ReRAM新型存储器中小产线项目环境影响评价报告书

③氮氧化物（G6背面清洗废气）在本项目中，硝酸溶液只用于金属刻蚀后背面清洗工序，在清洗过程中会产生少量的硝酸雾。根据企业提供资料，在金属刻蚀后背面清洗工序中使用的70%HNO3年用量为3.7m3（5.33t/a），类比驰拓项目，挥发的氮氧化物按原料用量的10%计，则产生氮氧化物约为0.373t/a。B、处理措施干法刻蚀废气中的氯气、溴化氢、有机气体以及上电极掩膜沉积、金属通孔连接层沉积中的剩余气体经尾气处理器燃烧、水洗处理后将基本去除干净，燃烧产生少量的二氧化硅，排放速率和排放浓度可达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)颗粒物二级排放标准，因二氧化硅（颗粒物）产生量极少，本次评价不做定量分析；另有氮气等无毒气体，以上废气最后经碱液喷淋塔喷淋处理后，经25m高排气筒（P1）排放。湿法刻蚀、上电极金属沉积前清洗、金属刻蚀后背面清洗、金属层抛光过程产生的硫酸雾、氟化物及氮氧化物一并排入碱液喷淋塔，经处理后废气将从25m高排气筒（P1）排放。企业设备全部密闭，排放的酸性废气可全部收集，根据驰拓提供的资料，碱液喷淋塔对硫酸雾和氟化物的去除效率以80%计，对氮氧化物的去除效率以60%计，工作时间取24h/d，一年工作300天，根据企业提供资料，酸性废气排放风量为9819m3/h，则各污染物产生及排放情况见表4-1。表4-1酸性废气产生及排放情况废气源排放形式污染因子单位产生量排放量排放去向金属刻蚀后清洗、上电极金属沉积前清洗、金属刻蚀后背面清洗、金属层抛光有组织氟化物m3/h98199819酸性废气经喷淋吸收处理后通过25m高排气筒（P1）排放t/a0.0610.012kg/h0.0080.002mg/m30.8630.17金属刻蚀后背面清洗有组织氮氧化物m3/h98199819t/a0.3730.149kg/h0.0520.021mg/m35.2762.111金属刻蚀后清洗有组织硫酸雾m3/h98199819t/a0.0880.018kg/h0.0120.0025mg/m31.2450.255（3）有机废气（2#排气筒，P2）本项目的有机废气主要来自机台的清洗维护以及上电极金属沉积前清洗、金属刻蚀后清洗、金属层抛光工序异丙醇对清洗后硅片的干燥。①机台维护：企业机台清洗维护采用含有异丙醇的无尘布进行清洗，机台外部采用含有6%的异丙醇无尘布进行擦洗，机台内部采用无尘布蘸取100%异丙醇进行擦洗，100%异丙醇用量约0.024t/a。每次擦洗时间约10s，擦洗机台外部使用的无尘布为含6%的异丙醇，含异丙醇浓度较低，且擦拭时间极短，本次环评不进行定量分析，擦拭机台内部挥发的异丙醇按原料用量的50%计，则异丙醇挥发量约0.012t/a，按擦洗后立即放置于密闭的回收袋中，回收袋由企业收集后送有资质单位处理。②抛光、清洗干燥：在上电极金属沉积前清洗、金属刻蚀后清洗、金属层抛光之后，需要用异丙醇对硅片进行干燥，干燥过程在全密闭设备内进行，干燥过程使用的异丙醇挥发气体能被全部收集，挥发的有机废气量按30%计，根据企业提供资料，干燥使用的异丙醇年用量为1.2m3/a（0.948t/a），则异丙醇挥发量约为0.284t/a。机台维护过程产生的有机废气通过洁净车间抽风系统排至活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放，抛光、清洗异丙醇干燥过程挥发的有机废气由机台密闭集气罩全部收集后采用活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放，活性炭对有机废气去除效率按60%计，工作时间取24h/d，一年工作300天，根据企业提供资料，有机废气排放风量为760m3/h，则项目挥发性有机废气产生及排放情况见表4-2。表4-2有机废气产生及排放情况废气源排放形式污染因子单位产生排放排放去向机台维护有组织异丙醇m3/h760760通过洁净厂房抽风系统排至活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放t/a0.0120.0048kg/h0.00170.00067mg/m32.1930.877抛光、清洗干燥有组织异丙醇t/a0.2840.114由机台收集后排入活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放kg/h0.0390.016mg/m351.920.833总计异丙醇t/a0.2960.119通过活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放kg/h0.0410.017mg/m354.09321.71本项目的废气处理设施依托驰拓的碱液喷淋塔、有机废气吸收塔以及企业自身的尾气处理装置，生产过程中产生的硫酸雾、氮氧化物、氟化物排放浓度和排放速率均可达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级排放标准规定的排放限值。异丙醇达到《上海大气污染物综合排放标准》（DB31-933-2015）标准。2、源强及排放参数汇总项目污染源强汇总下表。表4-3废气污染物产排情况一览表污染因子产生情况排放情况量（t/a）速率（kg/h）浓度（mg/m3）量（t/a）速率（kg/h）浓度（mg/m3）氟化物有组织0.0610.0080.8630.0120.0020.17硫酸雾0.0880.0121.2450.0180.00250.255氮氧化物0.3730.0525.2760.1490.0212.111异丙醇0.2960.04154.0930.1190.01721.713、排放口基本情况项目废气有组织排放情况详见表4-4。表4-4点源参数表排气筒名称排气筒底部中心坐标/m排气筒底部海拔高度/m排气筒高度/m排气筒出口内径/m烟气流速/(m/s)温度/℃年排放小时数排放工况污染物排放速率kg/hXYP1770488335277136250.85.43257200正常硫酸雾0.0025氟化物0.002氮氧化物0.021P2770496335277336250.41.68257200正常异丙醇0.0174、监测要求表4-5污染源监测计划监测内容监测频率监测地点监测项目执行排放标准废气1次/年1#排气筒，P1硫酸雾、氟化物、氮氧化物《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)2#排气筒，P2异丙醇《上海大气污染物综合排放标准》（DB31-933-2015）5、非正常工况源强情况项目非正常情况下废气排放主要为尾气处理器、通风设施、碱液喷淋塔以及活性炭吸附装置出现故障，导致各项工序产生的废气未经处理直接排向大气从而影响大气环境。