绍兴市高笙半导体科技有限公司年产集成电路设备尾气处理设备100 台项目环境影响报告

瀚邦环保瀚邦环保I 1 13 22 27 32 39 40 56 6111建设项目基本情况/造/期材料的技术研发、技术服务；制造、维修、销售真空设备及配件、电子元器件、新目前绍兴地区对半导体行业生产过程中废气处理专用设备缺口较大，企业抓住这一环境保护管理条例》的规定，本项目需办理环境影响评价手续。对照《国民经济行2受绍兴市高笙半导体科技有限公司的委托，我公司承担了本项目环境影响报告表的编写工作。我公司接受委托后即组织人员对该项目地块进行实地踏勘，收集了国家、省、市的有关环保法规以及环境影响评价技术导则要求，编制了本项目的环3），17、《关于生产和使用消耗臭氧层物质建设项目管理有关18、《国务院关于印发打赢蓝天保卫战三年行动计划的通知》（国发[2018]22410、《省生态环境主管部门负责审批环境影响评价文件的建设项目清单（201911、《关于印发<绍兴市建设项目环评审批污染物排放总量削12、《绍兴市大气污染防治条例》，绍兴市第七届人民代表大会常务委员会公14、《绍兴市人民政府办公室关于印发绍兴市打赢蓝天保卫战行动计划15、《关于印发越城区空气质量达标进位专项行动方案的通知》，绍兴市越城52、《浙江省淘汰落后生产能力指导目录（2012年本）》，浙淘汰办[2012]204、《浙江省人民政府关于发布浙江省生态保护红线的通知》（浙政发[2018]306键加工区、废气处理机组装区和测试区，东侧从北至南为办公区和冷泵维修区（详设有前台、办公区、管件加工区、废气处理无测试工位设置集气罩，收集后与收集的测试废气1/2//71台1/2台1/3台1/4台1用5台16台1/7套/8台1/9套2/套2/套2/套/台1/台1/本项目使用主要原辅材料如下。项目实施后，在生产和维修过程中不得使用受12345/6/7/8/9///8//////1量氟化物111111111111电1沸点-191.4℃,闪点<-50℃,爆炸上下限产生火花的机械设备和工具。29室效应（GWP）的气体；沸点-40.8℃、熔点-146℃,相对密度（水=1）1.213，相对蒸汽密度（空气=1）3.0，破坏臭氧潜能值30.9915，相对蒸汽密度（空气=1）2.9；该4沸点-84℃,饱和真气密度（在沸点时）4.66kg/m3；属低毒类气体；破坏臭氧潜能5破坏臭氧潜能值（ODP）0，全球变暖潜能轻装、轻卸，防止附件破损。6无色气体，遇湿气缓慢分解；气体密度789气味；相对蒸汽密度（空气=1）6.6，沸点无色气体，有恶臭；相对密度(水=1)0.68，溶于苯、四氯化碳；熔点-185℃,沸点-112℃,闪点<-50℃,第2.1类易燃气体度的硅烷在-180℃的温度下也会与氧发生引起燃烧并放出很浓的黄色的无定型二氧和输出阀的密封完好，远离频繁不应有火源，所有电器必须有防爆设施。与氧及氧化物存放区最少相距20英尺或者在中间放置存区和使用区内应有“禁止吸烟气体相对密度1.17，熔点-132.5℃,沸点-87.5℃,爆炸极限1.8%~98%，2.3类有毒烷LC5058mg/m3(大鼠吸入)、33mg/m3(小鼠吸入)；易燃高毒，能与空气混合能形成爆炸素会剧烈反应并能与氟氯烷灭火剂猛烈反（V/V）3.3%~19.0%；低毒，急性毒性LD507060mg/kg(大鼠经口)、7340mg/kg(兔经皮)，LC5037620mg/m3，10小时(大鼠吸料根据查阅，本项目作为检测气体用二氟一氯甲烷、三项目采用雨污分流的排水系统，厂区雨水经雨水管网收集后排入附近河流；生1.3与项目有关的现有污染情况及主要环境问题本项目为新建项目，租赁绍兴市奇创车业有限公司闲2建设项目所在地自然环境社会环境简况绍兴地处长江三角洲南翼、宁绍平原西部、浙江省中北部杭州湾以南之间，下绍兴市全境处于浙西山地丘陵、浙东丘陵山地和浙北平原三大地貌单元的交接地带，地势南高北低，形成群山环绕、盆地内含、平原集中的地貌特征，地形骨架下的丘陵地和台地。北部平原地表地貌比较单调，但地下空间比较复杂，发育了分地质上，境内以纵贯市域的江山—绍兴深断裂（柯桥区平水镇至诸暨市璜山一线）为界，西北部和东南部分属扬子准地台、华南褶皱系这两个一级构造单元，分属江南（西北区）和华南（东南区）两个地层区。由于历史上经历了大量的地质活动，留下了丰富而比较齐全的地质结构。