需天然气来自市政管网供应。五、环保工程1号生产厂房G1酸性废气处理系统：3（21备3（2用1备），排气筒高度37m。G2碱性废气处理系统2（11备2（1用1备），排气筒高度36m。G3有机废气处理系统设置1套沸石转轮+焚烧塔处理系统，备用1套活性炭处理系统，单台设计处理能力为61000m³/h2（11备38m。排气筒均设置于1号生产厂1废气处理设施G4含砷废气处理系统2（11备房屋面2（1用1备），排气筒高度31m。G5供应间废气处理系统设置有机供液间、有机废液废气（G5-1）处理系2（11备理能力为2200mh21用1备，排气筒高度28m。设置有机储罐间、有机供液间废气（G5-2）处理1（11备1200m³/h2根排气筒（11备），排气筒高度26.3m。2号综合动力站G6废水站废气：废水站废气纳入1号生产厂房酸性废气处理系统排气筒均设置1房屋面2生产废水处理系统82号综合动力于2号综合动力站一层。1区内环保处理设施处理达标后排至市政污水管网。站W1含氟废水处理系统采用化学沉淀法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为75m³/d。W2有机废水处理系统采用AO法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为100m³/d。W3含砷废水处理系统采用化学沉淀+AO+过滤+离子交换法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为470m³/d。W4含铜废水处理系统采用化学沉淀+过滤法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为1m³/d。W5含镍废水处理系统采用化学沉淀+过滤+pH1m³/d。W6含银废水处理系统采用过滤+离子交换法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为1m³/d。W7含金废水处理系统采用过滤+离子交换法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为25m³/d。W8含钯废水处理系统采用过滤+离子交换法处理工艺后，进入最终中和池调节pH。设计处理规模为10m³/d。生活污水处理系统项目生活污水来源于食堂、冲厕、盥洗等。3噪声防治措施大降低。4固废间暂存面积约30m2，暂存一般固体废物，包括包装材料、办公垃圾、废靶材、废耗材等。3号甲类化学品库暂存面积约170m2，暂存一般固体废物，包括包装材料、办公垃圾、废靶材、废耗材等1号生产厂房一层危废间暂存面积约20m2，暂存固态危险废物，包括废溶剂空桶、沾染固废等。3号甲类化学品库废水废液收集区面积约180m2根据废液的特性设置各类废液收集间，用于收集酸、碱、有机、含砷废液等。有机废液间：异丙醇废液（IPA废液）：12m3+6m3；丙醇废液（Acetone废液）：8m3×1；N-甲基吡咯烷酮（NMP）：5m3×1；1号生产厂房一层含砷废酸液间：含砷废酸液：10m3×1；不含砷废硫酸液：2m3×1；含砷废碱液间：含砷废碱液：2m3×1；污泥脱水机房位于站内，废水处理的污泥暂存于泥斗间。2号综合动力站废水站二层5环境风险应急排风：3号甲类化学品库应急排放系统：氯气储存间设1套洗涤塔，单套处理能力1200m³/h125m。1号生产厂房化学品间应急排风系统：1128m启动，处理后的废气经排风系统排放排气筒位于建筑屋面间除设计普通换气外还设计事故排风，事故照PN2CDA排风接口等室外事故水池：700m3。室内事故水池：2号综合动力站内设置1个室内事故水池，有效容积为700m3，主要收集生产事故废水。本项目事故水池总容积为1400m3，满足事故下≥983.03m3的应急需求。室外事故水池位于厂区西北学品库东侧2动力站一层雨水：厂区道路及其他地方的雨水经雨水口收集后排入厂区雨水管网，雨水管道最终接至市政雨水管网。雨水接口布置在南侧厂界，拟规划3个DN600的雨水接口。雨水排放口末端设置紧急切断闸门，一旦厂区发生火灾、水体污染事故，可切断雨水总排口的阀门，将事故控制在厂界内，防止对下游造成污染。六、生活辅助设施15号综合楼十二层建筑，一层功能主要为门厅、餐厅、厨房等，二至六层功能主要为停车库，七层功能主要为员工活动中心，八至十二层主要为员工宿舍。26号门卫1单层民用建筑，值班室37号门卫2单层民用建筑，值班室平面布置珠海华芯微电子有限公司半导体科技有限公司拟租用珠海格创投资股份有限公司在建的位于珠海市高新区金鼎片区内的“珠海格创智能元件厂房及配套建设项目”厂区，，本项目地块东西布局，全厂按功能分为核心生产区、生产辅助区、生活配套区。11号生产厂房建筑内部功能分为生产区和研发调度区两部分。其中：研发调度区位于建筑南侧，靠近南侧城市道路，以便更好展示企业形象；生产区位于建筑北侧，合理组织建筑内部工艺流线，保障生产高效性。2号综合动力站含废水处理系统、3号甲类化学品仓4号大宗气站区等建（构筑物。其中：21号生产厂房西南侧，3号化41号生产厂房西北侧。各种动力及气体用房紧邻主要用户，使生产用房与辅助用房之间联系方便，物流及工程线路短捷顺畅，节约运输成本，也便于统一协调、管理。生活配套区：位于地块内东部且位于城市常年主导风向的上风口，避免生产区对生活区的56号门卫组成。其中：5号综合楼包含食堂、停车场、员工活动中心、员工宿舍等功能，6号门卫则结合南侧入口广场进行景观设计，提升园区品质和对外形象展示效果。113，生15。主要设备、原辅材料及燃料12主要生产设备表序号工序设备名称数量（片/年PAGEPAGE30本项目辅助动力设备见下表表13辅助动力设备一览表序号 名