由于本项目除了尾气处理装置，其他的所有废气处理设施都是依托驰拓，因此本环评要求建设单位联合驰拓设备人员加强对通风设施、碱液喷淋塔以及活性炭吸附装置的管理及日常检修维护，同时也要对企业自有的尾气处理装置加强管理及日常检修维护，严防非正常工况的发生，在非正常工况发生时应迅速组织力量进行排除，使非正常工况对周围环境及保护目标的影响减少到最低程度。6、废气排放影响分析根据昕原半导体（杭州）有限公司和浙江驰拓科技有限公司的框架协议，本项目中产生的酸性废气、有机废气经过驰拓的碱液喷淋塔和有机废气吸收塔处理后分别达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级排放标准、《上海大气污染物综合排放标准》（DB31-933-2015）后从25m高排气筒排放，具体的责任说明见附件10。本项目废气经尾气处理器、通风设施、碱液喷淋塔以及活性炭吸附装置处理后达标排放，均可保证废气达标排放。总体来看，本项目废气排放对周围环境影响较小。4.2.2废水1、废水污染源强核算本项目主要产生生产废水和生活污水，生产废水包括清洗废水（W1金属刻蚀后清洗含氟废水、W2一般酸碱废水、W3含氟清洗废水、W4背面清洗废水）、含铜沉积废水（W9）、研磨抛光废水（W5含氟抛光废水、W6含研磨液抛光废水），尾气处理废水（W7），碱液喷淋废水W8。（1）清洗废水①W1金属刻蚀后清洗含氟废水、W2一般酸碱废水本项目在金属刻蚀后清洗工序中，采用硫酸、氢氟酸、蚀刻后残留物去除液和双氧水等化学原料清洗之后，再采用纯水进行喷洗，分别会产生W1金属刻蚀后清洗含氟废水和W2一般酸碱废水，其产生量如下：W1：根据企业提供资料，在此工序中先使用0.5175t的HF与纯水0.6325t配成1m345%HF（1.15t/a）清洗，再用纯水进行清洗，使用的纯水量约为500m3/a，由于清洗过程采用喷淋，氢氟酸与产品接触时间短，没有充分反应时间，氢氟酸基本不损耗，进入废水，则此过程产生含氟废水约为501.15m3/a，1.67m3/d；W2：纯水清洗完之后再将96%H2SO4与纯水按1:100配比清洗，硫酸、纯水年用量分别为1m3/a（1.84t/a）、100m3/a，同时混合双氧水进行清洗，双氧水的年用量为2m3/a（2.26t/a），再用纯水冲洗，冲洗的纯水量约为4800m3/a，由于清洗过程采用喷淋，硫酸与产品接触时间短，没有充分反应时间，硫酸基本不损耗，全部进入废水，则此过程产生一般酸碱废水量约为4904.1m3/a，16.35m3/d；接着用蚀刻后残留物去除液与纯水按1:10配比清洗，蚀刻后残留物去除液年用量为4m3/a，使用的纯水量为40m3/a，由于清洗过程采用喷淋，刻蚀液与产品接触时间短，没有充分反应时间，刻蚀液基本不损耗，全部进入废液，由专用储罐储存后委托有资质单位处置。则金属刻蚀后清洗含氟废水W1的产生量约501.15m3/a，1.67m3/d，一般酸碱废水W2的产生量约4904.1m3/a，16.35m3/d。②W3含氟清洗废水本项目在上电极金属沉积前清洗工序中，采用氢氟酸清洗之后，会产生含氟废水，企业将45%HF稀释后再进行清洗，清洗前进一步稀释为浓度约0.24%的HF稀溶液，根据企业提供资料，单位wafer（晶圆）HF稀溶液清洗消耗量为30L/个，年清洗7200个wafer（晶圆），则HF稀溶液的消耗量为216t/a，则产生的含氟清洗废水量为0.72m3/d（216m3/a）。在上电极金属沉积前清洗工序结束之后还需纯水进行清洗，根据企业提供资料，纯水清洗使用量约为168m3/a（0.56m3/d），则本工序总计产生含氟清洗废水1.28m3/d，384m3/a。③W4背面清洗废水本项目在金属刻蚀后背面清洗工序中，采用硝酸、氢氟酸清洗之后，会采用纯水进行清洗，根据企业提供资料，70%HNO3和45%HF按50:1配比进行清洗，在此工序中，70%HNO3年用量3.7m3（5.33t/a），将0.038tHF与纯水0.047t配成45%HF0.074m3（0.085t/a）进行清洗，将清洗产生的含氟含硝酸废液收集至驰拓提供的储罐外运处理，由于清洗过程采用喷淋，氢氟酸、硝酸与产品接触时间短，没有充分反应时间，硝酸、氢氟酸基本不损耗，全部进入废液，则产生的废酸液为5.42t/a；在使用硝酸和氢氟酸背面清洗之后使用纯水430m3/a，则产生背面清洗废水约1.43m3/d，430m3/a。（2）含铜沉积废水（W9）本项目在金属通孔连接层沉积工序中，会使用铜电解液进行铜沉积，通过电解产生铜，未反应的铜电解液变成废水排入含铜废水处理系统处理，根据企业提供资料，铜电解液的年使用量为7.2t/a，由于电解产生的铜含量极少，基本排入废水，则产生的含铜沉积废水量为7.2m3/a，0.024m3/d。（3）研磨抛光废水（W5含氟抛光废水、W6含研磨液抛光废水）W5含氟抛光废水：在金属研磨抛光前，会先用1%HF进行清洗，根据企业提供资料，1%HF（0.15tHF与纯水14.85t配成）年用量为15m3/a（15t/a），再用纯水清洗，清洗的纯水量约为400m3/a，则产生的含氟抛光废水量为415m3/a，1.38m3/d。产生的含氟抛光废水先利用氯化钙混合去除氟离子后进行混凝、搅拌、沉淀处理，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管。W6含研磨液抛光废水：企业采用金属抛光工艺，根据企业提供资料，研磨液总用量为23t/a，与水按1:1进行配比后研磨，研磨抛光过程需要纯水持续进行喷洗及润洗，使用的清洗纯水量约为3500m3/a，则产生的含研磨液抛光废水量为3546m3/a，11.82m3/d。产生的含研磨液抛光废水进入综合废水处理系统调节pH、混凝、搅拌、沉淀之后，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管。（4）W7本地尾气处理废水项目在上电极掩膜沉积、金属沟槽蚀刻、金属硬掩膜蚀刻设备后都连接了一台尾气处理装置，根据企业提供资料，一台尾气处理装置一天产生7m3废水，则3台本地尾气处理废水产生量为21m3/d，6300m3/a。（5）W8碱液喷淋废水项目设有1套碱喷淋系统，该系统产生喷淋废水，项目酸碱喷淋系统24h运行，污染因子主要为少量的氟化物、pH等，根据水量平衡计算，W8碱液喷淋废水量为2.2m3/d。（6）生活污水W10本项目实施后全厂职工定员50人，年工作日为300天，厂区内不设宿舍，员工平均用水量100L/人·d，在用水过程中会有20%的损耗，则生活污水的产生量为4m3/d(1200m3/a）。生活污水水质指标CODCr300mg/L、NH3-N30mg/L，产生CODCr0.360t/a、NH3-N0.036t/a。本项目生活污水产生及排放情况详见下表。