IC集成技术中的工艺模块教材

§10.3集成电路中的隔离双极集成电路中的隔离MOS集成电路中的隔离2023/10/51IC集成技术中的工艺模块

任何一种IC工艺集成技术都可以分解为三个基本组成部分：2023/10/52

在决定采用何种工艺时，必须要保证它们可以完成全部三个方面的任务。器件制作器件互连器件隔离I饱C集吗成丙中球的罗器怨件痒形治成竟与丘互姨连器芝件数制纸作主庙要狗是制盲造亡晶墙体区管所驱用理到举的户加常工江工纷艺告，部如强氧拜化腊层被的祖生躲长医，纸杂薯质遮的签扩泰散俗，彩图禁形堤的呀转字移(光芝刻谱和轿刻袍蚀)等倘。2蒜0某2体3涂/底7片/品3铅03器污件象互冤连是啄为扣了址将拒半运导寨体靠器念件估与块外况部艇有带效蚁地亲联特系丸起疼来制害作顺的滨连布接，剥包晨括导实侮现事器疑件闭连钻接柳的死金州属敏连畅线军以订及吓在症半秋导交体扰和迷金赴属胆连专线部之旨间斑制辛作苦的刻接针触弟（融常帅用翅的偶接关触星：次欧烂姆档接劳触红和岸肖悠特昆基奋接抵触姑）罩。I素C集氏成粪中眉的川器寻件吗隔扒离器辜件策隔敬离I拿C制屠作站过喝程孝中数，受如贪果像两壶个士晶汽体妙管堤或迅其怕他灵器视件愚互码相销毗科邻桨，益它驴们杜会俊因戏短鹊路扮而绸不呆工哪作勇。眠故巴必划须勿开织发尝出仙某婶种伪隔令离疲工叔艺策模释块状，使消每贞个漆器聚件毙的欢工推作扛都忠独框立蹈于炼其捎他笼器体件蜂状健态狼的托能估力。2崖0饱2漆3锁/声7斗/鄙3枕04要把浆晶屡体满管境和洗其绞他姜器熟件水合止并社起榜来涝形谊成齐电灯路必捏需急要器习件层隔疯离技节术和低除电碧阻程率白的霉器木件饼互凡连技零术，它掉们颜是I贱C集恒成脆技套术闭的两馋个敬最岔基下本宜功蜡能。2槐0宋2狸3栏/危7沙/浴3州05衡慕量雕隔例离踢工寇艺龄的捕指覆标有丸密盐度蹲、月工惩艺螺复两杂岔度乌、超成图品赛率豪、确平剧坦行化泥程侨度馆和着寄委生卵效黄应余。武这阻些倾指森标搂间膊存硬在米着跪折塑衷塞，泡没征有静一馒种矮隔枝离斜工洒艺低对乞所休有孕电遥路僻都篮适黑合誓。I肝C集留成桶中攀的穴器腥件乘隔方离第技章术P犁N结吧隔洗离氧竿化摸物扇隔陆离局稿部欲氧察化(终L传O柔C慨O稼S洗)隔虾离浅额槽惨沟茂道举隔僚离百（S离T轧I）硅宿片挤绝晌缘优体竟隔要离征（S掉O洁I史)双沉极I烂C中贯的欢器额件内隔袄离双胸极学集邀成仓电而路仔的基葛本吴制沃造界工志艺可营大涝致娇分都为查两伟类溉：2念0把2巴3电/沿7遇/吸3包06P贡N结尺隔堵离宇的捞双判极仅晶舰体粘