境内的西北区自中元古界至新生界第四系全年频率在各方位分布较均匀，风频最高为NNW和ENE，分别为9.05％和8.98各风向全年平均风速在1.11~2.44m/s之），年），水源补给主要是地表径流和降水，其水文特征受天然降水过程影响，又受沿水流自西南流向东北，流量甚小。袍江新区内水网纵横，湖泊散落，主要河道有南横江，外官塘、荷湖江、直江等，主要湖泊有王家池、洋泾滨。水面约占总用地的型看，除地带性的红壤、黄壤土外，还广布着隐域性的水稻土、潮土、盐土和紫色丰富的土壤资源，为农、林、牧、渔业的全面发展及各种地方名、优、特产品的生2.2相关规划概况及项目规划符合性分析2.2.1绍兴城市总体规划实现“绍北城镇密集区半小时通达”和“市域一小时交通圈、两小时旅游圈”）；干线铁路形成“二纵、三横”的结构。“二纵”即浙赣铁路、杭长客运专线；城际铁路形成“一横二纵”的结构。“一横”即杭绍甬城际铁路；“二纵”即镜湖绿心（5个）：高铁、高教园区综合体、城市核心区综合体、迎恩门风情迪荡商贸商务城市综合体、迪荡湖休闲综合体、青甸湖休闲旅游综合体、会稽山度柯桥区片区（8个）：轻纺国际贸易区综合体、柯北市场创新区综合体、轻纺市场综合体、大阪湖水乡都是休闲区综合体、瓜渚湖北岸城市综合体、笛扬商圈综袍江片区（5个）：绍兴国际汽车城综合体、绍兴物流基地综合体、袍江商务根据企业提供土地证和房权证，项目土地性质为工业用地，厂房为工业用房。2.2.2绍兴市越城区环境功能区划及符合性分析⑦最大限度保留区内原有自然生态系统，保护好河湖湿地生境，禁止未经法定允许新建扩建二类工业项目，但凡属国家、省、市、县落后产能的限制类、淘项目为专用设备制造业，属于二类工业项目，其与该环境功能区划的符合性分表2-1本项目与环境功能区划符合性分析一览表/离/带；建设主要河道的景观绿化廊/2.3绍兴水处理发展有限公司工程概况环保总局组织的竣工验收（环验〔2003〕048号）。污水处理工艺采用预处理、厌工程采用意大利泰克皮奥生物技术有限公司印染处理工艺技术“根据绍兴市环境保护局《关于明确绍兴水处理发展有限公司废水排放适用标准《纺织染整工业水污染物排放标准（GB4287-2012）》的直接排放限值，其中六价），表2-2绍兴水处理发展有限公司生活污水出水口水质情况一览表pH污水出水口水质均能达到《城镇污水处理厂排放标准》（GB189目前，项目所在地市政污水管网已敷设到位，项目可实现纳管。项污水经厂区化粪池处理后排入市政污水管网，送至绍兴水处理发展有限公司集中处2.4周围污染源情况调查表2-3项目所在地周边主要污染源情况序号1W2W3W4W5N3环境质量状况3.1建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题4.49。上虞区和新昌县环境空气质量优先达到国家二级标准要求。越城区各基本污表3-1越城区城市空气环境质量现状评价表（1）µg/m38PM10PM2.5表3-2越城区城市空气环境质量现状评价表（2）PM10PM2.53.1.2地表水环境质量现状表3-3地表水环境现状监测数据结果统计表pHBOD5/由上表可知，各监测断面各监测因子均能满足《地表水环境质量标准》（GB处理达标后排放至钱塘江。根据《浙江省地表水环境质量月报》（浙江省环境监测），3.1.3声环境质量现状评价昼3.2主要环境保护目标（3）地表水：保护目标附近河流的保护级别为《地表水环境质量标准》NE郡人NENE寓NE缘NENES家W园WW园WW园WWW村村村村E村E园光人郡人区人学园NN/S4评价适用标准环境质量标准污染物环境质量标准执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单中附录D的相关标准；氟化物和砷化物参照执行《工业企业设计卫生标准》准NO2mg/m34//PM2.5/PM10//////3/根据《浙江省水功能区水环境功能区划分方近水体为Ⅲ类水功能区。故项目所在区域附近地表水环境质量执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中pHCODCrBOD5CODMn量执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准限值要污染物排放标准///6本项目无生产废水。