楔形平板产生的等厚干涉

楔形平板产生的等厚干涉第一页，共十八页，编辑于2023年，星期三实际中，扩展光源并非无穷大，干涉条纹不只局限在定域面，在定域面附近也可以看到干涉条纹，这一定的区域深度为定域深度。定域深度以外的区域看不到干涉条纹。第二页，共十八页，编辑于2023年，星期三（二）楔板产生的等厚条纹从光源S中心发出经楔板上下表面反射的两支光交于定域面上某点P，这两支相干光在P点产生的光程差为精确计算较困难，近似用平行平板的光程差公式来代替若照明平行光垂直入射楔板，若楔板折射率处处均匀，干涉条纹与等厚度的轨迹相对应，这种条纹称为等厚条纹。第三页，共十八页，编辑于2023年，星期三亮纹暗纹从以上亮纹或暗纹公式易导出，从一个条纹过渡到另一个条纹，平板的厚度变化为对应光程差变化为，楔板的楔角为条纹的间距第四页，共十八页，编辑于2023年，星期三αehekek+1明纹暗纹条纹间距又第五页，共十八页，编辑于2023年，星期三干涉条纹分布的特点：eekek+1明纹暗纹劈棱（适于平行光垂直入射）(1).

当有半波损失时，在劈棱处为暗纹，否则为一亮纹；(2).

干涉条纹是平行于棱边的直条纹(3).

相邻明（暗）纹间距(4).楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏第六页，共十八页，编辑于2023年，星期三劈尖表面附近形成的是一系列与棱边平行的、明暗相间等距的直条纹。楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏；当用白光照射时，将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。第七页，共十八页，编辑于2023年，星期三三.等厚条纹的应用1.劈尖的应用测波长：测折射率：测细小直径、厚度、微小变化测表面不平度第八页，共十八页，编辑于2023年，星期三

测细小直径、厚度、微小变化Δh待测块规λ标准块规平晶

测表面不平度等厚条纹待测工件平晶

检验透镜球表面质量标准验规待测透镜暗纹第九页，共十八页，编辑于2023年，星期三(1)检测待测平面的平整度由于同一条纹下的空气薄膜厚度相同，当待测平面上出现沟槽时条纹向左弯曲。待测平面光学平板玻璃第十页，共十八页，编辑于2023年，星期三(2).测量微小物体的厚度将微小物体夹在两薄玻璃片间，形成劈尖，用单色平行光照射。由有第十一页，共十八页，编辑于2023年，星期三例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长L=20mm的空气劈尖，测得条纹间距为第十二页，共十八页，编辑于2023年，星期三(3).测量微小角度.

例题折射率为n=1.60的两块平面玻璃板之间形成一空气劈尖，用波长λ=600nm的单色光垂直照射，产生等厚干涉条纹，若在劈尖内充满n=1.40的液体，相邻明纹间距缩小Δl=0.5mm，求劈尖角θ。解：设空气劈尖时相邻明纹间距为l1，液体劈尖时相邻明纹间距为l2，由间距公式第十三页，共十八页，编辑于2023年，星期三(4)测量微小位移厚度每改变λ/2n条纹平移一条(5)测介质折射率第十四页，共十八页，编辑于2023年，星期三例用等厚干涉法测细丝的直径d。取两块表面平整的玻璃板，左边棱迭合在一起，将待测细丝塞到右棱边间隙处，形成一空气劈尖。用波长0的单色光垂直照射，得等厚干涉条纹，测得相邻明纹间距为L，玻璃板长L0，求细丝的直径。解：相邻明纹的高度差d第十五页，共十八页，编辑于2023年，星期三

例题在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖，并观察到弯曲的干涉条纹，如图所示。求纹路深度H。解若工件表面是平的,等厚条纹应为平行于棱边的直线条纹。由于一条条纹对应一个厚度，由图的纹路弯曲情况可知，工件表面的纹路是凹下去的。

Hla工件标准平面

由图：H=asin因：lsin=/2,所以纹路深度第十六页，共十八页，编辑于2023年，星期三

例题波长的光垂直入射折射率为n2的劈尖薄膜，n1>

n2,n2<n3,如图所示。在反射光中观察，从尖顶算起，第二条明纹对应的薄厚是多少？解由薄膜公式，有n3n2n1显然，取k=2;于是第二条明纹对应的薄厚为第十七页，共十八页，编辑于2023年，星期三［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观