管2在0员2盟3断/着7息/狡3得07标赚准驼埋环层猴集客电询极(赴S象B鼠C没:祝S秧t某a暑n姐d麦a率r框d题B越u呜r抗i谢e彩d就C喇o日l达l闹e烂c宪t向o荷r御)双途极繁晶霜体宜管刚、集马电兴极乔扩让散桶隔灾离(耀C惠D坚I斤:厌C喇o芽l次l淘e测c雕t队o呼r姨D妻i丘f鹿f沟u光s驰e离d掠I粒s仰o汁l捐a迷t摔i醋o报n风)双托极纤晶地体夜管期、三五重鹿扩砍散双苗极扛晶倘体虚管(天3烦D疮:旦T热r打i炉p祥l什e号D沟i看f予f摆u累s场e陵d自T撒r敬a敢n本s恋i涨s丸t鸡o悬r茎)，厉其车中最埋常陈用爽的湖是栽标泄准惹埋柴层拌双景极熄晶汪体爽管权工拦艺，踩而结恒隔肝离直是轧其版重滔要协组竭成础部野分。传竹统贝的禁平描面超双届极跃集叶成铜电膊路栋工恶艺架主孔要踩采堪用反放偏悄的P春N结足隔将离，镇主捉要倘有除三览种宿晶苹体鞭管耳结狮构狐：双删极蔬晶沟体冠管鹿包秧括N艰P六N管海和P善N扛P管谷，葱而集容成蹈双绿极庙晶焰体番管梢是酒以N踢P确N管阅为偶主。S洞B截C结务构v昨s化.滚C些D规I结针构v灯s季.乌3星D结糕构2材0薪2乡丰3套/倚7薪/顾3砍082促0世柿纪7溜0年吗代馒中羡期臂前台，p璃n结源隔拢离S闹B青C结红构堵一会直颠是抓双康极渡数割字异电耗路背和分模虽拟疤电抛路自的瓦主弯流艘工沸艺。跑这愿是赏因钳为宅与C晕D禾I结尺构欧和3畏D结趣构衔相判比住，踩在歌工鬼艺深上姻有勒更葵多幕的画调肿整顿自性由对度私，陡因裤而税可毯获穷得湖满控足倒多株种窗要宅求晶的位良翠好忌器殊件挤性尺能它。S舒B险C结艳构纲晶舱体浮管薯的时击幅穿汗电遇压宁比C惨D逼I结闯构狼的摔高,是构因冬为趋其旨集症电臂区圾是n型盐外卫延聚层枣，凭比C农D狮I结述构挤的梨集改电令区岛电阳阻做率脏高辉；蚊而S门B旷C结狠构瘦晶砌体联管遣的粮集碑电著极铲串普联台电脱阻沟比3醒D结浑构枪的团低夸，泳是豪因焰为牵其彩集弊电械极摧下衰并握联差有验高劲浓歌度放的担埋梯层梢，届而3息D结里构绒没见有萌。2牌0康2晴3上/号7来/雷3蚂09P-SiTepiCBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BLTepiTBL-uptepi-oxxmcxjc四混层绩三危结哭结占构鼠的摇双孕极争晶恩体今管双芳极I跪C中宗的盒元膏件沙结夫构(源S志B殃C须)2笛0储2拘3蓝/箩7诸/纠3统0双惭极集叉成方电蛇路无典骆型陆工融艺怠的齿集寨成/疾11拦0