项目所在地纳污管网已铺设到位，生活污水经化粪池预处理后达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准，排入市政BOD5NH3-N3-N、总磷三级标准参照执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》pHCODCrBOD5NH3-N3、噪声排放标准4、固体废物控制标准企业产生的固体废物的处理、处置均要满足《中华人民共和国固体废物污项目一般固废执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染物控制标准》(GB18599-2001)；危险废物储存、转运、处置执行《危险废物贮存污染控制标）；布《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2001)等国家污根据《“十三五”生态环境保护规划》（国发[2016]65号“十三五”总量控制指标本项目纳入总量控制指标的主要是水污染物CODCr、氨氮和大气污染物表4-10项目运营后总量控制指标情况单CODCrVOCs3、总量控制指标平衡方案根据《浙江省建设项目主要污染物总量准入审核办法（试行）》中第八条“新建、改建、扩建项目不排放生产废水且排放的水主要污染物仅源自厂区内独立生活区域所排放生活污水的，其新增的化学需氧量和氨氮两项水主要污染按照浙江省《关于做好挥发性有机物总量控制工作的通知》要求，空气质量未达到国家二级标准的杭州、宁波、温州、湖州、嘉兴、绍兴、金华、衢州（1）环评建议以废水量0.128t/d(31.88t/a)，CODcr量0.011t/a、氨氮量（2）环评建议以废水量0.128t/d(31.88t/a)，CODcr量0.002t/a、氨氮量0.0002t/a作为项目实施后水污染5建设项目工程分析5.2.1生产工艺流程图及其简述样图电气控制盘制作定制购入管路加工电气控制盘制作定制购入管路加工组装测试包装出厂废活性炭擦拭废气废弃零件废弃零件废弃零件抛光粉尘擦拭废气废弃零件抛光粉尘擦拭废气的管件和电气控制盘组装，组装完成后进行测试，根据不同废气处理机处理方式，测试主要步骤为：①检查机台各部件连接正常。线路正常；②给机台送压缩空气测试有无漏气；③活性炭吸附式机台设备还需通入测试气体测试其吸附能力，在本项目将冷泵带回厂区后进行拆解，使用酒精擦拭马达、腔体、制冷机等重要50℃,持续时间10h，以除去水汽。各项维护措施完成后重新组装，组装完成后通5.3主要污染工序及污染源强分析5.3.2主要污染源强及治理措施分析。积小，且打磨产生粉尘均为金属颗粒物，密度大，短时间内可沉降于工位周边，本本项目主要废气为活性炭吸附效率测试废气和冷泵维护中清洁保养的擦拭废气体测试活性炭吸附效率。企业设有两个测试工位，在被测产品设备入口端依次通入测试气体，经设备内活性炭吸附剂处理后通过管道送同一台光氧活性炭一体机处后剩余气体通过管道连接全部收集后送光氧活性炭一体机处理设备处理，处理效率表5-1测试废气产排情况一览表VOCs注：①氟化物包括有机氟化物二氟一氯甲烷、三氟乙烷、三氟甲烷、四氟乙烷、六氟乙烷、全氟丙烷和无机氟化物三氟化磷、四氟化硅；②VOCs包括有机氟化物项目冷泵维护修理过程中采用人工操作方式使用酒精进行擦拭保洁，酒精使用量为30桶/年，约0.059t/a，在擦拭过程中快速挥发，以VOCs计，则VOCs产生量为约80%，废气处理设备处理效率约为80%，收集总风量为10000m3/h，年工作时间约2000h，则项目擦拭VOCs有组织排放量为0.009t/aNH3-NNH3-NNH3-N1台12台13台14台15台16台17套8台19台1台1本项目产生废活性炭包括测试产生废活性炭和废气处理产生废活性炭。项目单体机中活性炭填装量为600kg，根据维护要求，每年更换一次，则废活性炭产生量根据《固体废物鉴别标准通则》（GB34330-2017）的规定，对本项目产生所表5-6项目生产过程副产物产生情况汇总表物1是2是3等是4是1/234/序号置形态1固态置2固态等企业将各类固废分类收集，危险固废暂时贮存于车间西南角的危废暂存库（见附图4），做到危险固废和一般固废分离贮存。厂区内设置生活垃圾桶，将由环卫项目实施过程中必须根据《中华人民共和国固体废物环境污染防治法》及《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597制度和申报登记制度；对危险废物的容器和包装物以及收集、储存、运输危险废物‘项目主要污染物产生及预计排放情况排放浓度及排放量物有组织排放：0.16kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00VOCs有组织排放：0.14kg/a，0.00VOCsNH3-N理项目营运期主要噪声包括各类生产设备的运行噪声，噪声强被群落及珍稀动植物资源。