表4-6生活污水污染物产生及处理情况污染物名称产生情况排放情况治理措施排放方式与去向浓度（mg/L）产生量（t/a）浓度（mg/L）环境量（t/a）生活污水废水量--1200-1200化粪池青山污水处理厂CODCr3000.360500.06NH3-N300.03650.0062、废水污染物产排情况汇总本项目中的含氟废水、含铜废水和综合废水分质分流排入驰拓的含氟废水处理系统、含铜废水处理系统和综合废水处理系统处理，项目生产废水中的金属刻蚀后清洗含氟废水、含氟清洗废水、背面清洗废水、含氟抛光废水、尾气处理废水、碱液喷淋废水利用氯化钙混合去除氟离子后进行混凝、搅拌、沉淀处理，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管排放；含铜沉积废水排入含铜废水处理系统处理后达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管排放；一般酸碱废水、含研磨液抛光废水排入综合废水处理系统调节pH、混凝、搅拌、沉淀之后，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管排放；生活污水经化粪池处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准纳管排放。本项目生产废水和生活污水经过处理分别达到纳管标准后汇总进入企业总排口排至青山污水处理厂集中处理至《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)一级A类标准后排放。各类废水处理及排放汇总情况见表4-7。表4-7主要废水处理及排放情况表单位：m3/d序号废水类别产生工序主要污染因子排放方式废水排放量处理措施及排放去向1W1金属刻蚀后清洗含氟废水金属刻蚀后清洗SS、氟化物连续1.67含氟废水处理系统→废水总排口→污水处理厂2W2一般酸碱废水金属刻蚀后清洗SS连续16.35综合废水处理系统→废水总排口→污水处理厂3W3含氟清洗废水上电极金属沉积前清洗SS、氟化物连续1.28含氟废水处理系统→废水总排口→污水处理厂4W4背面清洗废水金属刻蚀后背面清洗SS、氟化物连续1.43含氟废水处理系统→废水总排口→污水处理厂5W5含氟抛光废水金属层抛光SS、氟化物连续1.38含氟废水处理系统→废水总排口→污水处理厂6W6含研磨液抛光废水金属层抛光SS、COD连续11.82综合废水处理系统→废水总排口→污水处理厂7W7尾气处理废水尾气处理SS、氟化物连续21含氟废水处理系统→废水总排口→污水处理厂8W8碱液喷淋废水碱液喷淋塔处理SS、氟化物连续2.2含氟废水处理系统→废水总排口→污水处理厂9W9含铜沉积废水金属通孔连接层沉积SS、Cu连续0.024含铜废水处理系统→废水总排口→污水处理厂生产废水小计57.154/10W10生活污水职工生活COD、SS、氨氮连续4经过化粪池预处理排入污水处理厂参考驰拓资料以及根据氟物料平衡图，本项目水污染物产排情况见下表。表4-8项目水污染物产排情况汇总（t/a）废水种类污染因子产生情况纳管情况环境排放情况(t/a)产生浓度(mg/L)产生量(t/a)纳管浓度(mg/L)纳管量(t/a)排放浓度(mg/L)排放量(t/a)含氟废水（W1金属刻蚀后清洗含氟废水、W3含氟清洗废水、W4背面清洗废水、W5含氟抛光废水、W7尾气处理废水、W8碱液喷淋废水）水量（m3/a）/8690.15合计水量：18347.45m3/a；61.154m3/dCOD500mg/L、9.174t/a氨氮45mg/L、0.826t/a氟化物20mg/L、0.367t/a、SS400mg/L、7.339t/a总铜2mg/L、0.037t/a合计水量：18347.45m3/a；61.154m3/dCOD50mg/L、0.917t/a氨氮5mg/L、0.092t/a氟化物20mg/L、0.367t/a、SS10mg/L、0.183t/a总铜0.5mg/L、0.009t/a氟化物155.871.35SS6005.214含铜废水（W9含铜沉积废水）水量（m3/a）/7.2总铜400000.288SS6000.0043综合废水（W2一般酸碱废水、W6含研磨液抛光废水）水量（m3/a）/8450.1COD2502.113SS6005.07生活污水水量（m3/a）/1200CODCr3000.36NH3-N300.036本企业研发生产半导体器件，本项目年生产3600片300mm（12英寸）芯片，根据企业提供资料，芯片的掩膜层数<20层，根据《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表2单位产品基准排水量，每片芯片的排水量上限值为11m3，则日排水量上限值为132m3，根据水量平衡图计算，本项目生产废水日排水量为57.154m3，则本项目符合《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表2单位产品基准排水量标准。3、治理设施分析根据昕原半导体（杭州）有限公司和浙江驰拓科技有限公司的框架协议，本项目中产生的生产和生活污水依托驰拓的污水处理设施进行预处理，在达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后，经驰拓的污水排放口纳入市政污水管网，具体的责任说明见附件7。（1）含氟废水处理系统本项目产生的含氟废水（金属刻蚀后清洗含氟废水、含氟清洗废水、背面清洗废水、含氟抛光废水、尾气处理废水、碱液喷淋废水）排入驰拓的废水处理设施，含氟废水收集后在反应槽添加氯化钙，去除氟离子，同时添加液碱调节pH，再排入混凝槽，添加混凝剂混凝，再进行絮凝沉淀，上清液在达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管排放，污泥经过压泥机压缩脱水后委托有资质单位处理，含氟废水处理工艺流程如图4-1。图4-1含氟废水工艺流程图（2）含铜废水处理系统本项目产生的含铜废水（含铜沉积废水）排入含铜废水处理系统，含铜废水进入PH调节槽通过加入碱和酵素调节PH，再通过活性炭过滤器和滤芯过滤器过滤进入除铜树脂柱A、B、C，在进入树脂柱过程中还需添加硫酸，最后经过树脂产水槽后排入生产废水总排口，经过除铜树脂柱产生的再生液进入铜电解设备后回流到PH调节槽继续处理，废水达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管排放。含铜废水处理工艺流程如图4-2。图4-2含铜废水工艺流程图（3）综合废水处理系统本项目产生的综合废水（一般酸碱废水、含研磨液抛光废水）排入综合废水处理系统，综合废水收集后到反应槽通过添加液碱调节pH、再进行混凝、搅拌、沉淀处理，上清液达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管排放，产生的污泥经过压泥机压缩脱水后委托有资质单位处理，综合废水处理工艺流程如图4-3。图4-3综合废水工艺流程图（4）生活污水生活污水经过化粪池预处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准排放至青山污水处理厂。4、企业排放口依托驰拓，驰拓排放口基本情况见下表。