单 数 备位 量

安装位置备注动力用量备注动力用量单位动力种类序号本项目主要能源动力消耗见下表。表14主要能源消耗量PAGEPAGE3715主要原辅材料使用情况一览表序号 名称 主要成分 包装规格 储存数量 物态 压力 用途 单位 年使用量 最大存储量

储运周期（月）

存储场所（设计火灾危险类别）.~序号 名称

主要成分

包装规格

储存数量 物态 压力

用途 单位

年使用量

最大存储量

储运周期（月）

存储场所（设计火灾危险类别）-- 、 .序号名称主要成分包装规格储存数量物态压力用途单位年使用量最大存储量储运周期（月）存储场所（设计火灾危险类别）序号名称主要成分包装规格储存数量物态压力用途单位年使用量最大存储量储运周期（月）存储场所（设计火灾危险类别）序号 名称

主要成分

包装规格

储存数量 物态 压力

用途 单位

年使用量

最大存储量

储运周期（月）

存储场所（设计火灾危险类别）PAGEPAGE40序号名称主要成分包装规格储存数量物态压力用途单位年使用量最大存储量储运周期（月）存储场所（设计火灾危险类别）PAGEPAGE41建设内容6水平衡分析表16本项目用排水量一览表单位：m3/d类别新鲜水用量纯水用量重复利用水量工业废水排放量类别新鲜水用量纯水用量重复利用水量工业废水排放量表17湿法刻蚀清洗工序用排水量一览表序号设备台数单次溶液体积(L)工艺步骤晶圆数量片/次月片數平均快排次數(次/day)设备定期排水(L/day)排水量（m3/d）废水种类： ，43图1 本项目水量平衡图44PAGEPAGE45工艺流程和产排污环节 PAGEPAGE50PAGEPAGE60PAGEPAGE70PAGEPAGE73类别 主要生产

29废气主要污染物产排情况表单元 主要工

废气种类

处理设施

排气筒

主要污染物，主要污染物主要污染物排气筒处理设施废气种类收集措施主要工序主要生产单元类别30废水主要污染物产排情况表主要污染物主要污染物排水去向处理设施废水种类主要工序主要生产单元类别类别主要生产单元主要工序废水种类处理设施排水去向主要污染物、、、主要污染物排水去向处理设施废水种类主要工序主要生产单元类别类别 主要生产元

