《设备工装设计与制造过程脏污控制规范》

设备工装设计与制造过程的脏污把握标准1.0目的本标准规定了在净化间使用的工装设备在设计与制造过程中的脏污把握要求。2.0适用范围参考文件ISO14644-1&2AirborneparticulatecleanlinessincleanroomsandcleanZones.35QI-00049-ACleaningmethod/Requirementforequipment/tooling/workstation.Doc#96-004482/WD-Cleanroomtoolingdesignandcertificationguidelines10194/MAXTOR-Partscleanlinessspecification4.0设备对赃污的一般检测要求〔主要参见WDDocument#96-004482 6.3.1〕大小不得超过所在净化间的规定。脏污颗粒数见表一。颗粒尺寸(颗粒尺寸(微米)空气中最大粒子数量/每立方英寸(净化间级别)静态运转状态0.5Class10K250050000.525500.3Class100751500.218.7537.55.0(WDDocument#96-0044824.3)力削减颗粒的发生。重负荷的运动和冲击以削减脏污颗粒的产生。其弯曲局部尽量远离产品。由于断续和连续的运动，材料、风扇也会产生脏污颗粒。〔氧化〕会产生脏污。在管道和机器中非金属垫圈或衬垫的老化作用会产生脏污。塑胶件的挥发性溢气会产生脏污。净化间非正确使用的润滑剂会产生脏污。把握脏污颗粒和除气作用的原则(参见WDDocument#96-004482 4.4)第 1 页 共 6页排解根源在设计或构造安排时，通过更换材料等方式排解脏污根源和削减脏污。防护和排出利用防护罩等防止脏污集中颗粒；利用真空吸装置和抽风装置吸除发生区的颗粒。重布置构造18下，如真空泵、电源、把握箱等。脏污把握要求：设计方面的一般原则:〔WDDocument#96-004482〕器必需经脏污测试以保证可用于净化间。抱负的末端执行机构，应尽可能使用。和导向销要求承受圆角设计，以避开产品划伤。非关键定位装配和测量工装与产品协作间隙公差应尽可能选用较大间隙协作；与产品接触并有相对运动的零件外表粗糙度要求Ra0.4以上;与产品接触并有相对运动的零件外表硬度到达HRC50以上。露的盲孔其他孔及槽、缝不允许被设计成不行清洁的位置。不用的外露孔应用堵头或Ra1.6。尽量将全部气动元件密封起来以避开造成空气干扰气流产生脏污;;全部运动部件如无特别要求其运动速度不宜太高，转动部件的转速不宜高于0.3M/S，高速运动部件应有防护罩壳，防止产生风力集中脏污;无刷直流电机是较清洁型的电机，应尽可能使用。整体的冷却风扇或其他必要的空气移动装置，应使室内空气流淌方向平稳地流淌18〔455mmPC评估和消退潜在的气流问题，并应尽可能承受空气过滤装置。10FPM的地方也是一个好的方法，如接线端子、线扎、气管、气缸等。符合空气动力学的防护罩没有水平平面。防护罩设计应考虑引导气流远离产品和朝向操作者。施，并标准操作动作和挨次。材料选用的一般原则材料的应用必需经CE工程部关于净化间使用要求的测试认可。第 2 页 共 6页粒。软质金属材料;能使用防锈油。全部的胶类材料必需是不挥发的和能够固化的。不易刮伤、不能是疏松的或磨损的。例如，不允许在暴露的或隐蔽的位置使用木材或木制产品。可以例外。全部的材料必需具有自熄灭功能。锈蚀。属材料。清洁。尽可能不选择软质塑料，由于它们有很高的挥发性溢气倾向〔聚亚胺脂除外。装配材料方面：〔主要参见WDDocument#96-004482 4.1.3Lubrication〕60HRC材料将供给最好的抗磨损特性。避开软-软金属协作。尽量避开不必要的摩擦，尽量用滚动摩擦代替滑动摩擦。相互摩擦的两物体尽量承受硬度相近的材料，避开因摩擦产生脏污。