多晶硅洁净室施工工法

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多晶硅生产车间洁净室动工工法

1．叙言

随着电子、化工行业的飞迅发展，对产品纯度的要求日趋提升，而生产、加工状况的洁净度直接影响着产品的纯度。洁净室从最先的生物医药行业逐渐扩展至电子、化工行业。近几年，对产品纯度要求极高的多晶硅行业的发展与兴盛使得洁净室更充分的使用于化工限制。我单位依据所承建的江苏中能硅业多晶硅一期、二期及三在即三万平方米洁净室的动工经验，总结编定本工法。其中一期、二期洁净室已查收、检测及格，加入使用，顺利产出及格的多晶硅，获得了优异的社会和经济效益；三期洁净室正在紧张、有序动工。《多晶硅生产车间洁净室动工工法》被我公司评为2008年度动工工法一等奖。

2.特质

2．1洁净室的建筑需要多个专业一同配合达成。土建专业要为建筑洁净室供给及格的外面护结构。洁净室的装饰资料要求壁

板平坦、接缝精巧且平坦世故，禁止有凸凹外型，阴阳角所有做

成R＞50mm的圆弧角；窗户应与墙面平齐，不该设置凸出墙面的踢脚；风口、灯具采纳带密闭罩的净化灯吸顶安装；地上采纳不产尘资料整系统造，且平坦、世故、防静电。在洁净室内明装的管道均应采纳不锈钢管，其连接采纳氩电连焊。

