ESD静电防护检测及管控标准

,表单编号：MD-013-01版本：00,,,,,,,

,ESD静电防护检测及管控标准,,,,,,,

项次,管制项目,,量测工具,量测项目,管控范围,检测周期,检测方法,量测记录表单

1,静电鞋,,表面阻抗测试仪,表面阻抗,5.0*105＜R＜1.0*109Ω,每季度,抽检10套,"静电帽、静电衣、静电手套、静电鞋及静电手环测试记录表

<CA-F-MD-013-12>"

2,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

3,静电手环,,万用表,腕带连接电缆电阻,7.5*105＜R＜1×107Ω,,,

4,,,万用表,腕带内表面对电缆扣电阻,R＜1.0*105Ω,,,

5,静电衣、裤、帽、手套,,表面阻抗测试仪,表面阻抗,1.0*105＜R＜1.0*109Ω,,,

6,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

7,静电接地,,接地电阻测试仪,主接地线对通用接地点接地电阻,R﹤1Ω,每季度,每条线体进行点检,"静电及设备接地线测试记录表

<CA-F-MD-013-11>"

8,,,接地电阻测试仪,通用接地点对地,R﹤4Ω,每半年,,

9,设备接地,,接地电阻测试仪,设备接地线对主接地线接地电阻,R﹤1Ω,每季度,抽取10个进行点检,

10,,,万用表,设备泄露电压,漏电压＜0.5V,每季度,,

11,防静电台垫,,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0*106Ω＜R＜1.0*109Ω,每月,"各区域

抽检5块，所有台垫每年确认一遍","防静电台垫表面电阻及静电压测试记录表

<CA-F-MD-013-08>"

12,,,表面阻抗测试仪,系统电阻,7.5*105Ω＜R＜1.0*109Ω,,,

13,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

14,"静电袋、静电气泡袋及

静电泡棉",,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0×104Ω≦R＜1.0*1010Ω,每月,抽检20个,"静电袋、静电气泡袋及静电泡棉测试记录表

<CA-F-MD-013-10>"

15,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

16,静电地板,,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0×105Ω≦R＜1.0*1010Ω,每半年,200M^2抽检5个点,"防静电地板测试记录表

<CA-F-MD-013-06>"

17,,,,系统电阻,5*104Ω＜R＜1.0*109Ω,,,

18,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

19,静电箱、静电框、托盘,导电型,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0×104Ω≦R＜1.0*107Ω,每月,各抽检5个,"静电箱、静电框、静电托盘、防静电毛刷和防静电镊子测试记录表

<CA-F-MD-013-13>"

20,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

21,,耗散型,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0×106Ω≦R＜1.0*109Ω,,,

22,,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

23,防静电毛刷,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

24,,,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0×104Ω≦R＜1.0*1011Ω,,,

25,防静电镊子,,静电场测试仪,静电压,<100V,,,

26,离子风扇,,静电压测试仪,静电压,2秒内静电压消散至100V以下,每月,全检,离子风扇点检记录表

27,,,静电压测试仪,离子平衡电压,≤±15V,,,

28,物料车,,表面阻抗测试仪,表面电阻,1.0×106Ω≦R＜1.0*109Ω,每月,"各区域抽检3个，

不足3个则全检","物料车ESD检测记录表

<CA-F-MD-013-14>"

29,,,表面阻抗测试仪,系统电阻,7.5*105Ω＜R＜1.0*109Ω,,,

30,,,静电压测试仪,静电压,<100V,,,

31,,,直尺,静电链长度,水平接地长度>8CM,,,

32,防静电工作椅,,表面阻抗测试仪,表面对接地链电阻,1.0×106Ω≦R＜1.0*109Ω,每月,"每个区域5把，

抽检需涵盖所有EPA区域","防静电工作椅表面电阻及静电压测试记录表

<CA-F-MD-013-07>"

33,,,表面阻抗测试仪,"工作椅面与

靠背椅面电阻",1.0×106Ω≦R＜