树脂砂生产线工作原理

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真空镀膜连续生产线的工作原理的技术分析

真空镀膜连续生产线的工作原理的技术分析1.真空镀膜机的简介真空镀膜机有三种形式：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

1.1.蒸发镀膜蒸发镀膜通过对某种物质举行加热蒸发使这种物质再沉积在固体外观，称为蒸发镀膜。蒸发物质可以是金属、化合物等，把这些物质放在坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，等镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前，系统抽至高真空后，加热坩埚使当中的物质蒸发。

1.2.溅射镀膜1.3.离子镀离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体外观，称为离子镀（这种方法用的对比少，就不做介绍了）。

2.真空镀膜机连续生产的根本原理电子枪高压电源是真空镀膜机这种大型设备对比繁杂而且轻易出故障的片面，想要真空镀膜机能连续生产就务必保证电子枪高压源的连续。电子枪高压源是由高压片面和自动复位片面组成。高压片面包括三相高压变压器，三相桥式整流，RC阻容吸收网络，高压分压器。自动复位片面包括主开关电路，电流检测电路，栅压切换电路，帘栅操纵电路。

电子枪工作中由于各种理由会产生高压打火的现象，并且在打火的瞬间，高压线会被短路，电子枪就不能正常的工作了，但是由于自动复位电路的作用，高压线会在40秒内切断高压的输出，然后又在50秒之后恢复高压输出，这个瞬变的过程就是自动复位的过程，这是保证电子枪连续正常工作的必要条件，这也是真空镀膜机连续生产的根本原理。

3.真空镀膜机的故障现象分析及摈弃在实际使用的过程中，真空镀膜机就展现过不少故障，其中高压电源片面的故障较多，也对比繁杂，下面就几种典型的故障举行分析。

3.1.增加电子束流时，高压没有指示真空镀膜机在正常工作的时候，设备的主开关电路中的开关管处于饱和的导通状态，当管压下降保持在100V左右的时候，栅极得到正偏压50V，高压指示6kV（或10kV）。从检测电路上得到的电压操纵信号缺乏以使稳压管击穿导通。在不正常的处境下，增加束流时，由于束斑的位置不在中心，电子束可能会打到坩埚的边缘，或者束斑的位置在中心，但蒸镀的材料被打穿等理由，都会展现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路，造成电子束流大于预定的值，主开关管处于截止状态，承受全部的高压，让高压无法输出。由于打火而造成束流过大的时候，在电流检测电路时取得的过流信号，使得稳压管被击穿导通，管压处于导通状态，这时高压就没有指示了。

3.2.无束流时，高压指示不稳定3.3.故障排查方法用高压表测量高压的片面输出的电压，电压为+6kV（或者+10kV），指示很稳定，说明高压片面的器件没有什么问题。为了判断自动复位片面的主开关电路是否正常，可以采取替换的方法或者其它的方法来举行判断，假使还是不正常的话，说明自动复位片面中的电流检测电路、栅压切换电路存在问题。在对同类型的设备举行检查时，也察觉了同样的故障，这就能说明真空镀膜机在出厂的时候就存在着故障隐患，所以就务必采取相应的手段来举行处理，消释故障，使高压指示恢复正常。

4.结语真空镀膜机是一种大型的繁杂的设备，在实际的使用过程中，高压电源展现的故障的现象就会对比多，并且展现的问题多数为繁杂型的。本文通过对真空镀膜机这种设备布局的了解和展现故障