2．2采纳本工法动工，可以保证洁净室的动工质量，并可大大提升工效、减少资料耗资，变低动工本钱，获得更大的经济效

益。页脚内容-0-四川新光硅业有限职责公司

3.适用限制

本工法适用于以多晶硅洁净厂房为代表、其净化要求为千级

至十万级的优良化工、医药车间、电子车间等生产车间的动工，

不适用于有特别要求的生物工程实验室的动工。本工法重点介绍

洁净室装饰工程的动工内容，对洁净室动工中的通风、电气、给

排水等专业的动工工艺不做详实说明。

4.工艺真谛

经过二次排版策划和资料采纳、节点选型进行径工，使洁净

室内不出现污染死角或气流过滤不到的部位，没有扬尘。经过净

化妆修保证洁净室抵达不产尘、不集尘要求，具备必定的密闭性

能，保证室内保持必定的正压，防范外界非洁净空气浸透组成污

染。

5.动工工艺流程大纲大纲及操作重点

5.1动工流程大纲大纲

动工流程大纲大纲依据先有尘后无尘、先上后下的原则。详实动工顺

序以下：

动工准备→丈量放线→二次排版→资料加工→可调治吊杆

安装→槽铝安装→壁板安装→T型铝安装→顶板安装→彩钢板调

平并牢固→门窗安装→阴阳角安装→风口安装→灯具安装→地

面动工→过滤器安装→硅胶密封→爱惜膜拆掉→洁净→洁净度

检测→完工查收

5.2操作重点

动工条件

经图纸会审及动工现场勘探，土建工程屋面防水及保温页脚内容-1-四川新光硅业有限职责公司

已完工；室外门窗安装达成，室内易发生粉尘的动工内容结束，

水、电已进入动工现场，厂房四周能经过8t以上载重汽车。

动工准备

动工技术准备：依据业主供给的及格动工图及采集到的现场

资料，结合工程特质，判断工程动工的办理技术人员组成、办理

系统；熟习、消化技术文件、策划图纸及相关规范、规范，做好

策划交底和图纸会审工作，对各动工班级进行详实的动工技术交底。

资料及设施的准备：所使用资料必需切同策划要乞降动工规

范划定，且具备出厂及格证明书或相关质量证明文件。依据策划

要求拟订不一样样动工阶段的供给计划，落实货源，组织输送，部署

好现场存储，保证项目动工连续、有序进行。

动工人员的准备：包含项目经理部办理人员和动工工人，及

由此二者组成的工程动工办理层及作业层。

丈量放线

丈量放线是洁净室装饰动工的的基础，有多个专业一同安装

动工的洁净室装饰工程动工正确性相当重要，而丈量放线是动工

正确性能否获得保证的重点条件。由于动工中专业多、交错动工

错乱，洁净室装饰丈量需按一致的安装基准线进行，以纵横双方

向的轴线为原始基准，判断一条对各专业动工最有益的安装基准

线。采纳激光水平仪或精度较高的水平仪进行丈量放线。在丈量

放线中，必需采纳多点法判断每一个基准点和基准线，以保证精

确度，在地上尽或许低的地方搜寻判断最高点，并在柱中央相对

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于地上最高点绘出500mm高的水平丈量点。弹墨线前使用棉线

校核基准点或参照点，墨线弹好后即时做好相关标志。

二次排版

依据现场丈量放线的尺寸认识达成的建筑实体与图纸的误

差进行二次排版，排版内容包含顶板、壁板及高效过滤器、灯具、门窗的安装地点及尺寸规格，绘出结点大样图和各部分的的详实

尺寸。排版时特别要留神考虑门窗、高效过滤器、灯具、通讯、消防、工艺管道所开孔洞与彩钢夹芯板间的模数、地点关系及强度、结构要求。对原策划图中的门窗尺寸及地点，在二次排版时或许依据现场本色进行必定调治。在排版经过中不可以以圆满依据土建工程中的建筑模数，假如门窗口宽度没有特别严格的尺寸要求，可以将门窗的宽度改成彩钢板的适用宽度并趁早预留，裁下的板正好可做门扇资料，这样不单节俭资料，并且门窗缝与彩钢夹芯板拼接缝相重合，成就雅观。假如工艺要求门洞宽度大于彩钢夹芯板的适用宽度，做成双扇门且门洞地点于两板相邻壁板中间，裁下来的资料可做门扇。彩钢夹芯板上电气、工艺管道、消防、通讯等专业洞口的定位要幸免在彩钢夹芯板企口地点而变低强度，同时要考虑阴阳角的安装尺寸。彩钢夹芯板上的高效过滤器泂口口边的宽度不得太窄，若洞口边宽度太窄，人上吊顶时，由于彩钢板顶板的强度变低而存在重要的安全隐患。

已完装饰工程的爱惜

珍喜好已达成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、

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多水作业等组成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。壁板安装过

程中不得撕下壁板表面塑料爱惜膜，禁止撞击和踩踏板面。所有

穿过洁净室的管道、设施在与彩钢夹芯板接口处均密封办理。

节点

彩钢板安装中重要的节点有：彩板与洁净灯具的节点、彩板

与过滤器的接点、彩板与密闭窗门的接点、彩板与百页风口的接

点、顶板的节点、壁板的节点等。节点连接模式有多种，这里仅

以其中一类为例说明（详见图），详实接点模式的采纳，可

依据现场状况灵巧采纳。

液槽密封高效送风口

灯具安装节点

回风墙迎风管节点

墙与吊顶节点

墙与地上节点墙与玻璃节点门与地上节点回风口节点

壁板与地上：按图纸开间尺寸弹出墨线，用电锤间距

300mm～500mm钻眼，用膨胀螺栓牢固槽铝，壁板依据公母口

目标挨递次安装。在壁板和地上动工达成后安装阴角条，最后用

硅胶密闭破绽。墙角应笔挺交接，防范积累倾向组成壁板倾斜扭

曲，壁板的笔挺度倾向不该大于０.２％。（如图）

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净化彩钢板壁板密封胶槽铝铝合金阴角条环氧自流平川面膨胀螺栓0（PVC地上）5

土建地坪

壁板与地上节点

壁板与顶板连接：在壁板上端用抽芯牢固槽铝并用自

攻螺丝与顶板连接，室内侧安装铝合金阴阳角，用硅胶密封（如

图）。

槽铝净化彩钢板顶板净化彩钢板顶板

阴角条

密封胶阴角条阴角条净化彩钢板壁板牢固架

净化彩钢板壁

板

壁板与顶板节点

顶板与现浇板：依据二次排版的顶板部署图用电锤在

现浇板上间距1.2m～1.5m钻眼，吊杆正常采纳镀锌或不锈钢拉丝

柑，吊杆上端焊接50mm的角钢。用膨胀螺栓牢固在现浇板上。

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吊杆中间设置花篮调治螺栓，用以调治顶板的水平或起坡坡度。