相互摩擦的两物体尽量承受物质相近的材料，避开因摩擦而产生静电及磁性。电缆或电缆组必需安装符合净化间要求的外防护套。推举使用的材料300系列不锈钢：一般状况下，推举首选的材料是钝化的300系列不锈钢。较常用此不适用于需依靠磨削保证精度和粗糙度的场合。推举使用于一般无相对摩擦构造件。1Cr18Ni9Ti〔国内牌号1Cr18Ni9钢板并经钝化处理。1Cr18Ni9Ti属于不锈耐热耐酸钢，塑性好，有良好的耐热性及抗腐蚀性，无磁性。镍的铝板。量较轻并在没有与其他零件摩擦和冲击的条件下经过外表处理可以使用。ESD225：在静电荷放电可以引起产品损害的地方，如使用非金属材料必需使用静电耗散材料。推举使用工程塑料ESD225。属醛基抗静电材料，米黄色，具有固有的抗静电性能。工程塑料POM：在需要对电荷进展隔离的地方如伺服和步进电机安装等，推举使第 3 页 共 6页的硬度相近。尺寸稳定性好，吸水率较小，并具有良好的绝缘性能。不耐酸和强碱。S136,S136HHRC40-48。S13〔4Cr13S136H需要较高耐磨性和有冲击的地方。有磁性。S136HHRC32-35，有磁性。S136H440C〔9Cr18〕：可淬火至:HRC50-58，有磁性。440C2316HB235-250；2316HHB290-330.不锈弹簧钢0Cr17Ni7Al：推举使用为不锈弹簧、垫圈等。ESDZ21H02在需要高硬度及静电耗散作用的地方。GCr15：推举承受轴承钢GCr15在国内定做滚珠丝杠。零部件的润滑剂使用的一般原则〔主要参见WDDocument#96-004482 Lubrication〕的润滑剂的应用必需经CE工程部关于净化间使用要求的测试认可。使用润滑剂必需最小化和严格把握。不允许使用含硅油类的润滑剂。尽量用固态润滑剂代替液态润滑剂。是挥发性的，以免挥发性的物质进入净化环境。聚四氟乙烯和包含这些材料粉末的油类。滑剂与产品和工艺的兼容性。当建议的润滑油不能承受时，必需去更换另外一种〔磁盘润滑油、电机轴承润滑脂等。BPEnergrease氧化稳定性。使用油漆的一般原则〔主要参见WDDocument#96-004482 4.1.2.1Paints〕置使用，如盖板、机柜及框架、无人触及的围栏等。保证末道漆和外表之间的沾接剂沾接牢靠。等。优先选择的漆是：弹性体的聚胺脂橡胶、环氧瓷釉、烧结的粉末涂层瓷釉。环氧瓷釉(Epoxiesenamels)是最常用的在净化间使用的工业涂漆方法。它有好的化学特性和耐溶剂性、抗磨损性及好的支撑性和好的碎裂抗力。为避开静电荷的积存，涂漆后的外表和金属机体衬底之间电阻不大于20megohms。〔主要参见“电镀工艺学”王鸿建主编哈尔滨工业大学第 4 页 共 6页出版社〕的外表处理的应用必需经CE工程部关于净化间使用要求的测试认可。电镀是指当零件浸入在一种包含有金属离子的溶液中利用电流作用沉降金属薄镀铬不推举在净化间使用。铝及铝合金的阳极氧化指将其至于适当的溶液中作为阳极进展通电处理的过程。阳极氧化〔铬酸法〕指在铬酸电解液中通以直流电或沟通电对铝及铝合金进展阳极1-3颜色为不透亮的灰白至深灰色。推举使用于一般铝的构造件，但不能用于有冲击和摩擦的地方。阳极氧化〔硫酸法〕指在稀硫酸电解液中通以直流电或沟通电对铝及铝合金进展阳3-35微米。推举使用于一般铝的构造件，但不能用于有冲击和摩擦的地方。0.01mm以上，硬度低，具有多孔性。不推举使用。的过程。不锈钢零件外表的杂质。硬质阳极氧化化一样，但具体的工艺参数不一样。具有良好的耐磨和耐腐蚀力气。用硫酸工艺可得到灰色外表。用草酸工艺可得到褐色外表。推举使用材料为6061/LY11、LD3。推举使用在零件构造较简洁、需要确定的耐磨性和有静电耗散要求的地方。化学沉镍镀层厚度在0.003-0.009mm之间，硬度一般在HV200-450之间。推举使用于一般铝的构造件，但不