31主要危险废物产排情况表主要工序 危险废物 废物类别 废物代码、 - -PAGEPAGE763 平衡分析工艺流程和产排污环节工艺流程和产排污环节79工艺流程和产排污环节工艺流程和产排污环节8081PAGEPAGE86工艺流程和产排污环节，工艺流程和产排污环节工艺流程和产排污环节88PAGEPAGE89PAGEPAGE96工艺流程和产排污环节与项目有关的原有环境污染问题本项目为新建项目，用地现状为在建“珠海格创智能元件厂房及配套建设项目”的厂房，不涉及原有环境污染问题。污染物年平均质量浓度污染物年平均质量浓度现状浓度μg/m³标准值μg/m³占标率%超标率%达标情况SO2年平均质量浓度860130达标NO2年平均质量浓度1940480达标PM10年平均质量浓度3070430达标PM2.5年平均质量浓度1735490达标CO年平均质量浓度8004000200达标O3年平均质量浓度1601601000达标区域一、大气环境（1）基本污染物环境质量现状本项目在广东省珠海市香洲区，本项目地块位于珠海市高新区集成电路产业园金瑞二<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海市环境空气质量功能区划分>(357号)以及珠海市生态环境局关于印发<珠海市环境空气质（2022年修订（2022197号（GB3095-2012）及其修改单中的二级标准。根据珠海市生态环境局《2022年珠海市环境质量状况》，珠海市环境空气质量主要指SO2NO2PM10PM2.5COO3表48 2022年珠海市环境空气主要污染物浓度本项目大气环境评价范围内涉及中山市大气环境功能一类区。根据中山市生态环境局2022年大气环境质量状况公报》，中山市环境空气质量主要指标见下表。其中，SO2、NO2、PM10、PM2.5CO2495百分位数质量浓度达到《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单的二级标准限值要求，O3日最890百分位数质量浓度不满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单的二级标准限值要求，具体见下表。表492022环境质量现状污染物评价指标现状浓度标准值占标率超标率达标情况μg/m³μg/m³%%SO2年平均质量浓度5608.3%0达标NO2年平均质量浓度224055.0%0.3%达标PM10年平均质量浓度347048.6%0达标PM2.5年平均质量浓度193554.3%0达标CO2495百分位数质量800400020.0%0达标浓度O3890百分位数质量浓度184160115.0%16.2%未达标本项目大气环境评价范围内涉及中山市大气环境功能一类区，其环境空气质量现状根据《2022年中山市空气质量监测点均值数据》中长江旅游区站的监测数据进行评价，具体结果见下表。表502022SO2COPM10PM2.5NO2（GB3095-2012）及修改单一级标准，O3不满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及修改单一级标准。综上所述，因此本项目所在评价区域判定为非达标区。（2）特征污染物环境空气质量现状评价本项目排放国家、地方环境空气质量标准中有标准限值要求的特征污染物为氨、氟化物、氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸、TVOC、砷。此外，项目还涉及排放污染物硫化氢、锡及其化合物、非甲烷总烃、臭气浓度。为了了解项目周边环境空气质量现状，建设单位20231016日~1022日在五桂山自然风景区东南侧布点，进行了特征污染物砷的环境空气质量现状监测，其它特种污染物20221213日~12192023410日4月17HXJ222070HXJC2300070，点位名称点位名称监测点坐标/m污染物评价指标评价标准μg/m³现状浓度μg/m³最大浓度占标率%超标率%达标情况XY长江旅游区站长江旅游区站SO224小时平均质量浓度505.35240达标NO224小时平均质量浓度8017.5893.750达标PM1024小时平均质量浓度5027.581788.49达标PM2.524小时平均质量浓度3517.91228.576.85达标O3890质量浓度10017829835.89超标CO24小时平均第95百分位数质量浓度4000800300达标Q2（现状香洲区西部沿海高速锦石猪场距本1200m。