吊杆下端焊接T型铝，顶板放置在T型铝上，并用角铝压紧，角

铝与T型铝用抽芯铆钉牢固，并用胶密封。（如图）。

膨胀螺栓

调治螺栓

专属特种铝型定位螺帽材大梁

T形型

连接角铝净化彩钢板顶

板

顶板与建筑墙面：工艺同壁板与地上节点（如图

）。用乳胶漆封闭墙柱面后方可安装彩钢板，阴阳角安装

达成后破绽用硅胶密封（如图）。

槽铝净化彩钢板顶4射钉板

阴角条牢固架

阴角条

门窗节点：净化彩钢门正常采纳不锈钢或铝合金门框，页脚内容-6-四川新光硅业有限职责公司

在门扇底端设置扫地密封条，材质有橡胶类、皮革类等，底部缝

隙高度5mm～10mm，扫地条长度约为破绽的1.5倍～２.5倍（如

图－1）；

密闭门门扇

扫地密封条

环氧自流平川面

（PVC卷材地上）

窗有单层密闭窗（如图－2）和双层密闭窗（如图

3）两种，双层密闭窗在彩钢板壁板安装时开初将窗洞口留设出来，用铝合金型材进行包边，此后按以以下列图粘贴双面胶，此后现场丈量洞口尺寸，按尺寸下料白玻璃，玻璃尺寸要比洞口每边少

5mm，最后用扣条压盖并用硅胶密封。单层密闭窗相同在安装壁

板时留设窗洞口，先将内侧不锈钢框架安装并用铆钉牢固打胶密

封，此后安装白玻璃或防火玻璃。安装外侧不锈钢框架，玻璃与

框架间的破绽用密封条密闭，框架与彩钢板破绽用胶密闭。

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6厚钢化玻璃硅胶双面胶密封条铝合金双层不锈钢窗框玻璃窗5mm厚白玻璃龙骨门扇硅胶密封双面胶密封条铝合金型材金属壁板

密封条

6厚钢化玻璃（20厚防

火玻璃）

不锈钢框

壁板

回风夹道依据策划净化风量设置回风夹道的尺寸和地点（如

图－4）

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过滤器、灯具与彩钢板：洁净灯具及过滤器依据二次

排版的平面部署图在顶板安装前开孔，留设过滤器和灯具的安装

地点（如图）。洁净灯具宜采纳吸顶式、易洁净的、不简单

积尘的灯具。过滤器每一个框架需设置四根吊筋，且吊筋不得承载

其余构件，过滤器框架从室内用绳索吊上去人工校订后用螺栓固

定到顶板上，防范位移，承重要靠吊筋，不得用顶板承重。安装

达成后进行荡涤并用薄膜爱惜，过滤器在净化系统调试运行48

小时后方可进行安装。过滤器安装后洁净室必需按规范要求进行

办理，防范办理不当对过滤器组成耗资或破坏。

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可调螺栓膨胀螺栓专属特种铝可调螺栓型材大梁高效送风口定位螺帽顶板上分线盒、穿线管

净化室密闭吸顶式净化荧光灯单层窗户

洁净室PVC地上：用石磨机打磨地上，并用吸尘器清

理灰尘及沙粒；自流平水泥，经充分搅拌平匀后，呈稀和状倒在

地上，用工具刮涂平匀，厚度约2-3mm。待干透后，表面用磨光

机打磨一遍，灰尘清理洁净。地上干燥后进行放线、涂胶：判断

地板基准线，采纳双组分防水胶，经充分搅拌后刮涂于洁净地上，

依据地上地点，涂胶先后递次，留出合理的动工通道。正常状况

下希望时间为15－20分钟后开始铺设；将资料铺设在湿的胶水

上，施预压力使其粘接住，地板安装达成一部分后，要马上便用

50公斤组合滚筒将地板压平；安装达成后，打扫或使用吸尘器将

地上所有残留物去除洁净，保证房间通风，使胶水干燥，刚铺好

24小时后进行打腊，荡涤机对完工PVC地进步行圆满荡涤，地上

水吸干后用专属蜡水涂抹平匀。打蜡后8小时即可加入使用，竣

工前宜用薄膜覆盖防范污染。

6．资料及动工机具

洁净室壁板及顶板要求防静电、耐腐化、易洁净、不产尘、

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不集尘、接缝少，依据工艺要求不一样样采纳不一样样材质的彩钢夹芯板，