较低的掺杂浓度，可减小集电区―衬底结的结电容

,并提高结的击穿电压。B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层轻掺杂P型硅衬底：一般衬底材料的电阻率选为10ΩCm左右，掺杂浓度一般在的数量级。当前工艺选<100>方向，主要考虑(100)面上的缺陷少界面态密度低。2陷0达2洗3铲/罩7氧/吊3赵0衬场底材持料约选内择白的申考赚虑1肉1衬咸底模材画料饰的明选晋择：衬永底粱材娘料找的类叫型、电赖阻弹率和晶理向。衬千底渐材摔料境电则阻货率够的抓选弟择：一亮方颗面糊希秋望减暂小皇隔搁离剂结骆电好容C醋s好1，戴这衡要巧求佩衬妈底骄的攻电安阻猴率逼要吨高旗；漂另逆一耍方定面陷，喜要秘求阻扶止掏外笔延弓层N非-近e克p破i向升衬剃底麦推傍进，练而齿掺拉杂稿浓饲度示过灵低成会且在臭后盯续呢工犹艺尤中但使袍埋搭层扮下心推读过呢多羽。2鸦0涂2煌3趴/貌7上/克3狐0双积极汗集呈成火电芹路礼典弓型只工沫艺咽的系集呜成/柔2外筒延最层:在滴带疲有好埋线层倘的喘硅及片耻上遥外屡延塑生殿长矩一劲层轻碰掺赞杂绣的N型拿硅，雨将蝇其香作泳为爽晶坛体半管售的精集昼电着区健，整染个搞晶婶体泳管幕便杰是梯制去作纷在河该右外死延州层腹之佛上芦的。址生省长鹿外卫延饮层旷时更要括考允虑廊的挨主如要断参帖数泄是森外端延含层铲的万电碍阻同率容和残外豆延语层依的量厚刑度辞。1付2埋续层：第载一让次蛙光锡刻；巨在P型桶衬朽底铁上立注稍入A棒s进嘉行N型项扩晚散遗，制之妨后锅在旁晶析圆渗表承面扩淀酿积愈一膀层N型债外次延棒层零，宣则拜把N型表扩余散扑区异域司“皆埋遣”衔在么外蚕延别层拨下着，咽将轮其杠称碰为彩双稍极瓜晶水体增管冰的锹埋岛层彼。B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层集贞电弊极猫引笔线醉从内表圾面迈引录出刺，蔬如债没普有妹埋闻层转，挺从锻集现电衬极恨到尊发抽射并极炼的乒电挎流脚必宾须怎从嫂高躁阻侮的姓外诸延孤层烧流谎过扯，培这泼相俭当陶于透在足体啄内漆引禽入唐了建一煤个找大蚁的撤串眉联纳电啊阻退，禾导景致毙饱庙和虹压膊降适增醉大扛。2知0进2愿3拜/炊7道/辽3啄01水3S替B箱C结闷构李中广埋纸层厦的扰作陷用埋挣层贺作瓜用：1脾)相泡当驳于沉在欲外谋延样层听下恒并添联事一仰个匪阻密值梯小朱的就电挂阻和，彼大铃大降传低秀了响晶弱体刻管乐集动电蜜区舟串绑联瘦电择阻；2顿)相锅当盆于芬加情宽刷了稠寄弹生鞭管安的舰基呼区陡宽甚度控，伯可沙以减近小辨寄肢生p枪n文p晶萌体吃管渔的够影征响。B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层2李0睛2艇3星/披7从/斯3戴0双液极皆集狡成军电纵路帮典块型惨工耻艺服的集集拉成/31贪4B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层隔扫离纺区：告在软外转延权层究上开隔联离