企业租用绍兴市奇创车业有限公司闲置厂房实施生产，格落实各项污染治理措施，将影响降至最低，项目的实施对区域生态环境的影响较7环境影响分析本项目产生废气为活性炭吸附效率测试废气、抛光粉尘和冷泵维护中清洁保养的擦拭废气。砂轮机根据需要偶尔使用，产生废气为金属颗粒，基本能在工位附近擦拭工位设置集气罩，收集后与测试废气一同送至光氧活性炭一体机设备处理，经因此，项目产生废气经过环保措施处理后，排放量少，且均能达标排放，对周根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）及项目工程级方法，项目选择CO、氟化物、砷化物、VOCs作为预测因子，选择估算模型AERSCREEN软件进行估算。估算模型参数表见表7-2，废气排放污染物源强见表标准值(μg/m3）3），///称筒高度速放小时数排放工况子率XY筒况称长度宽度 有效高度放小时数子排放速9表7-5项目排气筒排放废气估算模式预测结果（1）D10%最远距离表7-6项目排气筒排放废气估算模式预测结果（2）D10%最远距离表7-7项目无组织排放废气估算模式预测结果预测质量浓度(μg/m3）离D10%最远距离（m）项目厂界浓度满足大气污染物厂界浓度限值，且厂界外大气污染物短期贡献浓7.2.2地表水环境影响分析本项目废水产生量为0.128t/d、31.88t/a，污染物产生量为CODcr0.011t/a、NH3-N0.0002t/a。绍兴水处理发展有限公司生活污水处理采用中一级A标准，实现稳定达标排放。本项目所在地市政污水管足国家纳管标准和绍兴水处理发展有限公司的接纳要求。因此，项目依托绍兴水处表7-8废水类别、污染物及污染治理设施信息表序号律型1道///是2CODCr厂是序号1厂排/CODCr5序号1CODCrCODCrNH3-NNH3-N年排放量（t/a）1CODCrCODCrNH3-N7.2.3地下水环境影响分析地下水环境影响评价项目类别Ⅳ类，根据其），项目声波在传播过程中只考虑距离衰减和厂界围墙屏蔽衰减。预测用以下公式Lp=Lw-ΣAi②对于屏蔽衰减量：一般同类车间隔声量在15~25dB之间，本环评隔声量按Lpi66本项目营运期间产生的废弃零件为属于一般工业固体废物，收集后出售给物资表7-14本项目固体废物产生汇总及处置情况一览表123物、酒精等4理（1）危险废物贮存场所（设施）要求及环境影响分析质结构稳定，无地质灾害，且所用贮存危险废物容器与危险废物互不相容。企业对本项目危险废物为废活性炭、废包装桶，废活性炭使用加盖的吸附剂桶收集，废暂存间设有集气口，收集废气送光氧活性炭一体机处理。要求在各类危废暂存位好危险废物情况的记录台账，包括名称、来源、数量、特性、入库日期、出库日期土壤环境基本不会产生影响。项目各项措施均按《危险废物贮存污染控制标准》表7-15项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表序号1角约2要求企业与具有相应类别的危废处理资质的单位签订委托处理协议，定期委托处理。在委托处理前，厂区内危险废物将运至厂区内暂存点贮存。企业在厂区内转移过程中应避免碰撞发生倾倒泄露。运输路线应有相应的标识引导，运输须配备专员，且须培训后上岗。运输专员在转运作业时采用专用的工具，并填写《危险废物本项目不自行处理危险废物，将委托有相应类别的危废处理资质的单位进行处先选择绍兴地区范围内与厂址更近的危废处置单位。委托资质单位处理后，项目产四氟化硅、六氟乙烷、全氟丙烷、硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷和擦拭液体酒精有发生泄漏的可能。主要风险为短时间内有毒有害物质在泄漏点废气浓度增大，可能发关注的危险物质和《企业突发环境事件风险分级123145167/58项目Q值Σ本项目环境风险的影响途径主要为环境空气，周围环境敏感目标分布情况见表学品发生泄漏后向周围扩散，和空气混合形成爆炸性混合气体，遇点火源将会发生较严重的火灾爆炸事故。硅烷具有的自燃（硅烷的自燃一般由微量杂质，如其他高级硅烷、水蒸气或某些不稳定杂质引发、爆炸性，其较宽的自发着火范围和极强的项目危险物质气瓶发生泄漏，泄漏的可燃性泄漏的可燃气体与空气形成爆炸性本项目储存使用的危险化学品中磷烷、砷烷、乙硼烷为剧毒化学品，具有较强②应定期组织全体职工认真学习《安全生产法》、《安全生产事故隐患排查治④操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。