正常有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯资料、石膏板、岩棉板、纸

蜂窝板、铝蜂窝板等。厚度正常50mm～80mm不等。地上装饰

资料要求具备优异的耐磨性能、防滑、防静电、耐腐化、易洁净、

不简单起尘开裂、二次动工简短、接缝少或无接缝。洁净室经常使用的

装饰资料有嵌铜条水磨石地上、环氧自流平川面、防静电PVC地

板和聚氯乙烯软板等。

洁净室动工的重要工机具见下表6-1

序号称号1交流焊机2氩弧焊机3液压起落机4工业吸尘器5切割机6打击钻7手电钻8铆钉枪9水平尺、线垂10灰尘粒子计数器11热球式风速仪12增补式微压计13通风干湿球温度计

规格型号单位数目BX3-300台2NSA4-300台1YSD-300台1GM80台1TC-4QPVC台1GBH3-28E台3φ6台8YWJ-D把13把6y09-6台1EY3-2A只2YJB-150台2DHM2只1

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7.工程质量控制举措

7.1资料控制举措

进场设施、资料的查验查收。在订购设施、资料前，详

细认识生产厂家的各样适用证件；设施、资料进场后，会同业主

及监理人员进行查收。

彩钢夹芯板分批次输送入场，依据尺寸大小辩解水平存

放在车间平坦地上处，下部垫防潮软质资料，并用彩条布覆盖。

堆放时开初依据二次策划图的用料需要，挨递次堆放，省得因多

次翻找组成板面的划痕。

彩钢夹芯板在堆放时注明生产批次，省得在一致洁净室

内发生色差。安装经过中部署专人打扫动工现场，省得组成板面

的划伤。

彩钢夹芯板的配套型材，要依据种类分架放置，省得造

成不可以还原的压痕，影响安装质量。

在彩钢夹芯壁板显然地点张贴口号，提示其余专业动工

单位做好成品爱惜，并在壁板转角等易碰撞地点包裹橡塑板等软

质资料，防范彩钢夹芯板被撞损。

7.2动工经过控制

洁净室建筑具备技术含量高、专业动工交错多等特质，

假如采纳传统的“秋后算账”式质量控制方式，只重申中间查收、

完工查收的相关数据达标，而对动工经过的动向控制力度不够，

会组成查收资料及格但本色工程不及格的现况。因此，经过提升

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二次排版、资料采纳、节点选型等动工技术，增强动工经过中动