表4-9废水间接排放口基本情况表排放口编号排放口地理坐标废水排放量/（万t/a）排放去向排放规律间歇排放时段受纳污水处理厂信息经度纬度名称污染物种类国家或地方污染物排放标准浓度限值/(mg/L)DW001119°48'45.7877"30°16'38.6371"1.835进入城市污水处理厂间断排放，排放期间流量稳定8：00~17:00青山污水处理厂CODCr50NH3-N5氟化物20总铜0.55、监测要求表4-10污染源监测计划监测内容监测频率监测地点监测项目执行排放标准废水1次/年企业总排口水量、CODCr、NH3-N、氟化物、总铜《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准【其中氨氮、总磷排放限值执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中相关标准】6、依托污水处理厂的可行性杭州青山湖科技城排水有限公司位于浙江省杭州市临安区青山湖街道科技大道2518号，系青山片区基础设施建设投入的第一项工程，始建于2002年6月，总设计处理能力4万m3/d，按“一次规划、分期实施”的原则进行建设，一期（2005年）2万m3/d、二期（2015年）2万m3/d，总占地4.6公顷。一期污水收集服务范围主要为浙江省临安经济开发区内废水以及青山湖街道生活污水，允许纳管废水水质为GB8978-1996《污水综合排放标准》新扩改三级标准，工艺采用国内比较先进的MSBR法，尾水排放执行GB18918-2002《城镇污水处理厂污染物排放标准》一级B标准，于2008年12月通过竣工环保验收，达标排放CODCr总量控制指标为438t/a。污水处理厂排放口距离南苕溪临安与余杭交界处汪家埠断面4.0km，属南苕溪青山水库坝下至汪家埠（9.0km，苕溪58）河段Ⅲ类水质农业用水区。污水处理厂二期于2013年6月经浙江省发展和改革委员会浙发改设计[2013]91号，作为浙江省重点建设项目计划总投资概算1.10亿元，新增二级污水处理能力2万m3/d、三级深度处理能力4万m3/d、中水回用1.3万m3/d，主要建设内容为新建2万m3/d初沉池、MSBR池各一座，新建4万m3/d活性砂滤池、消毒系统深度处理设施及12km中水回用管网等，2016年底已完成设备安装，目前处于工艺调试阶段，扩容提标后尾水排放执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准，中水回用于企业冷却补充用水、冲厕用水、绿化用水、景观用水及生态环境用水等。污水处理工艺流程见图4-4所示。进水进水粗、细格栅沉砂池初沉池好氧池SBR池1或2缺氧池絮凝池混合液回流污泥回流砂滤池清水池（消毒）出水废渣废渣废渣剩余污泥污泥浓缩脱水泥饼外运浓缩废水污泥NSBR反应池次氯酸钠图4-4杭州青山湖科技城排水有限公司工艺流程图为了解该污水处理厂现状运行状况，本环评收集了浙江省重点排污单位监督性监测信息公开平台上该污水处理厂2020年部分日期的尾水排放监测数据，详见表4-11。表4-11杭州青山湖科技城排水有限公司运行数据表（单位：mg/l）监测日期监测结果pH（无量纲）COD氨氮总氮总磷SSBOD5石油类流量（m3/h）2020-01-066.8021.2＜0.026.980.08140.081＜0.061.82020-04-076.9218.50.0518.180.0928＜0.50.151.92020-07-137.09＜150.0315.080.1480.6＜0.062.02020-10-127.0818.50.5257.560.0598＜0.5＜0.061.94标准限值6~9505(8)150.510101/达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标/注：括号外数为水温＞12℃时的控制指标，括号内数据为水温≤12℃时的控制指标。根据监测结果可知，杭州青山湖科技城排水有限公司尾水中各污染因子可以做到达标排放。（2）依托污水处理设施的环境可行性评价本项目产生的生产废水各污染物经过驰拓的废水处理设施预处理、生活污水经过化粪池处理，均满足进入青山污水处理厂进水水质要求，处理达标排放后可满足依托的环境可行性要求。4.2.3噪声1、噪声源强项目噪声主要来自真空泵、制冷机以及废气处理风机等设备的运营噪声。项目主要噪声源噪声级汇总至表4-12。表4-12主要噪声设备污染源强声源数量设备位置噪声级dB（A）备注室内或室外相对地面高度真空泵37台室内570~75距离噪声源1m处制冷机7台室内570~75废气处理风机3台室内375~802、降噪措施为进一步维护区域声环境质量，本环评提出以下噪声防治要求：（1）车间内合理布局；（2）做好设备及墙体、门窗的隔声措施；（3）加强设备的日常维修和更新，确保其处于正常工况，杜绝因生产设备不正常运行产生的高噪声现象。3、声环境影响分析（1）预测模式本评价采用整体声源评价法对噪声进行预测评价。整体声源法的基本思路是：将整个连续噪声区看作一个特大声源，称为整体声源。预先求得该整体声源的声功率级，然后计算该整体声源辐射的声能在向受声点传播过程中由各种因素引起的衰减，最后求得预测受声点的噪声级。具体公式为：式中：Lw——整体声源的声功率；Lpi——整体声源周围声级平均值；L——测量线总长；α——空气吸收系数；h——传声器高度；Sa——测量线所围城的面积；Sp——实际面积；D——测量线至厂区界的平均距离。距离衰减量：空气吸收衰减：屏障衰减量：附加衰减量：式中：h—屏障高；r1—整体声源中心至屏障距离；r2—屏障至受声点距离。（2）预测参数1）将整体声源看作一个隔声间，其隔声量视门、窗和墙等隔声效果而定，一般普通房间隔声量为10～25dB(A)，一般楼层隔声量取20dB(A)，地下室取30dB(A)，经专门吸、隔声处理的房间可取40dB(A)，项目采取减振、隔声等措施治理后，隔声效果可达30dB(A)以上，本项目隔声量取30dB(A)。2）整体声源的确定表4-13整体声源的基本参数编号噪声源面积(m2)平均声压级（dB）整体声源的声功率级（dB）1生产研发车间540751053）本项目声源中心与四周厂界的距离详见下表。表4-14声源中心与四周厂界的距离单位：m编号噪声源东南西北1生产研发车间8.715.58.715.5（3）预测结果经距离衰减、墙体隔声后的贡献值详见下表。表4-15建设项目厂界噪声贡献值单位：dB（A）序号预测点时段贡献值是否达标1东侧厂界昼夜48.6达标2南侧厂界昼夜43.5达标3西侧厂界昼夜48.6达标4北侧厂界昼夜43.5达标由以上预测结果可知，东、南、西、北界噪声按《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008)2类功能区标准评价。预测结果表明，项目投产后，企业各厂界噪声值均能达GB12348-2008中2类标准限值。总体而言，项目正常运营期对周围声环境无明显的不良影响。