《光学薄膜与技术》实验

学时：8适应班级：教改实验班在学习了光学薄膜设计基本理论的基础上，了解常用光学薄膜设计软件的基本功能并会利用这些常用的薄膜设计软件进行减反射薄膜、高反射薄膜、分光膜以及截止滤光片和带通滤光片等薄膜的设计和优化分析。了解常用真空获得设备的原理、使用方法和注意事项，掌握光学薄膜沉积的基本工艺流程，并针对三层减反射薄膜镀制实验，理解并掌握光学薄膜厚度监控的方法和技巧和在光电极值法监控膜厚时监控片的选择原则和基本技巧。通过以上实践教学环节，提高学生的实践动手能力和在实践中分析问题、解决问题的基本能力，加深对《薄膜光学与技术》理论课程的进一步理解，以便今后可以更好的从事光1上机实验(4学时)1.1AUTOFILM光学薄膜设计软件的功能模块和使用(2学时);1.2TFC薄膜设计软件的功能模块和使用，并设计出三层减反射薄膜(2学时)2.光学镀膜机的使用和膜系的镀制(4学时)2.会使用AUTOFILM光学薄膜设计软件进行简单的薄膜特性计算。AUTOFILM光学薄膜设计软件1.掌握AUTOFILM光学薄膜设计软件的五大模块的功能，特别是输入、(1)计算K9玻璃(n=1.52)基底上单层氟化镁(MgF₂,n=1.38)光学厚度为130nm时，光线垂直入射下400-700nm范围内的反射率光谱曲(2)计算K9玻璃(n=1.52)基底上单层氟化镁(MgF₂,n=1.38)光学厚度为130nm时，分别计算入射角为0、30、45、和60度时520nm波(3)计算K9玻璃(n=1.52)基底上单层氟化镁(MgF₂,n=1.38)光学厚度为260nm时，在波长分别为260nm、520nm和1040nm处的反射总体要求：格式规范，具有实验名称、实验目的、实验内容、实验设备等2.完成实验内容2中的计算。1)基底为K9玻璃(n=1.52);2)膜料可以任选2-3种，(已知，Al₂O;n=1.56;MgF₂:n=1.38;ZrO₂,n=1.90;3)要求该膜系在400-700波段范围内的Tave≥99.0%;Tmax≤99.8%1)基底为K9玻璃(n=1.52):2)中心波长633nm;4)要求中心波长处的反射率大于99.0%;5)比较膜系S/(LH)⁸/A与S/(0.5LH0.5L)⁸/A有哪些异同?总体要求：格式规范，具有实验名称、实验目的、实验内容、实验设备等2.完成实验内容2和3中的相关内容，膜系设计必须给出相应的膜系结构1.熟悉并掌握光学镀膜机的基本构成以及每部分的基本功能；3.了解光学薄膜镀制的基本工艺流程以及光电极值法监控膜厚的技巧，并4.了解光学薄膜透射率测试的方法并对三层减反射薄膜进行测试和1.依据光学薄膜的基本理论，在K9玻璃上设计出400-680nm范围内的宽带减反射薄膜，单面镀制该三层减反射膜后的平均透射率大于95%,峰值透射率大于95.6%;2.掌握光学镀膜机的基本做操流程和光学膜厚监控方法后，在ZZS700-1/G在3.U3501分光光度计上完成所镀制膜系的透射率测量，并对测量结果总体要求：格式规范，具有实验名称、实验目的、实验内容、实验设备等1.描述并给出所用光学镀膜机的基本结构图；3.给出膜层镀制的基本