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文档简介

MEMS微型压力传感器工学硕士学位论文基于MEMS技术的压力传感器研究种传波北京工业大学2020年4月分类号：TP212单位代码：10005学号：S200501108密级：公开北京工业大学硕士学位论文题目基于MEMS技术的压力传感器研究英文并列MICROPRESSURESENSORSRESEARCHBASED题目ONMEMSTECHNOLOGY研究生姓名：种传波专业：机械设计及理论研究方向：微机电系统导师姓名：李德胜职称：教授论文报告提交日期2020.4学位授予日期授予单位名称和地址独创性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及获得的研究成果。尽我所知，除了文中十分加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其别人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得北京工业大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何奉献均已在论文中作了明确的讲明并表示了谢意。签名：日期：关于论文使用受权的讲明本人完全了解北京工业大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅；学校能够公布论文的全部或部分内容，能够采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。〔

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