（4）监测要求表4-16污染源监测计划项目监测点位监测指标监测频次执行排放标准噪声厂界LAeq1次/季《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的2类标准4.2.4固体废物1、固废污染源强分析本项目实施后，产生的副产物主要包括湿法刻蚀中的湿法刻蚀废刻蚀液、废酸液、废包装材料、废异丙醇无尘布、废活性炭、废机油、生活垃圾、含铜污泥、废滤芯、废树脂、废活性炭（废水处理）。（1）湿法刻蚀废刻蚀液（S1）项目湿法刻蚀工序用到蚀刻后残留物去除液，根据企业提供资料，蚀刻后残留物去除液与纯水按1:10配比清洗，蚀刻后残留物去除液年用量为4m3/a，使用的纯水量为40m3/a，由于清洗过程采用喷淋，刻蚀液与产品接触时间短，没有充分反应时间，刻蚀液基本不损耗，全部进入废液，则产生的废刻蚀液为44t/a，排至驰拓提供的储罐中收集，后交由资质单位统一处理。（2）废酸液（S2）在金属刻蚀后背面清洗工序中，会使用70%硝酸和由HF配成的45%HF按配比进行清洗，70%HNO3和45%HF配比为50:1，在此工序中，70%HNO3年用量3.7m3（5.33t/a），将0.038tHF与纯水0.047t配成45%HF0.074m3（0.085t/a）进行清洗，将清洗产生的含氟含硝酸废液收集至驰拓提供的储罐外运处理，由于清洗过程采用喷淋，氢氟酸、硝酸与产品接触时间短，没有充分反应时间，硝酸、氢氟酸基本不损耗，全部进入废液，则产生的废酸液为5.42t/a。（3）废异丙醇无尘布（S3）企业废异丙醇主要来自擦拭机台，根据企业提供资料，机台擦拭过程使用异丙醇0.024t/a，由于在擦拭过程中会挥发50%，因此产生的废异丙醇为0.012t/a，使用的无尘布年用量约为0.5t/a，则产生的废异丙醇无尘布的量为0.512t/a。（4）废包装材料（S4）项目废包装材料一部分为一般废包装材料，产生量约为0.5t，一部分为化学品包装桶，包括抛光液、EKC、氢氟酸桶、硫酸、异丙醇包装瓶等，产生量约为0.5t，属于危险废物。（5）废活性炭（S5）本项目在机台维护过程以及上电极金属沉积前清洗、金属刻蚀后清洗、金属层抛光后使用异丙醇干燥硅片的过程中会产生异丙醇有机废气，机台维护产生的有机废气的去除通过洁净厂房抽风系统排至活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放，抛光、清洗异丙醇干燥过程挥发的有机废气由机台全部收集后采用活性炭吸附装置处理后25m高排气筒（P2）排放，为保证活性炭净化效率，要定期更换活性炭。根据企业使用异丙醇的量，计算出活性炭共吸收挥发性有机物0.177t/a，按照活性炭对挥发性有机物的吸附系数为0.15计，则废气处理需活性炭1.18t/a，产生的废活性炭量为1.357t/a。（6）废机油（S6）废机油主要来源于设备维护更换机油／润滑油产生，产生量约为0.3t/a。（7）生活垃圾（S7）本项目实施后全企业50人，年工作时间300天，生活垃圾按每人每天0.5kg计，则生活垃圾产生量为7.5t/a，生活垃圾经厂内垃圾筒（箱）收集后由当地环卫部门统一清运。（8）含铜污泥（S8）本项目会产生含铜、含氟废水以及综合废水，含铜废水需要通过含铜废水处理系统处理，含氟废水需要利用氯化钙去除废水中的F-，综合废水需要调节pH、混凝、搅拌、沉淀处理，达到纳管标准后再排放，在废水处理过程中会产生废水处理污泥，主要为Cu、氟化钙、COD，根据企业提供资料，各种生产废水经过处理后产生的污泥混合汇入污泥总排口再经过压泥机压缩处理，则产生的混合干污泥为含铜污泥。根据水量平衡图，本项目生产废水产生量为17146.2t/a，参照同类型项目，污泥产生量按废水处理量的0.5%计，污泥含水率以80%计算，则本项目干污泥产生量约为17.15t/a。（9）废滤芯（S9）、废树脂（S10）。本项目产生的含铜废水进入含铜废水处理系统处理的过程中，会产生废滤芯和废树脂（A+B+C），根据企业提供资料，滤芯一年更换一次，每次一支，产生的废滤芯量为0.005t/a，产生的废树脂量为0.05t/a。（10）废活性炭（废水处理）（S11）本项目在含铜废水处理系统中需要使用到活性炭过滤器，根据企业提供资料，活性炭半年更换一次，每次一支，产生的废活性炭量为0.01t/a。本项目副产物产生情况详见下表。表4-17本项目副产物产生情况统计表序号废物名称来源产生量t/a形态主要成分1湿法刻蚀废刻蚀液湿法刻蚀44液态蚀刻后残留物去除液2废酸液金属刻蚀后背面清洗5.42液态硝酸、氢氟酸3废异丙醇无尘布机台擦拭0.512固态异丙醇、无尘布4一般包装材料包装0.5固态产品原料、塑料化学品包装材料原材料包装0.5固态化学原料、塑料、玻璃等5废活性炭有机废气处理1.357固态废活性炭6废机油设备维护保养0.3液态矿物油7生活垃圾职工生活7.5固态塑料、玻璃8含铜污泥废水处理17.15固态污泥9废滤芯含铜废水处理0.005固态滤芯10废树脂含铜废水处理0.05固态废树脂（A+B+C）11废活性炭（废水处理）含铜废水处理0.01固态废活性炭（2）废物汇总根据《固体废物鉴别标准通则》（GB34330-2017）判断每种废弃物是否属于固体废物，具体统计及判定结果见下表。表4-18项目副产物属性判定表序号副产物名称产生工序形态主要成分是否属固废判定依据1湿法刻蚀废刻蚀液湿法刻蚀液态蚀刻后残留物去除液是4.2(b)2废酸液金属刻蚀后背面清洗液态硝酸、氢氟酸是4.1(h)3废异丙醇无尘布机台擦拭固态异丙醇是4.1(h)4一般包装材料包装固态产品原料、塑料是4.1(h)化学品包装材料原材料包装固态化学原料、塑料、玻璃等是4.1(h)5废活性炭有机废气处理固态废活性炭是4.3(l)6废机油设备维护保养液态矿物油是4.1(b)7生活垃圾职工生活固态/是4.4(b)8含铜污泥废水处理固态污泥是4.3(e)9废滤芯含铜废水处理固态滤芯是4.3(l)10废树脂含铜废水处理固态废树脂（A+B+C）是4.3(l)11废活性炭（废水处理）含铜废水处理固态废活性炭是4.3(l)（3）危险废物属性判定及处理处置情况根据《危险废物鉴别标准》(GB5085.1～5085.7-2007)、《危险废物鉴别标准通则》（GB5085.7-2019）和《国家危险固废名录（2021年版）》(2021.1.1实施)，对本项目产生的固废进行危险废物属性判定，判定结果如下表所示。