监测结果汇总如下表所示。样点布设见下表，具体布设点位见附图14。51大气环境质量现状监测点布设一览表编 测点 相对号 位置 方位 距离 监测因子 备注表52 空气环境质量现状监测及评价结果统计表监测点位污染物平均时间评价标准监测浓度范围（μg/m3）占标率（%）超标率（%）达标情况124（GB3095-2012）A1小时平均浓度、24小时平均浓度满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）21小时平均浓度241小时平均浓度满足《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2–2018)DTVOC8D的要求。二、地表水环境本项目位于珠海市高新区金鼎片区金瑞二路北侧，项目地块东侧临近金鼎东路；南侧临近金瑞二路；西侧临近金鼎西路；北侧临近金环西路。本项目废水经厂内自建污水站处理后排入市政污水处理厂。本项目废水经市政管网排PAGEPAGE100入珠海海源再生水有限公司（北区污水处理厂），经处理后的尾水进入金星门水道，最终汇入金星门海域。根据《广东省近海域环境功能区划》，唐家湾附近海域执行《海水水质（GB3097-1997）（污染影响类型试行20235222022年全市水环境质量稳中向好，地表水考核断面水质优良比例100%，9100%。为了了解金星门海域水质现状，本项目引用同创伟业（广东）检测技术股份有限公司20229282022929报告编号：TCWY检字（2022）0928116号）O1500m、O2500m、O3120m。监测结果汇总如下表所示。PAGEPAGE101表53 金星门海域海水环境质量监测结果表PAGEPAGE109由上表可知，金星门海域各监测项目指标均符合《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准，本项目区域水质环境质量良好。三、声环境根据珠海市生态环境局印发的《珠海市生态环境局关于印发珠海市声环境功能区区划的通知》(珠环[2020]177号)，本项目所在地声环境功能区划属于3类区，执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准。20231024日对本项目环境噪声进行现状监测，昼夜间现状监测结果见下表。表54 项目区厂界声环境监测结果区域 根据噪声监测结果可知，厂界昼间、夜间噪声监测结果满足《声环境质量标准》环境 （GB3096-2008）中3类标准。质 四、生态环量现 本项目所在地为工业用地无其他用地类型植被类型主要为人工植被无大型野生动物。状 五、电磁辐射不属于电磁辐射类项目，无需开展电磁辐射现状监测与评价。六、地下水、土壤环境（GB18597-2023）、《石油化工防渗工程技术规范》（GB/T50934-2013）等规范设计地下水污染防渗措施。不存在土壤、地下水环境污染途径。根据《珠海市人民政府关于调整珠海市饮用水水源保护区的请示》（珠府〔2018〕51号）（2018314号）中的规定，本项目所在地不属于珠海市饮用水源保护区范围。（GB18597-2023）、《石油化工防渗工程技术规范》（GB/T50934-2013）等规范设计地下水污染防渗措施。不存在土壤、地下水环境污染途径。根据《珠海市人民政府关于调整珠海市饮用水水源保护区的请示》（珠府〔2018〕51号）（2018314号）中的规定，本项目所在地不属于珠海市饮用水源保护区范围。综上所述，根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）》开展现状调查以留作背景值。地下水环境为了了解项目周边环境空气质量现状，建设单位委托广东智环创新环境科技有限公司有限2023102420231026日~20231030日在本项目厂址所在地及项目地的上游及下游布点，开展地下水环境现状监测。地下水环境监测共设置3个监测点位，监测点信息见表53，监测结果见表54。表55 地下水监测点信息表编号位置水位标高（m）井深（m）采样深度（m）地下水位埋深（m）地表高程（m）备注.. . . . 检测项目