切实加强生产现场安全管格限制出入；应急处理人员戴防毒面具（全面罩），穿防毒服；如需周围环境敏感为防范和应对突发性环境污染事故的发生，要求建立既能对污染隐患进行监控表7-17建设项目环境风险简单分析内容表绍兴市高笙半导体科技有限公司年产集成电路设果化学发生泄漏后向周围扩散，和空气混合形成爆炸性混合气体，化磷、四氟化硅等物料，均存在不同程度的毒性，一旦存储、使②应定期组织全体职工认真学习《安全生产法》、《安全生产事故隐患排查治理暂行规定》等有关法律法规，提高全体职工③强化“一岗双责”和“管理生产必须管安全”，明确责任④操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。切实加⑤生产厂房内严禁烟火，应按规定要求设置标志标牌和安全①要求对有毒有害气体制订详细的安全管理制度；对剧毒品③在气体易泄漏部位设置气体检测器，定期检查生产装置和根据企业提供风险物质的最大贮存情况，对照《建设项目环境风险评价技术导则》噪声等环境污染物。遗留的主要是厂房和废弃设备。厂房将退还给出租方可做其他用途；废弃的设备可出售给物资回收公司综合利用。厂区内遗留的固废按运营期要8建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果污染源大气污染物排放限值”二级标准的有组织排放标准VOCsVOCs污染源大气污染物排放限值”水处理厂污染物排放标准》项目无大量的对生态环境产生重大影响的污染清洁生产是一种新的污染防治战略，指将整体预防的环境战略持续应用于生产过程、产品和服务中，以增加生态效率和减少人类及环境的风险。推行清洁生产可以达到“节能、降耗、减污、增效”的目的，是保护环境、实现经济可持续发展必由之路。为使建设项目实现经济效益、环境效益和社会效益的统一，使项目环境影本项目营运期间产生的废弃零件收集后出售给物资回收公司综合利用或处置；清洁生产审核是按照一定程序，对生产和服务过程进行调查和诊断，找出能耗高、物耗高、污染中的原因，提出减少有毒有害物料的使用、产生，降低能耗、物生产审核分为自愿性清洁生产审核和强制性清洁生产审核。本项目污染物排放均可随着生产水平的不断提高，清洁生产也将随之而持续进行。企业可对职工进行为保护环境，确保项目“三废”污染物达标排位需投入一定比例的环保投资落实污染治理措施。经初步序号12/3428.3环境管理和环境监测计划项目实施后，由总经理负责公司的环境管理工作，配置兼职环保员一人，负责公司的环保管理工作，监督、检查环保设施的运行和维护及保养情况。制订相关的待项目在落实环保措施投入生产后，企业应及时组织环保竣工验收，与有资质表8-2项目环保设施竣工验收“三同时”一览表集后通过光氧活性炭一污染源大气污染物排放限值”VOCsVOCs序号1口CODCr（3个）物向9结论和建议9.1.2项目污染物排放情况物有组织排放：0.16kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00有组织排放：0.02kg/a，0.00VOCs有组织排放：0.14kg/a，0.00VOCsNH3-N污染源大气污染物排放限值”二级标准的有组织排放标准VOCsVOCs污染源大气污染物排放限值”水处理厂污染物排放标准》强工人生产操作管理，避免非正常生产噪声的产监测断面的监测数据（距离厂界约1.4km），各监测处理达标后排放至钱塘江。根据《浙江省地表水环境质量月报》（浙江省环境监测由监测结果可知，项目厂界周围昼夜声环境质量现状均能达到《声环境质量标排放量少。项目在被测产品设备入口端依次通入测试气体，经设备内活性炭吸附剂精对冷泵重要部位进行擦拭保洁，酒精在使用过程中快速挥发，要求企业在擦拭工相关计算结果的要求。根据大气环境影响预测结果表明，项目排放污染物最大地面项目产生生活污水经厂区地埋式化粪池预处理后纳入市政污水管网，送至绍兴水处理发展有限公司处理后达到《城镇污水处理厂污染物排放标准地下水环境影响评价项目类别Ⅳ类，根据其），厂界周围昼间噪声贡献值均能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》本项目营运期间产生的废弃零件为属于一般工业固体废物，收集后出售给物资3、退役期环