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文档简介

光学薄膜技术绪论

——康斯坦丁·诺沃肖洛夫

安德烈·海姆

石墨烯不仅是已知材料中最薄的一种，还非常牢固坚硬；作为单质，它在室温下传递电子的速度比已知导体都快。当硅材料尺寸小于10纳米时，用它制造出的晶体管稳定性变差。而石墨烯可以被刻成尺寸不到1个分子大小的单电子晶体管。此外，石墨烯高度稳定，即使被切成1纳米宽的元件，导电性也很好。因此，石墨烯被普遍认为会最终替代硅，从而引发电子工业革命。电阻蒸发与电子蒸发复合镀膜设备

用于制备导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜。

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