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文档简介
扫描电镜衬度的形成:主要利用样品表面微区特征,如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等的差异,在电子束作用下产生不同强度的物理信号,使阴极射线管荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度,获得具有一定衬度的图象。第六节扫描电镜衬度像1.二次电子像形貌衬度的形成:二次电子产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角。如果试样表面是凸凹不平的话,法线与入射束夹角大的面发射的二次电子多;反之则少。(a)=0°50År1(b)=45°50År250År3(c)=65°r3>r2>r1入射电子在试样表层下50Å深度内所经路程随面法线间夹角的变化
B二次电子产额图象衬度AC形貌衬度形成原理检测器B强度ADABCDIAIBICID2.背散射电子像成分衬度
背散射电子像的形成:样品表面上平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号,在荧光屏上形成较亮的区域;而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子,在荧光屏上形成较暗的区域,这样就形成原子序数衬度(成分衬度)。形貌衬度产额倾斜角背散射电子和二次电子成像对比二次电子像背散射电子像背散射像的获得背散射电子探测器和信号处理a)成分有差别,(b)形貌有差别,(c)成分形貌都有差别
形貌无差别
成分无差别由A和B来的信号分离后的信号铝合金抛光表面的背反射电子像
采用A+B方式获得的成分像采用A-B获得的形貌像铝合金韧窝断口形貌断口形貌分析断口形貌分析解理台阶
断口形貌分析碳纤维增强复合材料断口的二次电子像断裂扩展过程原位观察断裂过程原位观察Al3Ti/(Al-Ti)复合材料断裂过程原位观察纳米材料形貌观察螺旋形碳纳米管显微组织分析高镍高铬奥氏体钢的显微组织第七节扫描电镜晶体学分析1.通道花样形成原理
入射电子被晶体中原子点阵的散射几率并不是各向同性的。当γ<θB时,入射电子被背向散射(即散射角大于90°)大于前向散射(即散射角小于90°)的几率,意味着这些入射方向是不利于进入晶体的禁道;而当γ>θB时,入射电子的前向散射几率大于背向散射几率,意味着这些入射方向是易于进入到晶体中去的通道,这种物理现象称为电子通道效应。〈111〉金刚石晶体所获得的电子通道花样3.通道花样的指标化W/MAC/ML2γ2θ
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