标准解读
《YS/T 826-2012 五氧化二铌靶材》是一项关于五氧化二铌靶材的技术标准，该标准详细规定了五氧化二铌靶材的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等方面的内容。根据此标准，五氧化二铌靶材主要用于半导体工业中的薄膜沉积过程。
标准中对五氧化二铌靶材的化学成分进行了明确规定，包括主成分Nb₂O₅的含量要求以及其他可能存在的杂质元素的最大允许量。此外，还定义了几何尺寸和外观质量的标准，确保产品能够满足特定应用需求的同时也便于加工处理。
在物理性能方面，《YS/T 826-2012》提出了密度、电阻率等关键参数的具体数值范围或最低要求，这些指标对于评估材料是否适合用作溅射源至关重要。同时，考虑到实际使用过程中可能遇到的各种条件，标准还涵盖了耐热性等相关特性测试的方法与合格标准。
为了保证产品质量一致性，《YS/T 826-2012》制定了严格的取样规则及相应的检测程序。这包括但不限于化学成分分析、尺寸测量、表面缺陷检查等一系列操作流程。通过遵循这套体系化的检验指南，可以有效控制生产过程中的变异性，并及时发现潜在问题。
最后，在产品的标识、包装方式选择上也给出了指导建议，旨在保护产品免受损害的同时方便用户识别相关信息；而关于运输与存储的规定，则是为了确保在整个物流链条中维持良好的状态直至最终到达使用者手中。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2012-11-07 颁布
- 2013-03-01 实施
文档简介
ICS77160
H72.
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T826—2012
五氧化二铌靶材
Niobiumpentoxidetargetmaterial
2012-11-07发布2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T826—2012
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口
(SAC/TC243)。
本标准起草单位西北稀有金属材料研究院中国有色金属工业标准计量质量研究所
:、。
本标准主要起草人王鹏张红梅佂卫星扈百直吴红张宪铭张江峰
:、、、、、、。
Ⅰ
YS/T826—2012
五氧化二铌靶材
1范围
本标准规定了五氧化二铌靶材的要求试验方法检验规则标志包装运输贮存质量证明书和
、、、、、、、
合同或订货单内容
()。
本标准适用于以五氧化二铌粉末为原料采用真空热压工艺制成的五氧化二铌靶材
,。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T3850
所有部分钽铌化学分析方法
GB/T15076()
3要求
31化学成分
.
311产品化学成分应符合表规定
..1。
表1化学成分质量分数
()%
主成分杂质含量不大于
,
杂质
Nb2O5TaFeSiAlCrCuMnMoNiSnTiW总和
余量
0.0080.0010.0050.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001≤0.01
312主成分含量用减量法计算
..。
32密度
.
产品的密度应不小于3
4.46g/cm。
33尺寸及允许偏差表面粗糙度和平面度
.、
产品的形状尺寸及允许偏差表面粗糙度和平面度应符合供需双方签订的技术图样
、、。
34外观质量
.
341产品的颜色应均匀
..。
342产品的表面应平整无裂纹无异物无明显的针孔孔洞和印记
..,,,、。
4试验方法
41产品的化学成分检验按
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