隔暴离向光心刻、班刻词蚀

p兰+隔弯离晚扩旨散

形任成p波+区(辱“隔毫离辣墙”即)。目挡的是六利辈用谊反把向p渡n结抛的园大致电厦阻播特岗性初实没现稍集彻成章电絮路奔中珠各攀元贞器赵件拌间已电廊隔趟离口的及方芝法泪。N+N+N--epiPN--epiPP-Sub(GND)P-Sub(GND)P-Sub(GND)2址0求2削3采/护7若/陵3驾0P鹅N结息隔忧离戴的挽实彩现―P话+隔库离扩抛散1阿5B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层形耽成阴穿紫透取外马延帮层伐的P+隔衬离拥墙,将齿外迹延数层粒分强割钳成抱若所干岛彼妥此卡独疼立桶的N型反隔碌离“岛”。岛品之旨间什隔妈着“隔敏离巷墙”霉,墙坑两冶侧篇形粮成理两浓个漆背洗靠盟背挣的p后n结捏。电问路狡中淋相纺互呼需终要祖隔正离贼的宝晶哨体限管第和异电锅阻答等锻元截件葛分翻别奖做专在旺不参同坦的冈隔灵离闭岛姿上树，以俭实踢现糖各武元屈件紫间嫩的粱电支隔高离宜。2赢0掀2倡3警/怒7绳/纪3与0P撕N结孙隔四离1弊6B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层N+N+N--epiPN--epiPP-Sub(GND)P-Sub(GND)P-Sub(GND)把P型仓隔缺离两墙盾接棋电虑路脏中区最吊低爪电谱位(接帝地)，N型愤隔庆离夺岛参接裂高午电翠压，受使贩两究个滴结仓都友反棒偏课，宪从票而膀使械每榨个胀元并器甜件询间刑相据互推绝宁缘削的赠隔乘离猜效竹果钻最京佳两，痰这鸭种沫设斜计帝称万为蹄“结消隔参离”饶。P导N结津隔镇离v怎s谣.深除槽菊隔弓离2心0蛛2驴3参/援7掠/游3话01凉7P苦N结陆隔伶离：诉技斤术搜简掠单幼并族实算现惠了孙平讯面数隔百离歼，雕故阻成知品蚁率飞高截；缺限点是唯面引积恰大(密致度后不宜高)，顶寄符生晚电灭容突大介，局不贫适淹合美于始高艘速萝、凉高非集笛成甚度轿的I止C；管仍群用寒于恒一牛些揪低菌成陶本辰、贷低职密坡度晴的幅场装合睁。先络进欲的旗双涝极痕集五成逝工折艺增采弹用深饺槽裤隔忠离(顶D桶T俭I打)技劳术阿：床在够器狐件滥之奇间像刻羽蚀敞出护深闭度抢大巡寿于3拿u棋m的扣沟粱槽库，键用鼓氧地化仿硅曾或岂多晕晶兰硅魄回彻填包并第用C捷M烈P平见坦忙化岭。特球点：印大阔大岸减组少浙了粥器仙件见面等积双和碍结四的锐寄疑生痛电旗容丹，遣显严著旋提乌高迎双搭极I滴C的经集刻成霜度随和萄速怪度瞧。遇但演工蚀艺砍复仓杂冤，垫成奔本崭较早高图。2弊0烘2匙3仰/帽7麻/聋3桌0双其极必集条成形电闯路忍典使型肺工趋艺弓的颈集茎成/海41圆8B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层集蚊电袄区鸭深现接劝触(附d台e蒜e雾p兴c够o羽l获l压e吗c给t嫂o侨r准c缠o气n锤t渠a写c踩t梯o咱r画)：控在词隔确离经扩番散期后绳常侨常候还婆要地增岔加蛮集宅电牌极史深煌接朽触与工贞艺(或p棕l邪u极g雪/程s峰i合n孟k但e贷r洽)，境即钢使尺集烛电它极慈欧努姆钞接驳触液为重造掺存杂泛的n型组接刊触，且哭穿朴透钳外钞延重层堪和乡丰埋征层而相赏连。作衬用：岩进旗一栽步垫降火低魄了统晶惰体页管否集拘电批极增串沫联声电拾阻叨和段数具字扬电屑路舅的李输展出罢低糕电赤平往。2江0私2烛3注/何7岭/辜3缠0S搭B伪C结秀构慨集筝电债极哀深慨接袖触唉的斩实超现1选9B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层要圆形破成乳深骆接碰触冬的滋高行浓照度后集追电件区慈，潮一庆般用塞磷借进跨行剥掺聚杂，附这绍是曾因多为磷扬的萍扩宰散桐系沉数差较角大，亦高嚷浓荐度仁的千深炕掺饰杂脆使络集伯电瞒极馒欧洗姆信接冠触牙穿狠透披外柿延虎层郊和欲埋须层秒相有连舌，史所蒜以灯又改称抵这垃项听工样艺钥为债“磷犁穿浆透”关。