表4-19危险废物属性判定表序号固体废物名称产生工序形态主要成分产生量属性废物类别及代码危险特性1湿法刻蚀废刻蚀液湿法刻蚀液态蚀刻后残留物去除液44危险固废HW49900-047-49T/C/I/R2废酸液金属刻蚀后背面清洗液态硝酸、氢氟酸5.42危险固废HW34900-300-34C，T3废异丙醇无尘布机台擦拭固态异丙醇0.512危险固废HW49900-041-49T/In4一般包装材料包装固态产品原料、塑料0.5一般固废//5化学品包装材料原材料包装固态化学原料、塑料、玻璃等0.5危险固废HW49900-041-49T/In6废活性炭有机废气处理固态废活性炭1.357危险固废HW49900-039-49T7废机油设备维护保养液态矿物油0.3危险固废HW08900-249-08T，I8生活垃圾职工生活固态塑料、玻璃7.5一般固废//9含铜污泥废水处理固态污泥17.15危险固废HW17336-064-17T/C10废滤芯含铜废水处理固态滤芯0.005危险固废HW49900-041-49T/In11废树脂含铜废水处理固态废树脂（A+B+C）0.05危险固废HW13900-015-13T12废活性炭（废水处理）含铜废水处理固态废活性炭0.01危险固废HW49900-041-49T/In（4）固体废物分析情况汇总项目固体废物分析情况汇总见下表。表4-20项目固体废物分析结果汇总表序号固体废物名称生产工序形态成分属性废物代码产生量(t/a)危险特性1湿法刻蚀废刻蚀液湿法刻蚀液态蚀刻后残留物去除液危险固废HW49900-047-4944T/C/I/R2废酸液金属刻蚀后背面清洗液态硝酸、氢氟酸危险固废HW34900-300-345.42C，T3废异丙醇无尘布机台擦拭固态异丙醇危险固废HW49900-041-490.512T/In4一般包装材料包装固态产品原料、塑料一般固废397-003-070.5/5化学品包装材料原材料包装固态化学原料、塑料、玻璃等危险固废HW49900-041-490.5T/In6废活性炭有机废气处理固态废活性炭危险固废HW49900-039-491.357T7废机油设备维护保养液态矿物油危险固废HW08900-249-080.3T，I8生活垃圾职工生活固态/一般固废397-003-997.5/9含铜污泥废水处理固态污泥危险固废HW17336-064-1717.15T/C10废滤芯含铜废水处理固态滤芯危险固废HW49900-041-490.005T/In11废树脂含铜废水处理固态废树脂（A+B+C）危险固废HW13900-015-130.05T12废活性炭（废水处理）含铜废水处理固态废活性炭危险固废HW49900-041-490.01T/In2、固废影响分析根据分析，项目固体废物利用处置方式详见下表。表4-21项目固体废物利用处置方式评价表序号固体废物名称生产工序属性废物代码产生量(t/a)处置方式是否符合环保要求1湿法刻蚀废刻蚀液湿法刻蚀危险固废HW49900-047-4944委托危废单位处置符合2废酸液金属刻蚀后背面清洗危险固废HW34900-300-345.42符合3废异丙醇无尘布机台擦拭危险固废HW49900-041-490.512符合4化学品包装材料原材料包装危险固废HW49900-041-490.5符合5废活性炭有机废气处理危险固废HW49900-039-491.357符合6废机油设备维护保养危险固废HW08900-249-080.3符合7含铜污泥废水处理危险固废HW17336-064-1717.15符合8废滤芯含铜废水处理危险固废HW49900-041-490.005符合9废活性炭（废水处理）含铜废水处理危险固废HW49900-041-490.01符合10废树脂含铜废水处理危险固废HW13900-015-130.05符合11一般包装材料包装一般固废397-003-070.5t/a外售物资单位综合利用符合12生活垃圾职工生活一般固废397-003-997.5t/a委托环卫统一清运符合项目危险废物收集、贮存、运输、处置环节污染防治措施见表4-22、表4-23。表4-22项目危险废物收集、贮存、运输、利用、处置环节污染防治措施一览表序号危废名称废物类别及代码污染防治措施收集贮存运输处置1湿法刻蚀废刻蚀液HW49900-047-49制定收集计划，做好台账和安全防护分类设置车间，分类贮存，并做好“四防”措施危废委托有资质的单位定期进行安全运输、处置2废酸液HW34900-300-343废异丙醇无尘布HW49900-041-494化学品包装材料HW49900-041-495废活性炭HW49900-039-496废机油HW08900-249-087含铜污泥HW17336-064-178废滤芯HW49900-041-499废树脂HW13900-015-1310废活性炭（废水处理）HW49900-041-49注：项目危废收集应满足《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》和《危险废物收集贮存运输技术规范》(HJ2025-2012)中相关要求。表4-23项目危险废物贮存基本情况表序号贮存场所（设施）名称危险废物名称危险废物类别危险废物代码位置占地面积贮存方式贮存能力贮存周期1危废间湿法刻蚀废刻蚀液HW49900-047-49驰拓厂区配套用房1北侧一楼600m2密闭罐装18.5t每3个月废酸液HW34900-300-34密闭罐装废异丙醇无尘布HW49900-041-49袋装每半年化学品包装材料HW49900-041-49密闭桶装废活性炭HW49900-039-49密闭桶装废机油HW08900-249-08密闭桶装含铜污泥HW17336-064-17密闭桶装每3个月废滤芯HW49900-041-49密闭桶装每年废树脂HW13900-015-13密闭桶装废活性炭（废水处理）HW49900-041-49密闭桶装（1）固体废弃物环境影响分析根据国家对一般固体废弃物，尤其是废物处置减量化、资源化和无害化的技术政策，建设单位应优先对各类可回收工业固废进行回收利用，对无法利用的固废委托当地环卫部门进行焚烧或填埋处置。因此，对周围环境影响较小。（2）危废贮存、运输及处置情况分析①危险废物贮存场所（设施）环境影响分析对照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)中“6.1危险废物集中贮存设施的选址原则”的相关要求，本项目选址符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)的相关要求。项目危险废物设于驰拓厂区配套用房1北侧一楼，企业危险废物间严格按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）进行设计和运营。危险废物间应设有明显的危险废物识别标志，并作好相应的记录，单独收集和贮运，由专业人员操作。危险废物堆放于室内，堆放设施应有防泄漏、防渗、防雨的措施，地面硬地化、无裂隙，经过耐腐蚀处理。危险废物由危废处置单位定期清运处理，包装容器为密封容器，容器上粘贴标签，注明种类、成分、危险类别、产地、禁忌与安全措施等，并采用专用密闭车辆，保证运输过程无泄漏。②运输过程的环境影响分析根据危险固废的成分，用符合国家标准的耐腐蚀、不易破损、变形和老化的容器贮存，并在运输过程中加强监管，避免固体废物散落、泄漏情况的发生。本项目危险废物由危废处置单位负责运输。原则上危废运输不采取水上运输，采用汽车运输须不上高速公路、避开人口密集、交通拥挤地段，车速适中，做到运输车辆配备与废物特征、数量相符，兼顾安全可靠性和经济合理性，确保危废收集运输正常化。