表56 地下水检出物质一览表最检出限 限值 含量范围 检出率 超标率 大超标/ mg/L mg/L （％） （％） 倍数q根据评价结果，地下水现状环境的浊度、总大肠菌群、细菌总数超出《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）中Ⅲ类标准，其余各项监测因子的监测结果均满足《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）中Ⅲ类标准。2.土壤环境为了解项目所在地土壤质量现状，本次评价共设置7个土壤环境监测点位，其中厂界内的4个监测点分别位于厂区内西、北、东、南侧，厂区外的3个监测点分别位于厂界外东侧、西北侧和西南侧，为建设单位委托广东智环创新环境科技有限公司有限公司于20231018日~2023102356监测结果见表57和表58。编号采样位置布点类型监测时间及频次监测项目57土壤环境质量现状监测点布设情况编号采样位置布点类型监测时间及频次监测项目.表58监测土壤环境参数信息.编号 检测点位 颜色 质地 砂砾含量（%）

土层结构 其他异物序号 监测项

表59 土壤检出物质一览表1监测结果（mg/kg） 第二类用地风险筛

达标情况表层样0-0.2m

选值标准（mg/kg）表60 土壤检出物质一览表2监测结果（mg/kg） （GB36600-2018）序号 监测项目 第二类用地风险 达标情柱状样 柱状样 柱状样 筛选值标准0-0.5m 0.5-1.5m 1.5-3m由监测结果可知，项目所在地各建设用地土壤污染基本项目均符合《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》（试行）（GB36600-2018）中的二类用地土壤污染风险筛选值限值要求，区域土壤环境质量现状良好。PAGEPAGE110环境保护目标本项目位于珠海市高新区金鼎片区内，通过现场调查，本项目环境保护目标情况如下：1、大气环境：项目边界外边长5km范围内，大气环境保护目标见下表及附图。表61 环境保护目标一览表序号名称经纬度保护对象保护内容环境功能区相对厂址方位相对厂界距离/m经度纬度1外沙村E113.530783N22.398094环境空气居住二类东侧2002雅居乐国际花园E113.538916N22.400812环境空气居住二类东北侧11203会桐别苑E113.541083N22.396864环境空气居住二类东侧12704礼和中学E113.541083N22.396864环境空气学校二类东北侧12705招商雍华府花园E113.542156N22.400078环境空气居住二类东北侧14606万科翠珑苑E113.542000N22.401109环境空气居住二类东北侧14807万科翡玲苑E113.541619N22.402379环境空气居住二类东北侧15008首开龙湖天玺院E113.541641N22.403807环境空气居住二类东北侧15809E113.541233N22.405454环境空气居住二类东北侧165010华庭云谷E113.541233N22.406227环境空气居住二类东北侧172011星湾幼儿园E113.543250N22.399800环境空气学校二类东北侧160012唐家公馆E113.543701N22.400276环境空气居住二类东北侧160013唐嘉名苑E113.543207N22.401010环境空气居住二类东北侧161014礼和小学E113.543186N22.402359环境空气学校二类东北侧164015美的宝龙城E113.543336N22.405235环境空气居住二类东北侧177016颐璟名庭E113.542606N22.406406环境空气居住二类东北侧183017华庭云谷二期E113.543572N22.406723环境空气居住二类东北侧195018惠景慧园E113.545889N22.396983环境空气居住二类东侧171019仁恒河滨花园E113.544902N22.400355环境空气居住二类东北侧173020创雅苑E113.549880N22.397538环境空气居住二类东侧213021天地源E113.549280N22.406267环境空气居住二类东北侧2380上唐府22珠海公园九里E113.549237N22.407219环境空气居住二类东北侧239023海岸家园E113.553528N22.398213环境空气居住二类东侧242024万科第五园E113.552498N22.401149环境空气居住二类东北侧249025华润置地广场E113.553657N22.404363环境空气居住二类东北侧270026E113.553271N22.407021环境空气居住二类东北侧279027上栅村E113.529624N22.390436环境空气居住二类南侧50028金峰学校E113.534817N22.387777环境空气学校二类南侧111029幼儿园E113.525762N22.383253环境空气居住二类南侧117030金景豪园E113.538722N22.384484环境空气居住二类南侧158031惠景嘉园E113.535032N22.382499环境空气居住二类南侧159032金晖苑E113.537006N22.382103环境空气居住二类南侧175033惠景畅园E113.542413N22.384364环境空气居住二类南侧190034下栅圩村E113.541812N22.383015环境空气居住二类南侧149035惠景和园E113.539924N22.379126环境空气居住二类南侧207036金鼎第一小学及幼儿园E113.544250N22.378214环境空气学校二类南侧240037官塘村E113.539452N22.376230环境空气居住二类南侧209038恒隆华萃园E113.541941N22.372420环境空气居住二类南侧288039金鼎中学E113.524818N22.372975环境空气学校二类南侧223040恒大云锦E113.552112N22.373848环境空气居住二类东南侧332041北京理工大学珠海学院E113.538122N22.367181环境空气学校二类南侧265042宝龙世家E113.552348N22.381061环境空气居住二类东