2喘0墓2岭3茧/草7肆/芹3掏0双香极幸集荐成挽电颈路镜典赔型病工民艺碰的话集乎成/哭52四0B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层基输区：第显三迫次歪光园刻，秆注纱硼扑、袋退炼火卷形盟成善基赵区猪。基半区剧的秤形床成傅是输双虏极乱工势艺切中粉非日常维重餐要耀的应一检步衫，丹其绘宽戴度凡和炒杂号质政分齿布削直劣接集影咸响双着背器强件妇的驼电旷流侮增吧益杨、据截孤止店频浆率瘦等晋特套性贼，另因皂此注狡硼嚷的克能敬量肆和稠剂距量笛需幅要互加赢以衔特子别范控底制，仅即勇要坦很卷好漏地那控舰制朵基精区承扩爪散删的结裹深误和井方名块篇电果阻。2刻0幸2俗3脊/搞7帖/踢3射0S驳B桃C双帆极I滚C基具区常的刑设幕计族考遣虑2其1一封般编为狸了岛提锈高因电牵流夕放病大侨倍库数蜜，基徐区顾宽榆度历要百小，凤且掺确杂纵浓聪度徐要佣比属发钱射颤区沙的魔低，老但基座区曾的黑掺娇杂且浓胞度编又电不廊能彼太踪蝶低：一称是资在练较闯高赠的鹊电慌压负下螺，质集除电须结许空规间幅电辞荷目区占和述发杆射病结咸空锻间笑电蜻荷后区送相气连会蜓造皇成冻穿香通革现拌象；吃另疫外犁还剩会加家大恩基硬区挣电算阻组及容减阻少天晶叮体陶管悼的漠交宫流裕输羞出鹿阻临抗；馋如共果挎基仍区书的滥表妄面锅浓扣度龙低剪于5雅e杆1踏0臭c酱m，铅还匪会影设响烘金拿属循引帐线淋和冒基疾区且的哥欧昏姆恭接伪触，贝故蚂基箱区组掺男杂诉浓蕉度食的跌确馋定衬要贫综急合坏考连虑挖上幼述美因壶素沿。2且0责2窝3壁/施7桶/可3槐02男2为茧提夹高海放胖大馆倍倚数维和求减短小杯基遭区锐渡翁越锅时毙间抵（交影刮响科晶掩体朝管硬特才征穗频段率瞧的谢重言要蚊因屿素迫）稍，葬要古求基绩区块宽团度涛愈幼小牌愈贴好，粱但呀小墨到薄一上定界限箩度末时雕，祥则要幅求伸提辅高乖基验区季的惑浓敞度韵防固止夸基蜓区吼穿贞通。B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层2改0层2挨3猪/哭7芒/铁3狭0双败极激集歇成立电尖路漆典暴型箭工予艺形的敞集捆成/屠62锡3发淘射突区：第卡四弊次陈光贯刻，巷刻候蚀油出恰发佛射认区踪蝶，注习砷并颗退狂火但形傻成宁发盆射寨区湖。慌要例考度虑他两听个南方渴面苏：一承是醒为按得关到赤较石大棉的β和屿较剑小汽的泉发苗射钥极姥串出联懂电佩阻笼，发指射席区寻浓踩度缸控启制应贝该伞选猪高肺。蚀二拿是发尼射星结散结衫深严的探控片制直铅接误影膊响凡晶肿体爱管拣的屋基踢区伪宽裕度欢，评因谢此肯要懂求郊发袜射补结销的浅档结纺工童艺以责保伶证企基米区慰宽大度容的丙可扫控誉性灶和竞重研复刺性一门般p外n结右隔逗离嫁的灾模当拟防电案路术的吼基晃区芽宽缓度瓣在0句.况5乒u舰m的卡数集量侧级美，花发押射就结挤结器深兼要犁控梅制丸在2涉.隐5兄u稠m左赴右魄；顶数挠字疏电攀路则的方基磁区妻宽古度凳在0启.老3梳u及m的馅数怪量子级漏，任发院射特结蹦结悔深盼控良制承在0皂.彼7承u捕m左浆右烟。2吉0债2孤3内/穴7讲/旅3口0双翻极捡集毅成非电底路孕典规型疾工尊艺伶的锄集虫成/交72错4B轻掺杂P-Sub光刻胶N–epiP+P+P+N–epiPPN+N+N+N+CECEBBN+埋层N+埋层SiO2钝化层金奥属轨接批触死和匹互脸连：第悠五烈次歪光池刻，选刻夺蚀仅出宝接染触茂孔慨，明用桌以园实片现差电似极迅的桌引璃出也；第伸六绑次婶光扩刻，粮形未成带金龙属奖互牧连埋。钝翠化诊层肠开利孔：第锤七盲次呢光峡刻，荡刻切蚀场出逃钝联化男窗召口饰。工贵艺巡寿流状程衬而底挠准丈备政（P型分）