危险废物的转移应遵从《危险废物转移联单管理办法》及其他有关规定的要求，并禁止在转移过程中将危险废物排放至环境中。③委托处置的环境影响分析本项目涉及的危险废物收集后应定期委托有相应的资质的危废处置单位进行处置，委托处置单位所经营的危废类别应包含本项目涉及的HW17、HW13、HW08、HW34和HW49。经妥善处置后，本项目涉及的危险废物不会对周围环境产生影响。4.2.5地下水和土壤环境影响分析1、地下水影响分析A、项目概况及可能影响地下水的途径（1）项目概况①本项目生产过程会产生废酸液、废刻蚀液、废机油等危险废物。本项目需设置一个危废临时贮存场，厂区内危废贮存依托驰拓集中在驰拓厂区配套用房1北侧一楼，并委托有资质的单位定期进行清运处置。②本项目所用的主要液体原料为硝酸、氢氟酸、硫酸、抛光液等，为桶装，贮存在驰拓的原材料仓库。污水，经预处理达标后进入污水处理厂处理，对周边水体影响不大。（2）项目可能影响地下水的途径能对区域地下水水质造成影响。B、地下水防渗原则（1）地下水防渗原则针对项目可能发生的地下水污染，地下水污染防治措施按照“源头控制、末端防治、行控制。事故降到最低程度，做到污染物“早发现、早处理”。此外加强污水处理设施的日常维护与巡检，保证各污染防治设施正常运行，避免非正常排放，区、一般防渗区和非污染区防渗措施有区别的防渗原则施控制地下水污染，并使污染得到治理。（2）地面防渗措施划分为重点防渗区、一般防渗区和简单防渗区，针对不同的区域提出相应的防渗要求。①重点防渗区：危险废物临时堆场废物临时堆场。重点防渗区防渗要求：基础必须防渗，防渗层防渗等级应等效于厚度不小于6.0m的黏土防渗层，防渗系数≤10-7cm/s，或者参照《危险废物填埋污染控制标准》（GB18598-2001）执行。②一般防渗区：化学品仓库等仓库等。一般防渗区防渗要求：防渗层防渗等级应等效于厚度不小于1.5m的黏土防渗层，③简单防渗区：的其他区域等。对于基本上不产生污染物的简单防渗区，不采取专门针对地下水污染的防治措只需要进行一般地面硬化。表4-24污染区分类表序号防治区分区装置名称防渗区域防渗技术要求1重点防渗区危险废物临时堆场地面等效黏土防渗层Mb≥6.0m，K≤10-7cm/s；或参照GB18598执行2一般防渗区化学品仓库地面等效黏土防渗层Mb≥1.5m，K≤10-7cm/s；或参照GB16889执行3简单防渗区车间其他区域地面一般地面硬化C、地下水环境影响评价险废物场所等防渗层的破损等导致废水进入地表，进而对地下水水质产生影响。渗透等原因对地下水环境产生不利影响在确保危险废物场所防渗层不发生破损的情况下，不会对区域地下水产生显著影响。2、土壤影响分析A、土壤污染类型拟建项目污染物质可以通过多种途径进入土壤，主要类型有以下三种：（1）大气污染型：污染物质来源于被污染的大气，污染物质主要集中在土壤表层，其主要污染物是VOCs、氟化物、硫酸雾、氮氧化物，它们降落到地表可引起土壤质量下降，破坏土壤肥力与生态系统的平衡，会造成土壤的多种污染。（2）水污染型：若污水处理设施发生泄漏、废水管网发生破损，导致拟建项目废水发生泄漏，致使土壤受到有机物的污染。（3）固体废物污染型：拟建项目生产固废、废酸液、废刻蚀液等在运输、贮存或堆放过程中通过扩散、降水淋洗等直接或间接地影响土壤。B、土壤污染控制措施控制拟建项目“三废”的排放。大力推广闭路循环、清洁工艺，以减少污染物质；控制污染物排放的数量和浓度，使之符合排放标准和总量要求。在今后的生产过程中做好对设备的维护、检修，切实杜绝“跑、冒、滴、漏”现象发生，同时，应加强关键部位的安全防护、报警措施，以便及时发现事故隐患，采取有效的应对措施以防事故的发生。4.2.6环境风险影响分析1、风险调查（1）风险源调查本项目危险物质主要为部分化学品原料和危废贮存不当导致泄漏进而引起地表水体或大气的污染。本项目风险源基本情况如下表。表4-25建设项目风险源调查表环境风险物质最大存在总量(q,t)临界量(Q)q/QQ数值来源甲烷0.0006710导则表B.10.0000670.6995一氧化碳0.004677.5导则表B.10.000623三氯化硼0.09752.5导则表B.10.039溴化氢0.0272.5导则表B.10.0675硅烷0.0132.5导则表B.10.0052氯气0.011导则表B.10.01四甲基硅烷0.01610导则表B.10.0016八甲基环四硅氧烷0.0165导则表B.10.0032硫酸0.15310导则表B.10.0153异丙醇0.065210导则表B.10.00652氢氟酸0.1021导则表B.10.102硝酸0.4447.5导则表B.10.0592危害水环境物质（急性毒性类别1）①2.85100导则表B.20.0285健康风险急性毒性物质（类别2，类别3）②18.04250导则表B.20.3608注：①本项目部分原料（蚀刻后残留物去除液EKC590、钨化学机械抛光液、铜化学机械抛光液、氧化硅化学机械抛光液、Cu电解液）未列出具体临界量，本次评价参考危害水环境物质进行分类。②本项目危险废物临时贮存量（废酸液、化学品包装材料、湿法刻蚀废刻蚀液、废活性炭、废水处理污泥、废异丙醇无尘布、废机油、废活性炭（废水处理）、废滤芯、废树脂）。由表4-25可知，本项目Q<1，根据导则附录C，项目环境风险潜势为I，进行简单分析。（2）环境保护目标调查项目环境保护目标调查详见表3-4。2、风险识别本项目危险物质为部分原料和危废，本项目可能出现的污染事故主要有废气喷淋系统故障、污水处理事故、危废贮存泄漏等。可能出现的风险事故主要有异丙醇、硝酸、硫酸、氢氟酸和溴化氢、氯气等化工原料贮运过程中发生的泄漏、气体供应系统泄漏等。可能发生泄漏的原因如下：1）包装被破坏或腐蚀致使气液体原料、危险废物泄漏；2）在使用原料过程中，由于操作失误，致使气体、液体原料、危险废物泄漏。3、环境风险分析（1）污染事故影响分析①废气治理系统故障影响分析本项目氢氟酸溶液、硝酸溶液和硫酸溶液等在生产或储运过程中若出现破损、倾翻而发生泄漏事故，破损后泄漏量较少，能及时发现并进行清理，对周边大气环境影响较小。项目溴化氢、氯气和硅烷等气体泄漏扩散进入大气中，引起大气环境污染事故并可能造成火灾。因此，在日常生产过程中，企业必须加强废气处理系统的运行维护和管理，保证其正常运行，杜绝上述非正常工况的发生。②污水处理事故影响分析污水处理事故主要由于处理系统设备故障或运行管理不当等原因造成，发生事故时，废水排放会可能会对青山污水处理厂处理系统产生一定冲击，导致出水超标，因此要求当地环保部门和企业加强管理，同时设置应急事故池，避免该类事故发生。若因管道泄漏等原因导致废水、酸碱等原料直接排入内河，必将进一步严重恶化区域内河水质，造成pH偏离中性值、CODCr等有关指标上升，造成区域水质恶化。因此，建设单位必须采取有力措施，杜绝事故排放。本项目各项应急设施依托驰拓，驰拓已建立雨水收集池，能较好的防止污水处理事故以及危废贮存泄漏时进入附近内河污染水体。