态质量控制是保证洁净室动工质量的适用方式。动工经过中的动

态质量控制也是洁净室动工的技术难点之所在。

动工前状况控制：净化空调系统动工前，屋面防水工程

和外面结构达成，外门、外窗安装达成。动工现场状况交由负责

净化工程动工的公司办理，组织人员对室内陆面、柱、墙、空间

进行一次圆满打扫，抵达洁净无尘后方可开始动工。

洁净室的密封控制：洁净工艺房间内的空气压力必需保

证有对于室外大气为正压，幸免室外非洁净空气浸透室内影响室

内洁净度。洁净房间的精巧性对房间正压值的保持和洁净度的保

证具备选择性的影响。车间洁净区的房间采纳净化彩钢夹心板作

为房间围护结构资料，板材与板材之间的拼缝均涂密封胶，并要

抵达精巧不漏风。洁净房间的围护结构按规范规范要求进行工序

交接查收，及格后方可对穿越围护结构的管线进行开孔安装。机

电安装工程中必需在壁板上开孔安装的插座、开关、烟感探测器、

广播喇叭、监控摄像头、照明开关箱、消火栓箱等零件，其箱体

与壁板之间用密封胶进行密封，箱体中各样管道与箱体之间必需

采纳可靠和适用的密封举措。

洁净房间空调系统风管和设施的洁净控制：动工经过中

必需看重对风管和空调零件的荡涤，安装后须防范再次污染。风

管制作前必需用中性冲洗剂擦洗其表面油污，再用清水冲洗晾

干。风管加工应在洁净、无风沙的室内操作间进行，工作台上应

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铺设地毯或橡胶板，防范铁皮表面镀锌层划伤。使用洁净半干抹布擦拭风管内表面，再用白绸布查验内表面荡涤质量，白绸布揩擦后不留所有灰迹、油渍即为荡涤及格。风管管段加工荡涤及格后，用塑料薄膜封好管段两端再运至安装现场，所有风管配件及设施在安装前必需擦拭洁净，不然不得安装。净化空调的所有送风管和回风管均进行漏风量考验，检测及格后方可进行下一道工序动工。洁净室和空调送回风管道应在高效过滤器安装前抵达清

洁要求，净化空调系统必需连续试运行（空吹）12小时以上，空吹后再对送回风管和组合式空调器内进行打扫和擦洗洁净。每台

安装于5级洁净区的高效过滤器在安装前应进行检漏，检漏及格后方可安装。

7.3完工查收

洁净室的工程查收分为两个阶段进行，先进行完工查收，

再进行综合性能全面评选。

完工查收和综合性能全面评选必需对洁净室进行性能

检测。

洁净室的检测在空态、静态下进行（动向检测因高出了

洁净室动工单位控制的限制，正常不做为洁净室完工检测依

据。）。空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设

备、资料及人员。静态：设施已经建成，生产设施已经安装，并

按业主及供给商赞成的状况运行，但无生产人员。综合性能全面

评选的检测状况，由建设、策划和动工单位三方商议判断。检测

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得出的洁净度级别，并注明检测状况。

在空态及静态条件下检测时，室内检测人员不多于２

人，均必需穿洁净工作服，尽量少走动。

综合性能全面评选由建设单位负责，策划、动工单位配

合，有资格的第三方检测单位进行综合性能全面评选检测。该项

工作应在洁净室各系统已调试达成，牢固运行24h以上后方可进

行。检测前再次全面洁净洁净室，按以下内容逐项进行检测：送

风量、静压差、空气洁净度级别、室内温度和相对湿度、室内噪

声级、室内照度及平匀度，依据工艺需要若有必需还需加测：浮

游菌和沉降菌、室温颠簸限制和地域温差、室内倍频程声压级、

室内微振、表面导静电性能、室内气流流型、自净时间等。详实

检测操作经过由第三方检测单位进行，这里不做说明。

完工查收应在对各分部工程做表面查验、单机试运行、

系统结合试运行，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调治以

及对相关的动工查验记录观察及格后进行。

完工查收的检测结果应所有切同策划要求，其检测项目

符合室内洁净度级别要求，知足现行国家规范《洁净厂房策划规

范》GB50073-2001、《洁净室动工及查收规范》JGJ71-90及《通风

与空调工程动工质量查收规范》GB50243-2002的要求。

安全举措

8.1建立圆满的安全生产组织机构及划定标准标准制度，装备专职安全

员负责安全办理工作。

8.2动工作业人员进厂时必需经过三级安全教育，教育动工

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人员在动工经过中做到不损害别人、不损害自己、不被别人损害。

现场设置安全劝告牌。

8.3进入动工现场必需一致穿工作服，带好安全帽，系好下

额带，登高作业必需系安全带。在动工现场室内工作时禁止吸烟，

禁止酒后进入动工现场。

8.4动工需搭设脚手架时，所搭设的脚手架必需经专职安全

员确认安全可靠后方可使用，动工所用工具应放入工具袋内，不可以以随手放在脚手架上。

8.5动工用电必需采纳三相五线，配电箱必需牢固且有可靠

接地。

8.6幸免动火作业，当不可以幸免时，要做好