龙光脊刻n摄+埋症层叼区

昌氧诊化

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从清途洁皱表芬面P-Sub2资0瞎2坝3狡/捎7醉/暗3动02拦5工钢艺姿流缴程距（蛮续1）2闷0堵2俗3挨/台7却/驴3泥02辩6

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杜氧胸化工咏艺纱流敌程掌（痕续3）2慈0祥2纠3跨/批7煤/复3拐02榴8

筐光崖刻贸磷珠扩底散圈区

谜磷猜扩酸散

沙氧舞化P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP工炮艺严流务程桑（短续4）2诉0撒2牢3事/携7刑/炮3狸02勇9

赵光蛇刻糕引贝线溜孔

雁清叫洁肤表须面P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP工权艺眉流贴程括（则续5）2略0帐2击3晕/学7难/净3泻03孕0

哈蒸椒镀予金置属

网反牧刻产金寨属P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP工息艺改流情程盖（掠续6）2壳0锣2浅3遍/真7珠/完3揉03杀1

崭钝莫化

夺光劈燕刻护钝姨化项窗计口P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP

慈后定工提序埋产层宴区

隔盼离交墙

硼盼扩吵区

磷辅扩气区

引勿线纳孔

金薯属像连脚线

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也就是说，由于器件特征尺寸的缩小，限制隔离距离的最终因素不再是表面反型或简单的穿通现象，而是一种称为漏感应势垒降低的穿通效应(即最小隔离距离的值是由一个

结边缘到另一个结边缘的距离)。是刻庭蚀错掉右部肢分渣衬健底抢形型成远沟畅槽(槽典刻埋蚀)，再清在常其蚕中虹回脑填腰上拐介殖电脆质(回蛛填)作照为蠢相家邻萄器丸件精之档间说的适绝良缘奸体那的塔一搅种感器佣件索隔跳离则方汽法。免又犯分遍为旦：报浅凯槽摔隔骡离册和扇深唯槽及隔男离药。2放0糊2港3采/秤7律/吴3良05霞3在吩这苗种闲结拣构瓶中辉，犹元攀器航件厚之择间蓄用讽刻哭蚀只的海浅容沟脖槽巴隔旅开园，晃再喂在般浅第沟化槽壶中销填雕入蔽介烈电丽质脱。罚在软侧轮壁哥氧败化压和脏填炭入猎介钻电刑质害后锹，凡用C捞M紫P方今法猎使润晶裙圆萌表锈面逝平惯坦婶化踢。L述O巡寿C酱O杜S主伯要弹问赵题香的连解米决湾措陈施/３浅获槽圾沟肾道锣隔币离(培S换T莲I罚)技爱术2职0捧2无3腰/滩7耍/而3镰05期4浅宰槽释沟馅道隔剧离(须S绵T邪I)工恩艺*H羡D希P胜C情V歼D棕O广x劝i伪d耽e*C劳M骄P族O牧x博i僵d珍e桂,锹S筝t悄o规p敢o弦n携N颤i涂t蔽r明i宽d脾eOxideOxideNitrideNitride*D冲e吓p塌o值s单i打t馅N得i尽t淹r岂i娇d期e齐,队O饭x龙i桐d弃e沫;E浸t袄c嗓hN挥i余t辆r保i义d升e,O畅x肝i检d味ea我n元dS讯i宾l扇i泽c蜡o笋n;仓S符t妻r代i帽p艇P法h姑o狼t船o咏r谢e催s罚i责s猪tPadOxidePadOxideTrench2帅0附2愧3低/鞠7良/腾3雄05馒5S六T世I孕v塘s孙.参L娱O匠C雨O校SL第O谨C摧O圆S–偿S完i视m案p集l访e汉r繁,球c迎h依e袜a谣p存e浑r健,再a株n控d裙p蔽r枣o多d哨u井c滥t权i裕o案n宁p衰r纳o脖v辈e奇n–深u阿s宫e正d电i英n探I滋C酒f渠a占b造r编i钢c德a钢t街i副o无n凉u辅n窗t砌i攀l尝f土e迹a涝t平u太r埋e蔽<符0翻.垒3旧5捡m惧mS横T馋I–辰N友o乓b贱i裁r码d涌’氏s悄b炕e绞a材k脊,端S染m句o题o字t业h滨e康r扶s矛u获r舟f献a扶c迈e斑,萝b碗u度t乏M状o涉r锯e摘p递r宾o弊c健e圾s醒s巨s茫t堆e现p腰s–S辈t猴a挥n溉d凯a筋r哑d弟i喉s博o善l月a丈t悦i球o窝n器t联e垂c衣h搅n杜o原l得o壁g顿yu盒s塌e趁di猾n派I蕉C响f鱼a夜b屋r抗i历c碍a吃t洞i瓶o续n遍u谅n