③危废贮存泄漏影响分析本项目危险废物储存在专门的危废间，位于驰拓厂区配套用房1北侧一楼，同时危废仓库地面做好硬化防渗，仓库密闭。因此一旦发生渗漏事故时，其将积聚在厂区内，基本不会对地表水、土壤、大气产生影响。（2）风险事故影响分析根据风险评价因子的q/Q比较，建设项目中存在最大风险为危险废物、氢氟酸以及溴化氢的泄漏，风险潜势为Ⅰ，要对事故影响进行简要分析。根据对危险废物风险类别分析，其中：包括溴化氢在内气体在厂区内采用钢瓶储存，氢氟酸在内的液体在厂区内采用桶装，均存放在特定车间内，最大的风险类别为泄漏，如果由于操作不当导致盛放氢氟酸等原材料的包装桶破裂或盛放溴化氢钢瓶破损，氢氟酸、溴化氢等会在存放车间挥发，由于存放车间为密闭车间，室内挥发的废气通过车间吸风管道排出，不会无组织排放，对车间外环境造成影响可控制在合理范围；由于职工进入溴化氢盛放车间采取严格的防护措施，在泄漏过程中一般不会导致人员中毒。此外，企业盛放危险废物的地点位于专门的危废间，地面都已经过防渗漏处理，如有泄漏，将能及时收集，不会渗入土壤及地下水。其它原辅材料也会引起泄漏，如氯气、异丙醇、硅烷、硫酸、硝酸等。硅烷、甲烷、三氯化硼、氯气、硝酸、氢氟酸、异丙醇等泄漏会造成局部车间浓度升高，在扩散条件不佳会引起局部超标，企业在运行过程中须采取相应措施合理处置。4、环境风险防范措施及应急要求（1）生产过程中的风险防范措施生产时环境风险主要来源于生产过程中使用的异丙醇、溴化氢、硝酸、硫酸、氢氟酸、氯气、硅烷等化工原料发生泄漏，污染环境或在遇到明火的情况下引起燃烧；以及废气喷淋塔系统故障、污水处理事故、固废贮存泄漏等。目前企业已经制定安全生产岗位责任制度，禁止工人在车间内吸烟，同时根据危险品的物料具体特性，以及事故发生的特性，环评要求补充的风险防范措施具体如下：1）一旦发生化学品物料事故性排放现象，需紧急关闭清下水排放口闸阀，将在地面扩散的事故液采用围堰收集后用泵或重力流的方式送入事故池。待事故处理完毕后将事故废液逐步放入污水处理站处理达标后再行排放。若发生泄漏，则所有排液、排气均应尽可能收集，集中进行妥善处理，防止随意流动。企业应经常检查管网，定期系统维护。2）加强各类工艺废气吸收装置的运行管理，一旦出现事故性排放应及时停止生产操作，待修复后再进行生产。3）加强污水处理、废气收集处理设施、危险废物收集贮存设施的日常维护与巡检，保证各污染防治设施正常运行，避免非正常排放；4）执行有关防雷、防静电、防火、防爆的规定、规程和标准，维修人员经常巡视生产现场，并严格按照维修制度对各生产设备、设施、管道、阀门等定期检查，及时发现隐患，维护维修。避免因腐蚀、老化或机械等原因，造成有毒有害物质的泄漏及废物的超标排放，引起环境污染和人员伤害。5）厂房应根据安全要求，设符合安全要求的疏散通道。（2）储存过程中的风险防范措施储存时环境风险主要来源于危险品库房内的异丙醇、溴化氢、硝酸、硫酸、氢氟酸、氯气、硅烷等发生泄漏，经雨水管道进入环境对地下水和土壤造成污染，或在遇到明火的情况下引起燃烧；项目所用有毒有害气体，如氯气、溴化氢等发生泄漏，造成人员中毒或引发爆炸、火灾等。根据危险品贮存的物料具体特性，环评要求风险防范措施具体如下：1）危险品库房地面应进行防渗防腐处理。为了防止泄漏，在库房门槛设置不小于0.15m围堤，以满足化学品原料在发生泄漏时能够全部被拦截在室内。2）加强对化学危险物品的安全管理，保证安全生产，保护环境，厂方必须严格遵守《化学危险品安全管理条例》，贮存过程中必须按照国家《化学危险品安全管理条例》和《仓库防火安全管理规则》等规定做到安全贮存。3）硅烷、氯气、甲烷、三氯化硼等钢瓶应安装在特制的气柜内，同时每个输入有毒有机气体的机台连有尾气处理装置，一旦发生泄漏事故，能起到燃烧和喷淋的应急作用，不会将大量有毒有机气体排入大气。4）特气室、各车间、原辅料仓库均设置可燃气体报警仪，并设置排风系统。一旦发生泄漏事故，自动报警并开启排风系统。（3）末端治理风险防范措施1）废气、废水等末端治理措施必须确保正常运行，若末端治理措施因故不能运行，则生产必须停止。2）确保处理效率，在车间设备检修期间，末端处理系统也应同时进行检修，日常应有专人负责进行维修。企业应落实本环评提出的各项污染物治理措施，加强管理，及时维修设备，使各设备均处于正常运行状态；一旦因企业设备故障等各类原因而导致污染物超标排放，立即停止生产，直至满足国家相关法律法规要求后方可恢复生产。5、分析结论本项目可能出现的污染事故主要有废气喷淋塔系统故障、污水处理事故、固废贮存泄漏等。可能出现的风险事故主要有异丙醇、蚀刻后残留物去除液、硝酸、硫酸、氢氟酸和硅烷、溴化氢、氯气、甲烷、三氯化硼、抛光液等化工原料贮运过程中发生的泄漏、气体供应系统泄漏等。废水事故性排放对废水处理系统造成冲击，固废贮存泄漏会在固废储存场所发生扩散，发生以上事故时，污染物泄漏将通过土壤和水体进入环境，会对环境造成一定的影响。废气事故性排放会引起大气环境污染事故并可能造成火灾。本项目通过制定风险防范措施，制定安全生产规范，通过加强员工的安全、环保知识和风险事故安全教育，提高职工的风险意识，了解其作业场所和工作存在的危险有害因素以及企业所采取的防范措施和环境突发事故应急措施，以减少风险发生的概率。因此，本项目通过落实上述风险防范措施，其发生概率可进一步降低，其影响可以进一步减轻，环境风险是可以承受的。4.3、环保投资估算本项目建设过程中需在固废及噪声防治等环境保护工作上投入一定资金，以确保环境污染防治工程措施落实到位。本项目总投资33356.4万元，其中环保投资额预计为80万元，约占项目投资总额的0.24%，环保投资明细详见表4-26。表4-26主要环保措施和环保投资估算表序号污染源环保设施投资金额（万元）备注1噪声基础减振、隔声等52废水废水分流接入驰拓废水处理站一并处理20依托驰拓现有设施共同改造3废气尾气处理、碱液喷淋塔、活性炭处理设施、排气筒45依托驰拓现有设施共同改造4固废危废存放及处置10专门的危废间合计80五、环境保护措施监督检查清单内容要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气环境湿法刻蚀硫酸雾、氟化物、异丙醇通过碱液喷淋塔、活性炭吸附装置处理后约25m高空排放《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级排放标准；《上海大气污染物综合排放标准》（DB31-933-2015）上电极金属沉积前清洗氟化物、异丙醇金属刻蚀后背面清洗氟化物、氮氧化物金属层抛光氟化物、异丙醇设备维护清洗异丙醇地表水环境金属刻蚀后清洗含氟废水氟化物利用氯化钙混合去除氟离子后进行混凝搅拌沉淀处理，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准后纳管《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值中的间接排放半导体器件标准；单位产品基准排水量执行表2标准；